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摘要 nzxHd7NIZ 3\{acm 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 -mO<(wfV> ?r]0 %W^ G~_eBy qDg`4yX.} 设计任务 -A}$5/ dC4`xUv I|bX;l EhD% 0n X5Vo 光栅特性与参数的严格分析 EQ"_kJ>81Y #mioT",bm= 不同光栅周期的衍射效率 ]ml 'd #6y fIvap ZHwN3 5y='1s[% 考虑光栅周期的选择 2fayQY
xD = ?/6hB=7< [vBP,_Tjx 偏振相关衍射特性 #mM9^LJ D}{]5R
O d6'bO;G wko9tdC=U 偏振相关衍射特性 ^755LW ELG{xN=o
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$+{o* S=L#8CID blG?("0! 基于参数优化的光栅设计 vPZ0?r_5W ndBqXS 具有固定周期的二维参数优化 ,
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D+BflI~9mP !}eq~3 制造公差分析 - 设计#2 k9y/.Mu w(Mi?
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