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摘要 Vu[:A GQx9u^> 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 a+41Ojv ( |6%.VY2b ZW*n /#GUC XvskB[\ 设计任务 t^.'>RwW| |z~LzSJv ^Gq5ig1rxy Zm(dY*z5:J 7 jjU 光栅特性与参数的严格分析 6Nt$ZYS Wr>(#*r7q 不同光栅周期的衍射效率 /BpxKh2p Pd~MiyO;K aX^+ O, ^Dr.DWi{$ 考虑光栅周期的选择 iITp**l Uki9/QiX> Pr+~Kif 偏振相关衍射特性 'L{p, tWY2o3j
W&(f&{A kZVm1W1 偏振相关衍射特性 i"HgvBHx We}lx{E
O"*`'D|hK Q>8pP \ho 偏振相关衍射特性 aqMc6N`z $
[7 Vgs g{>^`JtP n|i"S` 基于参数优化的光栅设计 \DA$6w\\ wqD5d
具有固定周期的二维参数优化 ~O;y?]U "&lN\&:
_8><| 3d 二维参数优化 - 设计#1 )"`!AerJ R8&|+ya
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S#8>ZwQ &Un6ay 制造公差分析 - 设计#2 [f!O6moR6 lj2=._@R
5H lWfD 5PZN^\^ 不同光栅周期的三维参数优化 kWL.ewTiex Y )b@0'
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