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摘要 ] X,C9 RVv@x5 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 0>Y3>vwSl LL5n{#)N  8(UUc> g L]L-000D( 设计任务 M,Q(7z?#5 ,K Ebnk|i  ^[ }^+ $m`?x5rL8 #%U5,[<a8 光栅特性与参数的严格分析 . g.v x^kV;^ I 不同光栅周期的衍射效率 Wj xO M\?# `}gjfu -'\  =M b!&qq nwh7 DU i 考虑光栅周期的选择 w-?_ U7' K
&m`1f  !es?GJq` 偏振相关衍射特性 oLEqy w,dDA2,
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