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摘要 KJP}0|[ cf+EQY 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 T]UrKj/iF !))!! {  U
ljWBd 1G<S'd+N 设计任务 U~I
y),5 20Z=_},  [MXyOE x^~@`]TV^ V:<Z 光栅特性与参数的严格分析 ;6}> Shs ^d@ME<mb 不同光栅周期的衍射效率 }Yargj_Gn FxdWJ|rN9D  KD^n7+w% 6]NaP_\0 考虑光栅周期的选择 \__xTL\ A{%LL r:  6 `WI
S4 偏振相关衍射特性 T6nc/| Ot Dp-j(F
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p)Fi{%bc 偏振相关衍射特性 WX4 f3U m
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 ^TEFKx}PX wK!7mZ 偏振相关衍射特性 ~?z u5,vb M3!4,_!~  %:N;+1
t03T1.:(Mg 基于参数优化的光栅设计 UK5u"@T 6 Z< |L ^ 具有固定周期的二维参数优化 oer3DD(
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 6%Pvh- ~_ 二维参数优化 - 设计＃1 !CUM* <iV sL], @z8<k
 3?Fe( !@ uaqV)H 二维参数优化 - 设计＃2 O`Y @U?^N *r)d tI*
 ,wZq ~; 2 0@wXE\s 制造公差分析 - 设计＃2 .^8rO ,H[ tQE<'94A
 %^l&:\ hy a7sX*5t{R 不同光栅周期的三维参数优化 Y s]cJ]
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