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摘要 vE9M2[TJA frYPC
Irj 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 (IrX\Y *@C4~Zo rRfPq `wyX)6A|bt 设计任务 9O%4x"*PO Hko(@z _>/T<Db w'Kc#2 mNvK|bTUT 光栅特性与参数的严格分析 P p}N-me>_ 05|,-S 不同光栅周期的衍射效率 PR&D67:Jy Ul<'@A8 BBub' ATeXOe 考虑光栅周期的选择 }x[d]fcC /$IF!q+C }>
51oBgk_ 偏振相关衍射特性 (N etn& ]Tje6iF
.?TPoqs7Z Kp|#04] 偏振相关衍射特性 I)$of9 NMSpi[dr
O\5*p=v "hRY+{m 偏振相关衍射特性 -zeodv7 Z66b>.<8 8tc9H}> I<w`+<o( 基于参数优化的光栅设计 gc'C"(TO( &M)S~Hb^ 具有固定周期的二维参数优化 >!j= {hK q4k)E
@~!1wPvF`I 二维参数优化 - 设计#1 =A6/D x 5u.D^
+ *YGsM`E9 Oc;/'d2 二维参数优化 - 设计#2 XFeeNcqF )P^5L<q>|
W#<&(s4 w"CcWng1 制造公差分析 - 设计#2 E)Z$7;N0x 5XNIX)H
&FWPb# Jmb [d\ /D 不同光栅周期的三维参数优化 tQ7DdVdix #5?Q{ORN o
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