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摘要 b`h%W"|2L z*M}=`M$ 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 RwAbIXG{0 aCU7w5 x{NNx:T1 ><;l:RGK| 设计任务 W{fULl ,J~,ga~ * ?
K4!q' (orrX Ez 93Mdp9v+i 光栅特性与参数的严格分析 , @%C8Z /h?<MI\7V 不同光栅周期的衍射效率 F5N>Uqr*oN v!<PDw2' O`wYMng) CRZi;7`*1 考虑光栅周期的选择 2
) TG CrnB{Z4L hAV2F# 偏振相关衍射特性 4R&*&GZ# hlAR[ ]
+M44XhT KY4d+~2 偏振相关衍射特性 y#]}5gJ gB(9vhj$
R&6n?g6@/V |7rR99 偏振相关衍射特性 p>k]C:h KqN!?anPr =E;=+eqt a`7%A H) 基于参数优化的光栅设计 #V<`U:. ;EK(b 具有固定周期的二维参数优化 q<-%L1kc1 HzP.aw4
yJnPD/i 二维参数优化 - 设计#1 _ymJ~MK _FL<egK
f"Ost;7zg 98BYtxa 二维参数优化 - 设计#2 ^4+r*YvcM T1l&B
>HE,' `Jn,IDq 制造公差分析 - 设计#2 g93I+ N g58/}zO
6dF$?I& |}Q( F+cL 不同光栅周期的三维参数优化 m'd^?Qc g<fP:/
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