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摘要 L.Qz29\ %WgN+A0 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 HR}O:2' Zge(UhZ |M7cB$y ]3rVULU"K- 设计任务 x;17}KV O2?C * N-gYamlQ V5w1ET JVYH b 60Z 光栅特性与参数的严格分析 q.c)>=!. BDTL5N 不同光栅周期的衍射效率 9 3>4n\ d~Z\%4 /8FmPCp}r 2yZr!Rb~* 考虑光栅周期的选择 E5w;75, iQ;p59wSzL d9K8[Q5^3 偏振相关衍射特性 {~3QBMx6 '+`[)w
fSkDD>& -L1785pB85 偏振相关衍射特性 k, HC"?K {FNkPX
']r8q % 0NXH449I= 偏振相关衍射特性 J@s>Pe) Y{p$% ffZ~r%25{ 8]ZzO(=@{ 基于参数优化的光栅设计 Yc:%2KZ" SIe!=F[ 具有固定周期的二维参数优化 #c^V% Y;"k5+ q
c0oHE8@ 二维参数优化 - 设计#1 *doNPp)m ={qcDgn~C
Y%pab/Y 2cR[~\_9. 二维参数优化 - 设计#2 xN 1P# o~Se[p
&{}Mds L*6'u17y 制造公差分析 - 设计#2 U1[)e D` Qp>leEs]+6
gcJ!_KZK mj~:MCC 不同光栅周期的三维参数优化 c-a,__c?hx }LzBo\
W>K^55' (_T{Z>C/J 制造公差分析 Yj%]|E- jD:
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