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摘要 D2U")g}U y?t2@f]!XK 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 7lo`)3mB @+9x8*~S' YkPc& IsaL+elq| 设计任务 bD&^-&
G *bl*R'; U_ -9rkUa 0X`sQNx <$f7&6B 光栅特性与参数的严格分析 [@l:C\2 +}XFkH~ 不同光栅周期的衍射效率 nK@RFU6 Q\P?[i] :V(+]< pwiXA{ 考虑光栅周期的选择 +YL9gNN>P P4M*vZq) 0 > 偏振相关衍射特性 x>u \ k *a?Ey$
%Fh*$gzh*5 #B;~i6h] 偏振相关衍射特性 wkO8 -P+@n)?T6
<Ae1YHUY x1gf o!BN 偏振相关衍射特性 &a'H vQV #E[{ _TB,2 R 1;; is 基于参数优化的光栅设计 xKilTh_.6 =F(fum;zH 具有固定周期的二维参数优化 >i`V-" x 52*9q!
E3pnu.;U:_ 二维参数优化 - 设计#1 EFb1Y{u^\! QY]^^f
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3mU: 制造公差分析 - 设计#2 SDdefB x@-bY
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