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摘要 69Y>iPRU "HWl7 c3q 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 4<`x*8`
, Sb&sW?M  ulnG|3A9 u8Ul + u 设计任务 Fm\
h883\ RvL-SI%E  cJ 5":^O :K!@zT=o u ~X]W3 光栅特性与参数的严格分析 ;SBM7fwRk JwzA'[tM 不同光栅周期的衍射效率 AT^?PD_ DzLm~
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 mw<LNnT{8 GgH=w`;_ 偏振相关衍射特性 )W&H{2No dMsX}=EI<  4 ze-N8<[
. M_[tl 基于参数优化的光栅设计 RdlcJxM 9:^SnHAa 具有固定周期的二维参数优化 i(q%EMf
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