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摘要 }p <p( UyWKE< 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ENEn Hu^ mK);NvJ! +=qazE<:0 ;Bs^+R7 设计任务 F:P&hK I {o\d'/ 4wa8Vw`
F[65)"^ Q~L"Mr8>V 光栅特性与参数的严格分析 51Nh"JTy j+E[[
不同光栅周期的衍射效率 ?d?
cD |iJ+e -_R _s&sA2r< !FhiTh:GCh 考虑光栅周期的选择 ,Z"l3~0\ [p%OIqC`pB u3Jsu=Nx- 偏振相关衍射特性 ` s}v6 - A\J:2a|
>UQ`@GdafR ~5f|L(ODX 偏振相关衍射特性 YnCWmlC P!Mz5QZ+
B 3Yj g3i !> 偏振相关衍射特性 dE_I=v aJ"Tt>Y[.~ nKoc%TNqe TN=MZ{L 基于参数优化的光栅设计 }g? 9/)z 'x-PQQ 具有固定周期的二维参数优化 #$qhxYyd /^d!$v
e?&4; 二维参数优化 - 设计#1 >H,t^i}@ 'yWv @)
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<AzM~]"3 二维参数优化 - 设计#2 |c]Y1WwDx t-vH \m
u/D=&"tL mxpncM=q 制造公差分析 - 设计#2 9J$z/j;X u.}z}'-
0CYm%p8! E+ 65 不同光栅周期的三维参数优化 *d,u)l :S NINaOs
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q 'WUevPmt 制造公差分析 0 w"&9+kV }v [$uT-q
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