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摘要 rCd u0 gYT J{fH ['tzO 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ZX./P0 Y GC L2Y  e h?zNu2= 1NA.nw. 设计任务 %aVq+kC h -4{<=y?"a  \n|EM@=eE 5uj?#)N H ]Z$OpI 光栅特性与参数的严格分析 o u{2@" l ?n\i]' 不同光栅周期的衍射效率 K^<BW(s ]K,Tn yp  U>}w2bZ* ?QdW rE_
考虑光栅周期的选择 _5Ct]vy .;`AAH'k  a'yK~;+_9 偏振相关衍射特性 S k\K 4 t ) $:0
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5(Q%XQV*P 偏振相关衍射特性 5 IjGm
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 0rs"o-s< j/c&xv 7= 偏振相关衍射特性 eF -."1 uo%)1NS!  o~y;j75{.*
q Y? j#fzi 基于参数优化的光栅设计 Pw`8Wj w ;:*P 具有固定周期的二维参数优化 IDriGZZ<)6
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 '/p/8V.O. 二维参数优化 - 设计＃1 DgQp HF tGE$z]1c@
 a P@N)" 9x9 T<cx 二维参数优化 - 设计＃2 ZdWm:(nkU h_3E)jc
 U,{eHe ?>T &d?CCb$|0Y 制造公差分析 - 设计＃2 `MN4uC V1 `o%;j
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