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摘要 X}? cAo2N
S '?XI@t[ 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 %3kqBH!d Nzr zLK  6}| /~n lffw7T~ 设计任务 m&;
t;&# K` U\+AE  ~v<r\8`OI2 ss-B e N5~g:([k 光栅特性与参数的严格分析 ;((gmg7, 7OW;o mT` 不同光栅周期的衍射效率 O >'o; 0 P; A "`Il  Rfgc^ 3:j !7}5"j
;A 考虑光栅周期的选择 i:W
oT4 {k maMP  ;E##bdSCA 偏振相关衍射特性 w8@ Ok_fj ,Cx5(
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N| Rlb5\ 偏振相关衍射特性 ;9;.!4g/T
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 a2x2N_\=/D Ij4\* D! 偏振相关衍射特性 b7"pm)6 # Dy;x\a  )V9$ P)
i(Y P(8 基于参数优化的光栅设计 @$t Qz ~LkReQI 具有固定周期的二维参数优化 DhB: 8/J
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 b Z%[ON5OY 二维参数优化 - 设计＃1 <Z#u_:5@ g ,Q! F
 a@m>S$S 5#:tL&q 二维参数优化 - 设计＃2 sRY: 7> eg M*0&3Y
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 m*[ " R=8!]Oi6 制造公差分析 - 设计＃2 MR8-xO'w ,g^Bu {?
 EStHl(DUPq s{A-K5S 不同光栅周期的三维参数优化 /$ L;m
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