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摘要 `{@8Vsmy: 1 &jc/*Z" 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 -u+vJ6EY s2p\]|5  3GYw+%Z] ;$, U~ 0 设计任务 5+4IN5o]= LG9+GszX 2  JJ-( Sl *}qWj_RT 3Y4?CM&0v 光栅特性与参数的严格分析 LtF,kAIt7v @}u*|P* 不同光栅周期的衍射效率 AEI>\Y Ys9[5@7  79rD7D&g >0y'Rgfe 考虑光栅周期的选择 _#E0g'3 lWk>z; d  .bl/*s 偏振相关衍射特性 Jl8H|<g~/ #4NaL
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VR 8- &N 偏振相关衍射特性 V]6dsc Q
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 2eS~/Pq5=i % g$o/A$ 偏振相关衍射特性 {%5eMyF# :K,i\  (UD@q>c
E?f-w QF 基于参数优化的光栅设计 9wUkh}s !;v|' I 具有固定周期的二维参数优化 <8&au(I,vB
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 13=AW 二维参数优化 - 设计＃1 ` wEb<H
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 RWZ SQ~ L|7R9+ZG 二维参数优化 - 设计＃2 Z]Cq3~l B hGu!Y6f
 OX!tsARC@ ES7>H 制造公差分析 - 设计＃2 _S1>j7RQo "Ac-tzhE
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