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摘要 dXn%lJ b|5w]<?' 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 }!TL2er_ _u}4j 9T  `O6:t\d@ =?X$Yaw* 设计任务 :|1.seLQ ]h9!ei
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"3+YTtp nNmsr=y5 yA [({2% 光栅特性与参数的严格分析 q/1Or;iK 0q FH
s 不同光栅周期的衍射效率 6>
{r6ixs1 t_ur&.^SB  5HS~op2n/ &2I*0 考虑光栅周期的选择 [hRU&z;W xdy^ ^3"  9F;S+)H4 偏振相关衍射特性 z{]?h cY , 572n[-q
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偏振相关衍射特性 Cz^Q5F `
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&m9zC 偏振相关衍射特性 as"N=\N $WW)bP
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'PWQnt_U 基于参数优化的光栅设计 ; \%sEcpT o {-<L 具有固定周期的二维参数优化 h F&}lPVtv
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 1MA@JA:T 二维参数优化 - 设计＃1 IJU0[EA]F y:}sD_m0W
 7k =fZ$+O Z$ KV&.=+ 二维参数优化 - 设计＃2
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 `^U&#K hh.Q\qhubB 制造公差分析 - 设计＃2 ZYtiMBJ >E"9*:.^a
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