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摘要 ) y i~p 7WY~v2SDF 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 8 nL9#b EUVD)+i t  fE_%,DJE( 5#s],h 设计任务 sI h5 cT wwQ2\2w>Hm  [h !i{QD !^s -~`'\~ *j,bI Y&se 光栅特性与参数的严格分析 {qU;;`P]|
U@CAQ? 不同光栅周期的衍射效率 m{$}u@a %d *0"<v  WRwx[[e6z LI&E.( : 考虑光栅周期的选择 ^fH)E"qq5 t_* x. {x-  &/-MUKN 偏振相关衍射特性 'Bxj(LaV- 4]$OO'
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 D _[NzCv<- ]$ Nhy8- 偏振相关衍射特性 GB<.kOGQ[ h::(b ,|f7  J bJ!,86
IR $d?\O3 基于参数优化的光栅设计 RAk"C!&^m XjP & 具有固定周期的二维参数优化 =:xX~,qmv
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