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摘要 PT05DH Uuz?8/w}# 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 k:mlt: qCQu^S' iD ;:?*t{r4# >3!DOv 设计任务 4&]%e6,jH C#h76fpH @Kp1k> ov /3F<=zi kO s6/cL|Ex 光栅特性与参数的严格分析 )vQNiik# 9cz )f\ 不同光栅周期的衍射效率 0Nt%YP ee^4KKsh\ BvQUn@ XE %z2oDAjX 考虑光栅周期的选择 PU"S;4m #w;;D7{@m *0\k
Z,#BJ 偏振相关衍射特性 ?R282l ET3,9+Gj
V_lGj U1jSUkqb 偏振相关衍射特性 GZS{&w! [WYJrk.
m|mG;8}pI <ZV7|'^ 偏振相关衍射特性 ~T7\8K+ $ a}w&dE$!- F=:c5z pLPd[a 基于参数优化的光栅设计 ?`"<DH~:0B &*jixqzvn 具有固定周期的二维参数优化 y+= \z*9
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PB@-U.Z 二维参数优化 - 设计#1 =uS8>.Qj CM"s9E8y
z30= ay1 +yvBSpY 二维参数优化 - 设计#2 so'eZ"A: E tdd\^
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3S#nZ 制造公差分析 - 设计#2 vRxL&8`& y^3,X_0
IG>>j} )2/b$i,JKk 不同光栅周期的三维参数优化 I ;l`VtD 6B
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