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摘要 M; (,0d k BrV{X&>[i 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 H];B?G';C m~ =~DMj  G95,J/ w -3 I3 X 设计任务 o5 L ^ MY&Jdmga  iG N\ >m} T<AT&4 {28| LwmL 光栅特性与参数的严格分析 4= zs& K5""%O+ 不同光栅周期的衍射效率 *H>rvE.K? 1yy?1&88S  9"[;ld < _X6'u J 考虑光栅周期的选择 s{hKl0ds 0#q=-M/?`  @mp`C}x"0& 偏振相关衍射特性 A'WR!*Yt z6>@9+V-&
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'M90Yia 偏振相关衍射特性 0YeTS!*Aj
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~Bd=]a$mj 基于参数优化的光栅设计
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具有固定周期的二维参数优化 cNs'GfD }
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 :!ya&o 二维参数优化 - 设计＃1 U,
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 xNP_>Qa~ ITu19WG 制造公差分析 - 设计＃2 gr= h!'m p7h#.m~Qu
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