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摘要 >W Tn4SW@ 9.u}<m 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 m:&go2Y A!B:vJ 4&%0% OSreS5bg 设计任务 C+o1.#]JM 5My4a9 E/[>#%@i O(x1Ja,& 1T&NU 光栅特性与参数的严格分析 Rp.42v#ck UMtnb:ek 不同光栅周期的衍射效率 !\|_,pSB o;#:% x*>@knP<- #uTNf78X 考虑光栅周期的选择 4z<nJOEh[ %8Eu{3 #gW"k;7P 偏振相关衍射特性 s0r::yO vH1IVF"DS
M3q%(!2 KU$:p^0l;* 偏振相关衍射特性 ` /
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6g*?(Y][ T.bn~Z#f 偏振相关衍射特性 "x1?T+j4 1 S<E=7 3CL1Z\8To eX`wQoV% 基于参数优化的光栅设计 we:P_\6 +O$`8a)m 具有固定周期的二维参数优化 i~Q nw-^B 2i9FzpC3
-@7?N6~qZx 二维参数优化 - 设计#1 jVlXB6[- r+TvC{
88 x2Hf5I fQm3D% 二维参数优化 - 设计#2 [0bp1S~ z}BuR*WSY{
+{~cX]| ;t~Y>, 制造公差分析 - 设计#2 kz0pX-@b tt4Z
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