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摘要 g|<Sfp+;+ #!J(4tXny 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Ok-.}q>\Mv &sVvWNO#2 yI{5m^s{ ^D67y% 设计任务 BZK`O/ L *[K>iW + bhym+ [p r"ZQ] 4IdT' 光栅特性与参数的严格分析 v{x{=M] rd|uz4d 不同光栅周期的衍射效率 xom<P+M!| `:{B(+6 eDO!^.<5 _cDF{E+; 考虑光栅周期的选择 96Wp!]* C"T1MTB {.e=qQ%P5) 偏振相关衍射特性 ?`?T7w|3
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72oWhX=M% Y OyX[&oi 偏振相关衍射特性 5 +9Ze9 |w}w.%
+m\|e{G |tMn={ 偏振相关衍射特性 Jwn AW}= J<j&;:IRd zRl~^~sY /BKe+]dS* 基于参数优化的光栅设计 )w~Fo, {43yb_B( 具有固定周期的二维参数优化 =(AtfW^H m8]?hJY3l
DsD zkwJE 二维参数优化 - 设计#1 2+8#H. 0O!cN_l|
yTM{|D]$( FXKF\1`(H 二维参数优化 - 设计#2 8Q`WB0E<| _K2?YY(#>
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x$/ D6D1S/:ij' 制造公差分析 - 设计#2 dmrps+L rWtZj}A
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