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摘要 lHY+}v0 {yTGAf-DV 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 B:yGS*.tu ^+>laOzC`8 ok"k*?Ov -n~1C{< 设计任务 T"}5}6rSG O_muD\ 1Kw+,.@d
9]([\% ) c(f 光栅特性与参数的严格分析 bivuqKA Drgv`z 不同光栅周期的衍射效率 {=9,n\85# ,GhS[VJjR iJ)_RSFK kYP#SH/ 考虑光栅周期的选择 e{'BAj [B*x-R[FI R6<X%*&% 偏振相关衍射特性 Z!a=dnwHz 7dTkp!'X-
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5 偏振相关衍射特性 ONB{_X? u
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n'k x}wG:K 偏振相关衍射特性 xA2YG|RU=b kr^P6}' htO+z7 r..iko]T 基于参数优化的光栅设计 |#v7/$! r!|6:G+Q 具有固定周期的二维参数优化 :DK {Vg6 ]!W=^!
)` Sr fGp8 二维参数优化 - 设计#1 r Xt}6[S m^!Z_]A![
T8?Ghbn imhwY#D 二维参数优化 - 设计#2
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hIYNhZv v|)4ocFK 制造公差分析 - 设计#2 H*?t^ @(EAq<5{
9d0@wq. wyH[x!QX 不同光栅周期的三维参数优化 r(>@qGN gMi0FO'
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