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摘要 oQ
YmywY )a99@`L\P 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 f~a]og5|G 8p"R4 % XvJJ !I)wI~XF)5 设计任务 %OT} r u]`ur#_ *M^(A}+O 85gdmla@9 dkUh[yo"H 光栅特性与参数的严格分析 $Jc>B#1 h_*!cuH 不同光栅周期的衍射效率 ku*H*o~ )+L.$h v2K6y|6, ip)gI&kN`z 考虑光栅周期的选择 J) I|Xot A4Sb(X|j jq_E{Dq1 偏振相关衍射特性 xQU$E|I lD+f{GR
VUd=|$'J /U@T#S 偏振相关衍射特性 OUM^u* ^s.necg0
jVdRy{MH N$I@]PL 偏振相关衍射特性 5yl[#>qt )\3
RR.p E!rgR5Bd <<vT"2Q] 基于参数优化的光栅设计 e^%>_U F'Lav?^ 具有固定周期的二维参数优化 ,RXfJh (?W[#.=7
,'}qLor 二维参数优化 - 设计#1 p 3`odmbN W`k||U9
~[*\YN); P;' xa^Y 二维参数优化 - 设计#2 Bk44 wz2X .ey=gI!x0
5`tMHgQO 1&2X*$]y 制造公差分析 - 设计#2 +CaA%u P\k5%
31-:xUIX D-KQRe2@ 不同光栅周期的三维参数优化 Ms61FmA4 Y(U+s\X
%4#Q3YlyD OL0W'C9oA 制造公差分析 &i{>Li S9 VD/
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