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摘要 ZwB<
{? )9 5&-Hs 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 EA|*|o 4) "n," >  9TBkVbqV q6f+tdg= 设计任务 ?< ]BLkx _,"T; i  w <<>XIL fchs n*R%- .C$S
DhJ~ 光栅特性与参数的严格分析 w&hgJ *BH*
不同光栅周期的衍射效率 $[T^ S *%7 [{Loz  IP7j)SM! q,F\8M\$ 考虑光栅周期的选择 f
<fa +fB Q&@Ls ?pu  zUXQl{ 偏振相关衍射特性 &YGd!Q $~!%Px)
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m~' ! 偏振相关衍射特性 KV9'ew+ M
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 @X+ m,u _VGAh :v 偏振相关衍射特性 de1cl< zsFzF`[k  u,AP$+Qk
a\>+!Vq 基于参数优化的光栅设计 Xyy;BO : JFH3) Q 具有固定周期的二维参数优化 FeoI+K A
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 O B`(,m# 二维参数优化 - 设计＃1 b c=,$ EudX^L5U<d
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 7rQ wn2XD{ =!)Ye:\Q 制造公差分析 - 设计＃2 k>E^FB= a?jUm.
 i)y8MlC{ |eyk b?j` 不同光栅周期的三维参数优化 L#O1 >
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 .2"-N5Z IR;l{q&` 制造公差分析 :B{Wf 2<z
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