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摘要 mQr0sI,o] 3ZojE ux` 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 _u5dC ;`UecLb#
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RU&_j*U T):SGW VirtualLab Fusion一瞥 +sZUJ y%cO#P@
0LL c 1t>} S$[k Q|Am VirtualLab Fusion中的工作流程 b,<9 MGt]' } 构建光栅结构 Vrp[r *V@E −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] g^~Kze −倾斜光栅高级设定[用例] uaw < •光栅衍射效率分析 ||eAE) −光栅阶序分析器[用例] c`G&KCw)d •使用参数优化进行光栅参数优化 jH*)%n5,\ •使用参数运行的容差分析 k6**u d,cN( ^^Jnv{) %y<]Yzv. VirtualLab Fusion技术 ..<3%fL3 ;*cLG#&'M
ux-CpI cAuY4RV 文件信息 ~?Omy8# tE"Si<[]H$
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