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摘要 \u|8MEB i.4L;(cg 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 ] Q}z-U 5kwDmJy
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(-\,t h[()!\vBy VirtualLab Fusion中的工作流程 cmQLkT"#K t I9$m[ 构建光栅结构 PVAs# ~ −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] (7nWv43 −倾斜光栅高级设定[用例] opz.kP[e, •光栅衍射效率分析 urT!?*g, −光栅阶序分析器[用例] ]Y|Y ? •使用参数优化进行光栅参数优化 A9lnQCsJ •使用参数运行的容差分析 UQl3Tq4QM s[:e '#^ Y(WX`\M97 ^>?gFvWB% VirtualLab Fusion技术 thk33ss: /easmf]
<Bc J;X/ XVi?-/2 文件信息 tzv&E0|d uS3s
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