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摘要 fQ2!sV 6z1aG9G 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 i=,B88ko o'9OPoof:.
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PV5TG39qQ 5`OK- VirtualLab Fusion一瞥 Eg287B =B3!jir
?15POY ?Z eG[umv.9b VirtualLab Fusion中的工作流程 ~@)-qV^~ nr<}Hc^f- 构建光栅结构 l^!0|/Vw −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] "-~D!{rS −倾斜光栅高级设定[用例] 0+VncL)u •光栅衍射效率分析 7cOg(6N −光栅阶序分析器[用例] #*ZnA, •使用参数优化进行光栅参数优化 b.w(x*a •使用参数运行的容差分析 C+Fh$ Vsm%h^]d os"[Iji xv(xweV+d VirtualLab Fusion技术 j?Jd@(*y$ [Ls2k&)0
&cn%4Er J*^,l`C/ 文件信息 32)&; Wq[=}qh~
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