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摘要 }HL]yDO wa(8Hl|Y 对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 \6S7T$$ 1m
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 +cWLjPD/} .v]IJfRH* VirtualLab Fusion一瞥 @M<|:Z %.@
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 ^le<} xpNH?#& VirtualLab Fusion中的工作流程 =31"fS@ sI43@[ 构建光栅结构 d]`CxI]
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] 9 ^o-EC!_
−倾斜光栅高级设定[用例] H1 2Fw'2
•光栅衍射效率分析 lNNv|YiL
−光栅阶序分析器[用例] Dw|}9;5:A
•使用参数优化进行光栅参数优化 fTzvmC: g7
•使用参数运行的容差分析 I\hh8abAp vrl;"Fm+  tWo{7) Eb ;1#H62Z*
VirtualLab Fusion技术 MU>k,:[
y@]_ +2Vo
 K7$x<5 +) J`^ag' 文件信息 :WC2Ax7$2 |yvQ[U~PQ
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P<oehw'> QQ：2987619807 #1J &7F1
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