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摘要 T677d.zaT B$qmXA)ze 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 X_|W#IM*+ JmdXh/X
c7T9kV8hS GgkljF@{} 设计任务 <(W0N|1v |VMc,_D
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{V%ZOdg9 "6rZn_H/| VirtualLab Fusion中的工作流程 X&DuX %x0 n
m(yFX?= 构建光栅结构 AfW63;kH −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] ):?ype> −倾斜光栅高级设定[用例] ~a m]G0 •光栅衍射效率分析 I!lzOg4~ −光栅阶序分析器[用例] ?^P#P0 •使用参数优化进行光栅参数优化 ~(Gv/x •使用参数运行的容差分析 cAC2Xq awuUaE NWPL18*C dj4 g VirtualLab Fusion技术 Y9~;6fg >|SB]'C|
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