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摘要 4[&&E7]EX XR3 dG: 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 dA E85 / 9,'.
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@GGQ13Cj( S8+l!$7 VirtualLab Fusion一瞥 Hz[1c4)'F a(*"r:/lD
~l?c.CSd D!#B*[| VirtualLab Fusion中的工作流程 ixK9/5T m+:JNgX6 构建光栅结构 evD=]iVD −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] ?'|GGtvm −倾斜光栅高级设定[用例] x7G)^ •光栅衍射效率分析 avM8-&h −光栅阶序分析器[用例] mxBx?xM- •使用参数优化进行光栅参数优化 0v9i43[S|J •使用参数运行的容差分析 :?LNP3} Vgkj4EE l:bbc!3 .Y^3G7On VirtualLab Fusion技术 6d6Dk>(V mF!4*k
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