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摘要 ;#fB=[vl"; kDO6:sjR7 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 b^hCm`2w* Z2*hQ`eE
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ufEt"P-X. 8 _`Lx_R VirtualLab Fusion一瞥 :CK,(?t +".&A#wU
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7_L b;!ilBc 构建光栅结构 r\=p.cw< −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] 0b*a2_|8k −倾斜光栅高级设定[用例] \O7,CxD2 •光栅衍射效率分析 @@ZcW<Y" −光栅阶序分析器[用例] 9Cf^Q3)5o •使用参数优化进行光栅参数优化 #Kn7
xn[ •使用参数运行的容差分析 hh: )"<[ ax7 M IFpmf0;^ 1Rp|*> VirtualLab Fusion技术 )](8{}wo iCv &<C@
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