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摘要 _biJch Fk(5y) 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 Z:_y,( 1Q gg(U}L
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)a\h5nQI) ,k!a3"4+TJ VirtualLab Fusion一瞥 &}O!l' .KN]a"]
}El_.@'T & {P&^Erx VirtualLab Fusion中的工作流程 Zi)b<tM
q N+5^h(~ 构建光栅结构 16|S 0 ) −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] ~\ f^L?m −倾斜光栅高级设定[用例] i7V~LO:gq •光栅衍射效率分析 w|C~{ −光栅阶序分析器[用例] rLxX^[Fp3 •使用参数优化进行光栅参数优化 EcIQ20Z_- •使用参数运行的容差分析 @3YuV=QfH "N]o5d {M/c! d&`j8O VirtualLab Fusion技术 ;L2bC3 tHbPd.^
)\vHIXnfJ1 or}*tSKX 文件信息 2(Uz9!<V 31& .Lnq
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