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摘要 ,c7u `?o1cf A
对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 8cBW] \ v 7YXXkdgbd
?J@?,rZQ^V KpbZnW}g 设计任务 [OoH5dD +z jzO]8
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2 -p "\zj][sL 结果-容差分析 x^#6>oOR RlslF9f
UE&C ;vI*ThzdD VirtualLab Fusion一瞥 ){Ciu[h !rsa4t@t
(ifqwl62 ER;lkF`RF VirtualLab Fusion中的工作流程 l6S19Kv Rg8m4x w 构建光栅结构 %<=w [*i −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] C"U[ b% −倾斜光栅高级设定[用例] <*A|pns •光栅衍射效率分析 <uBhi4 −光栅阶序分析器[用例] \tiUEE|k •使用参数优化进行光栅参数优化 *w'q •使用参数运行的容差分析 y~==waZw f!M[awj% b"R, p=M ,c,Xd VirtualLab Fusion技术 !"`@sd~ 6m, KL5>W
2Y E;m& >%uAQiU 文件信息 fV.A=*1l# L;1$xI8tx
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