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摘要
^w&!}f+ +md"X@k5* 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 o\PHs4Ws'7 R,BINp
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SSyARR+;c Z6Z/Y()4Tl VirtualLab Fusion一瞥 M;NIcM yq<W+b/
"q!*RO'a ZR"qrCSw` VirtualLab Fusion中的工作流程 d0f(U k o*"Q{Xh#Qd 构建光栅结构 M _lLP8W} −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] |5&7;;$ −倾斜光栅高级设定[用例] XW\
3t tx •光栅衍射效率分析 k7L4~W −光栅阶序分析器[用例] !&`\MD>;~R •使用参数优化进行光栅参数优化 c,M"a •使用参数运行的容差分析 B@*!>R hN\sC9a1 Twr,O;*u= `*`ZgTV VirtualLab Fusion技术 {*r!oD!' A/fM30
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