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摘要 3+%c*}KC~ Lb'HM-d 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 <]u~;e57 M]+FTz
B^z3u=ll p&:(D=pIu 设计任务 Z?vbe}pUM FK$?8Jp
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( em87`Hj^lo 结果-容差分析 )<D(Mb2p| llf|d'5Nl
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MGY VirtualLab Fusion一瞥 Hd1e9Q,:| Kw%n;GFl'
]#C;)Vy FM c9oyU~ VirtualLab Fusion中的工作流程 .,C8ASfh fE\;C bi 构建光栅结构 kp~@Ub
@O3 −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] BwN65_5p −倾斜光栅高级设定[用例] }*2q7K2bj •光栅衍射效率分析 "]%.%$ −光栅阶序分析器[用例] 'NM$<<0 •使用参数优化进行光栅参数优化 uZe|%xK$y •使用参数运行的容差分析 ?(cbZ#( o ~*|0yPFg A=7
[^I2 7I/ VirtualLab Fusion技术 -?A,N,nnX 8+Y+\XZG
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