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摘要 @!N-RQ&A Am0{8
' 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 U6ZR->: lASL8O&\
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设计任务 BcjP+$k4_ ?^mi3VM
[H\:pP8t ?<&O0'Q 1级参数优化 Jb)#fH$L >KLtY|o)
5RH2"*8T zJDSbsc$% 结果-容差分析 qSqI7ptA\ sbkQ71T:
1(Y7mM8\ 1be %G [* 结果-容差分析 v0D q@Q1 r"2V
AsS$C&^ -4w=s|#.\ VirtualLab Fusion一瞥 ne61}F"E EpS(o>'
p^nL&yIW,% iqQUtE]E_ VirtualLab Fusion中的工作流程 aV o;~h~ t>GfM 构建光栅结构 (BxJryXm −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] aSuM2 −倾斜光栅高级设定[用例] .x`M<L#M( •光栅衍射效率分析 l+V,DCE −光栅阶序分析器[用例] CM )Q& |