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摘要 >S?7-2X /T6Te<68^ 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 =3,Sjme 15DlD`QV
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结果-容差分析 i\MW'b +.hJ[|F1&
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,z0E2 HsK52< VirtualLab Fusion一瞥 "n<u(m8E a6op
uQW d1> b55G1w VirtualLab Fusion中的工作流程 a\I`:RO=<Z .fY$$aD$4 构建光栅结构 j7HOh|q −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] +T7FG_ −倾斜光栅高级设定[用例] 061 f •光栅衍射效率分析 K%vGfQ8Er- −光栅阶序分析器[用例] ]O+Nl5* •使用参数优化进行光栅参数优化 /bqJ6$ •使用参数运行的容差分析 i"hn%u$V OL#RkD ;{cl*EN #kQLHi3## VirtualLab Fusion技术 DAd$u1 jY\YSQ
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