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摘要 I+SL0 TB\CSXb 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 "G:>}cs%? Qfi5fp=f
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|V&k1{V %lxo?s@GE VirtualLab Fusion中的工作流程 \BDNF<_ h)rHf3: 构建光栅结构 %-dGK)? −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] ]!QeJ'BLM −倾斜光栅高级设定[用例] T&%>/7I> •光栅衍射效率分析 &uM?DQ`o8 −光栅阶序分析器[用例] S@_GjCpn •使用参数优化进行光栅参数优化 mP-+];gg •使用参数运行的容差分析 J=sQ].EK S=Zjdbd UkUdpZ.[il k"6^gup(U VirtualLab Fusion技术 C>H UG .d2s4q\
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