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摘要 AYP*J ^L@2%}6b` 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 F?B`rw@xr XDdF7i}
+-*Ww5Zti y9xvGr[l 设计任务 0mMoDJRy 8$TSQ~
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'C2X9/!, 7a_tT;f; 结果-容差分析 Ok V*,n h7"c_=w+
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TF1,7Qd S<Os\/* VirtualLab Fusion一瞥 +>}LT_ E;tEmGf6F
6^l|/\Y{ l{o,"P" VirtualLab Fusion中的工作流程 e"D%eFkDW 5w+KIHhN| 构建光栅结构 9Gc4mwu −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] 6D&{+; −倾斜光栅高级设定[用例] wr-/R"fX •光栅衍射效率分析 =f/CBYNw@V −光栅阶序分析器[用例] 2t[P-on •使用参数优化进行光栅参数优化 4Y5lP00!} •使用参数运行的容差分析 QHDR*tB:{ !y\r.fm!A /Bw
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-k8<LR3 VirtualLab Fusion技术 {)jTq?? :*} -,{uX
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