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摘要 i8HTzv"J Tc3yS(aq 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 2Q:+_v m/EFHS49
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XACm[NY_ K0Fh%Y4)QH VirtualLab Fusion一瞥 l0A&9g*l2 \d$!a5LF}
\6*I'|5d 0b(N^$js' VirtualLab Fusion中的工作流程 EG |A_m85 ~Vjl7G\7i 构建光栅结构 bhlG,NTP −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] }Y36C.@H −倾斜光栅高级设定[用例] 5iydZ •光栅衍射效率分析 j]/RC(;? −光栅阶序分析器[用例] RF0HjgP •使用参数优化进行光栅参数优化 _/5H l` •使用参数运行的容差分析 QWHug:c d <JM36j? [-oc>;`=l t" Z6[XG VirtualLab Fusion技术 ZoZ|Ma PdtvU-(
X1vd'> r#]WI| 文件信息 G,Azm}+ Dy8r 9
Whf.fK hv_XP,1K 2Dj%,gaR QQ:2987619807 ?R.j^S^
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