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摘要 sq!$+=1-X +P^
;7"H 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 D`T;j[SsS# w}gmVJ#p
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&eHRn_st5b h^SWb91"G 结果-容差分析 5MVa;m inWLIXC,
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uzBQK C^L+R7 VirtualLab Fusion一瞥 krUtOVI <y@vv
w"v!+~/9 *%Rmdyn VirtualLab Fusion中的工作流程 \baY+,Dr+ 3YHEH\60^ 构建光栅结构 n93q8U6m/U −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] ./#YUIC −倾斜光栅高级设定[用例] l~i? •光栅衍射效率分析 jE*{^+n
−光栅阶序分析器[用例] *'>_XX •使用参数优化进行光栅参数优化 7?*+,Fo# •使用参数运行的容差分析 ;7'O=% 'z$$ZEz!C '^UHY[mX8 :W.H#@'( VirtualLab Fusion技术 ,<v0( YvJFZ_faX
V&*IZt& ;|q<t 文件信息 8!E.3'jb rfqwxr45h
qYK^S4L 5#GMp AY /9Io- QQ:2987619807 |0n )U(
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