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摘要 M uz+j.0 742sqHx 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 NX.%Rj* ;J[ed>v;3
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}enS'Fpf` GTYCNi66 VirtualLab Fusion一瞥 _T\/kJ)Q\ ui>0?O*G
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PeU>h2t VirtualLab Fusion中的工作流程 +F>9hA 0XgJCvMcB 构建光栅结构 xJcM1>cT> −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] &Y`V A −倾斜光栅高级设定[用例] k 'CM^,F& •光栅衍射效率分析 C4,;l^?=% −光栅阶序分析器[用例] !\'NBq, •使用参数优化进行光栅参数优化 heizO",8.& •使用参数运行的容差分析 xbTvv>'U E`A6GX (B/od# nU J`I^F:y* VirtualLab Fusion技术 EdC^L`:: 7NQ@q--3s
BI|BfO%F$j Tr\6AN?o 文件信息 (7zdbJX Gd%X> ~
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