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摘要 |<rfvsQ. frc{>u~t 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 &\k?xN ,Aj }]h\L
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$)*xC!@6X Lm|al.Z VirtualLab Fusion中的工作流程 6vobta^w sJ~P:g 构建光栅结构 &$#99\/ −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] B+46.bIH −倾斜光栅高级设定[用例] [4>r6Hqxr •光栅衍射效率分析 9"ugz^uKt −光栅阶序分析器[用例] F7T E|LZ •使用参数优化进行光栅参数优化 76u{!\Jo/{ •使用参数运行的容差分析 FJwt?3\u5 -B9S}NPo 7|Dn+= zMGzReJ VirtualLab Fusion技术 `W"G!X- 8=F %+
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