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摘要 RcO.1@2 ^ ~Tn[w W_ 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 "uyr@u0b ZR{YpLFQ
Y2g%{keo vn@sPT 设计任务 a^O>i#i U2Ky4UFm
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{q~N$"# m-cw5lW VirtualLab Fusion一瞥 ~)ysEZl *Rc?rMF !
uY3#, '#QZhz(+ VirtualLab Fusion中的工作流程 :x?G[x= _,p/2m-Pj 构建光栅结构 TA#pA(k −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] zMO xJ −倾斜光栅高级设定[用例] *ck'vV'@ •光栅衍射效率分析 ._.Qf<7 −光栅阶序分析器[用例] ;9Wimf]G,E •使用参数优化进行光栅参数优化 D>-Pv-f/ •使用参数运行的容差分析 |Fq\%y# RE]*fRe7# $)=`Iai {OS[0LB VirtualLab Fusion技术 =">0\# 9'ky2
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