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摘要 dvWQ?1l_ 6 6G$5 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 U,?[x2LF LZirw'
sOegR5?; 3]=j!_yJf 设计任务 2m]CmdV^ 2WK]I1_
.Du-~N4\ "enGWIH 1级参数优化 z@Klj qN T)ZO+}
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VirtualLab Fusion一瞥 MGt[zLF9 D%CKkQ<u2
w}wABO bi^[Eh VirtualLab Fusion中的工作流程 1{TmK9U Y[=X b 构建光栅结构 i&%~:K* −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] T$p!IRPt −倾斜光栅高级设定[用例] P;.j5P^j` •光栅衍射效率分析 Hs}3c
R} −光栅阶序分析器[用例] _$g2;X > •使用参数优化进行光栅参数优化 6:Fb>|]*PY •使用参数运行的容差分析 - '<K_e; !^~
^D< U3R;'80 f r#svj*dn VirtualLab Fusion技术 ,".1![b }@Ap_xW
4=BIYC"Lu >(>,*zP<9 文件信息 fV b~j ; _6y#?8RMB
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