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摘要 VOr:G85*s KNN{2thy ` 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 U5j4iz' D`G; C
a_+3, fP +p>h` fc 设计任务 7{M&9| aK 6e \?%,H
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EZiLXQd_ "9[2vdSX 结果-容差分析 d`V.i6u aTm R~k
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cZYvP ]pB5cq7o VirtualLab Fusion一瞥 9xJtDdy-O cX1?4e8
r$4d4xtK PhuHfw4$y, VirtualLab Fusion中的工作流程 dR=sdqS#J j<
h1s% 构建光栅结构 V[%IU'{: −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] W Pr:d −倾斜光栅高级设定[用例] #w5%^HwO •光栅衍射效率分析 sbVEA −光栅阶序分析器[用例] &Hf%Va[B •使用参数优化进行光栅参数优化 ;TDvk]: •使用参数运行的容差分析 l%Ke>9C %e25Z.Se$ +<@1)qZ(E U9PI#TX
&O VirtualLab Fusion技术 ~eP~c"L U:7w8$_
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$+/B! 文件信息 &m36h`tM I8@leT\9M
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