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摘要 UKZsq5Q bv4lgRE6Y 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 b9%hzD,MR rKg5?.
Z<0M_q9?MO bEMD2ABm 设计任务 Ih{(d O; bfQ+}|;
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}(hx$G^M 结果-容差分析 (c axl^= GghZ".O
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$GSn#} yz q$yTG!q* VirtualLab Fusion一瞥 O8wR#(/ &
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o3#qp>R mcP]k8?C VirtualLab Fusion中的工作流程 f0~<qT?:n Ovq-rI{ 构建光栅结构 Q=)$ −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] ~5N0=) −倾斜光栅高级设定[用例] K63OjR>H •光栅衍射效率分析 dAh&Z:86\ −光栅阶序分析器[用例] Nz'fM daX, •使用参数优化进行光栅参数优化 wI'T Je, •使用参数运行的容差分析 _rdEur C6 ?xWO>#/ ",k"c}3G E].hoq7WiB VirtualLab Fusion技术 *?zmo@- ~Y7>P$G)
V8@VR`!' }xk85*V 文件信息 FO<PMK 66(|3D X
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