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摘要 1 o e GqvnNv 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 -Fok%iQ'5 x[.z"$T@
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u_[4n VirtualLab Fusion一瞥 &\6`[# bT wE8a4.
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VirtualLab Fusion中的工作流程 0imqj7L ~d#;r5> 构建光栅结构 t\|K" −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] W_f"Gk −倾斜光栅高级设定[用例] x9o^9QJh •光栅衍射效率分析 "e7$q&R
| −光栅阶序分析器[用例] ttAVB{kdo •使用参数优化进行光栅参数优化 OCOO02Wq1 •使用参数运行的容差分析 (61twutC xn x1`|1u 1A/c/iC hO<w]jV, VirtualLab Fusion技术 `9Q,=D+ ! MF"e|W
s?Qb{ sWZtbW;) 文件信息 f'i8Mm4IL /YugQ.>| l
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