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摘要 %okzOKKX )NR Q2 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 +-B^Z On IHp_A
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V3mAvmx a iCn"j VirtualLab Fusion一瞥 saD-D2oj dO7;}>F$n
L_em') 71C42=AU VirtualLab Fusion中的工作流程 vB!|\eJ dC}`IR 构建光栅结构 0Aa`p3.) −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] @/UfDye −倾斜光栅高级设定[用例] (5^ZlOk3 •光栅衍射效率分析 u-"c0@ −光栅阶序分析器[用例] B}d.#G+_$x •使用参数优化进行光栅参数优化 nY $tp •使用参数运行的容差分析 :c8n[+5 _7a'r</@ _#o'
+_Z !G_jGc=v VirtualLab Fusion技术 oPKXZU(c CVXytS?@x
%i)B*9k ^6p'YYj"5 文件信息 ?*r!{3T ,u %f8Qa"j
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