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摘要 4Z|vnj)Z 0| ;
.6\ 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 M@W[Bz jSc#+_y
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!gnj]k&/c eiJ2NwR\w VirtualLab Fusion中的工作流程 pWu LfX fIGFHZy, 构建光栅结构 SR*wvQnOx −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] >R/$1e1Y −倾斜光栅高级设定[用例] mZIoaF>t •光栅衍射效率分析 "n:{!1VGw −光栅阶序分析器[用例] 2BCtJ`S` •使用参数优化进行光栅参数优化 ET];%~ ^ •使用参数运行的容差分析 OGiV{9U +\Q?w?DE| G|8%qd XYoIFv?' VirtualLab Fusion技术 -CH`> !A1)|/a@
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