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摘要 JE<h b%d, X-3 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 JcfGe4 J- 5kvQi8
)lJi7 ^, _'n]rQ' 设计任务 K%u>'W RRl`;w?
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TKVS%// a :cfr*IsK VirtualLab Fusion一瞥 F'JT7#eX ~&"'>C#
$Yw~v36`t/ VA %lJ!$ VirtualLab Fusion中的工作流程 ZoCk]hk aN!,\D 构建光栅结构 NSq29# −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] Vo|[Z)MO` −倾斜光栅高级设定[用例] 7$8DMBqq •光栅衍射效率分析 'QTa<Z)E −光栅阶序分析器[用例] V6k Dyl( •使用参数优化进行光栅参数优化 rX)_!mR •使用参数运行的容差分析 E!>MJlA:k6 Yjl:i*u/ $4^h>x ,D&-.`'E VirtualLab Fusion技术 Ht@5@(W]I -"XHN=H
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