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摘要 \ 9#X]H y`J8hawp 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 #E4|@}30` 8T3Nz8Q7
}hS$F &L r~x#Wx 设计任务 .FA99|: =!DpW VsQ
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4X5KrecNr !EGpI@ VirtualLab Fusion一瞥 o&>aYlXd B{>x
[R<>3}50Y 3|bbJ6*.< VirtualLab Fusion中的工作流程 @x_0AkZU L)"CE]. 构建光栅结构 i'[! 'HY −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] Ht|"91ZC5 −倾斜光栅高级设定[用例] Gyb|{G_ •光栅衍射效率分析 ~"r(PCa@ −光栅阶序分析器[用例] $>rKm
•使用参数优化进行光栅参数优化 g1~wg$`S8S •使用参数运行的容差分析 \6%`)p I/go$@E" Op:$7hv PCnu?e3F VirtualLab Fusion技术 -@.FnFa LR3>_t
z-h?Q4; XT1P.
w[aA 文件信息 b"w@am>& |qpFR)l
(W?t'J^# 3ej[ ~bz$] o-< QQ:2987619807 /q)
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