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摘要 (6,:X F`}'^> 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 Y A.&ap @kXuC<
=fSTncq ^}j~:EZb 设计任务 ]#~J[uk o:8ns m
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]4rmQAS7" s>9I#_4] 结果-容差分析 + V=<vT ui]iOp
vuQA-w7 l|g*E.:4 结果-容差分析 R P{pEd QPy h.9:N
nC:T0OJv 1$Up7=Dr= VirtualLab Fusion一瞥 kV-<[5AWW
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g5BL"Dn lw=kTYbq VirtualLab Fusion中的工作流程 bbL\ xq^ YB*)&@yx 构建光栅结构 +m_.?V6 −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] Y XhZWo{B −倾斜光栅高级设定[用例] p{?duq= •光栅衍射效率分析 V``|<`!gd −光栅阶序分析器[用例] St;9&A •使用参数优化进行光栅参数优化 /X8a3Eqp9 •使用参数运行的容差分析 SiNgV\('U !&%KJS6p4 w+m7jn!$ cGE{dWz VirtualLab Fusion技术 l4gH]!/@ H c/7x).
;&lXgC^* %+r(*Q+0$f 文件信息 $GoS?\G nS#F*)
\Y,P Jq1oQu|rs df{?E): QQ:2987619807 ^|/<e?~I
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