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摘要 ~RhUg~o XA>W>| 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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RZOK+!H: ;[v!#+yml VirtualLab Fusion一瞥 {VgE07r D*XrK0#Z`
SepjF $~/2!T_ VirtualLab Fusion中的工作流程 ~ZHjP_5Q {ZJO5* 构建光栅结构 @T'^V0!-q: −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] Hq3|>OqC2Q −倾斜光栅高级设定[用例] _5oTNL2 •光栅衍射效率分析 z5+Pi:1w −光栅阶序分析器[用例] tcD7OC:"6 •使用参数优化进行光栅参数优化 zA,vp^ •使用参数运行的容差分析 9mF' ~6[?=mOi' ~f/|bcep ewZ?+G+m VirtualLab Fusion技术 o-,."|6 vCzZjGBY
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