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摘要 6~O;t'd -HvJ&O.V$ 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 zHD8\* &-L9ws
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f\z9?Z(~ {KSy I# VirtualLab Fusion一瞥 ]}pAZd (!a\23
ypNeTR$4 w+{{4<+cd VirtualLab Fusion中的工作流程 p7L6~IN C't%e 构建光栅结构 (`<B#D;
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] ]d*O>Pm −倾斜光栅高级设定[用例] *f SX3Dk •光栅衍射效率分析 <bJ~Ol −光栅阶序分析器[用例] P0rdGf 5T •使用参数优化进行光栅参数优化 (L!u[e0[# •使用参数运行的容差分析 /U>8vV+C UMH~Q`" eGUe#(I / @"iNjqxh VirtualLab Fusion技术 `F~Fb S n.A*(@noe
JEfhr mo]>Um'F 文件信息 :I^4ILQCD @^`5;JiUk
/x/W>J2 USXPa[ 1(kd3qX QQ:2987619807 w_YY~Af
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