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摘要 O>0VTW HK=[U9 o? 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 hkL5HzWn /Wj,1WX~
#Z!b G?=" t-e5ld~a 设计任务 =[tSd)D,y j|_E$L A\
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5i So8*9} A2H4k|8 VirtualLab Fusion一瞥 j
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~%y @Xsot> ]dPZ .r VirtualLab Fusion中的工作流程 Owv+1+B '_0]vupvY 构建光栅结构 wo^Sy41bF −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] 3TuC+'`G −倾斜光栅高级设定[用例] JqU ADm •光栅衍射效率分析 U HO_Z −光栅阶序分析器[用例] VV_l$E$ •使用参数优化进行光栅参数优化 9l/EjF^ •使用参数运行的容差分析 vP-M,4c L#h:*U{@40 \>/M .2 |FR3w0o VirtualLab Fusion技术 l95<QI Z+:D)L
q" @ UH`h OJ? 文件信息 P* #8ZMA< /'DwfX
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