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摘要 !bE-&c b6N[t _, 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 5 #K*75> }Kp!,
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DB/~Z o,6t:?Z VirtualLab Fusion一瞥 n
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M@Th^yF+8H mZ+!8$1X VirtualLab Fusion中的工作流程 w% %q/![uy 2S?7j[@%i` 构建光栅结构 2q~.,vpP −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] v e&d"8+] −倾斜光栅高级设定[用例] n{tc{LII/ •光栅衍射效率分析 ^A$=6=CX −光栅阶序分析器[用例] !eW1d0n'+f •使用参数优化进行光栅参数优化 +fP.Ewi •使用参数运行的容差分析 ;TAj;Tf]H ;4nY{)bD p*;!5;OUR !oWB5x~:P VirtualLab Fusion技术 7Ak<e tHD Ykxk`SJ
cQ8[XNa +:S`] 文件信息 vqm|D&HU Coi[cfg0
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