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摘要 V.!z9AQ pW&8 =Ew 对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 YCBUc<)
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 V/8yW3]Xy F Fc?Av?_ VirtualLab Fusion一瞥 z6OJT6<'
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wD VirtualLab Fusion中的工作流程 Byns 6k 2J7JEv| 构建光栅结构 Z1 5b'^)?9
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] 5{#ya 2
−倾斜光栅高级设定[用例] , ) }-mu
•光栅衍射效率分析 N4, !b_1
−光栅阶序分析器[用例] 9riKSp:5
•使用参数优化进行光栅参数优化 SA6.g2pFz
•使用参数运行的容差分析 p B79#4 !xD_=O  LMYO>]dg
7/Mhz{o;W
VirtualLab Fusion技术 wk6tdY{&s
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 MtK5>mhZI` ZQD w|*a@ 文件信息 b .v^:M qC YXkZ%`
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QQ：2987619807 LwIX&\Ub
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