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摘要 1xdESorX( D@(M+u9/% 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 YV3TxvXMR x$5nLS2.
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(@WDvgi( Hc&uE3=%sL VirtualLab Fusion中的工作流程 orQV' (w#slTFT 构建光栅结构 iA%'
;V −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] SZK)q −倾斜光栅高级设定[用例] K?FX<PT •光栅衍射效率分析 Qw6KX#n −光栅阶序分析器[用例] 94h_t@Q/1 •使用参数优化进行光栅参数优化 Oa.f~|
•使用参数运行的容差分析 D*XZT{1g -l P ) ||'i\X|[ ){:q;E]^fB VirtualLab Fusion技术 l6S19Kv Rg8m4x w
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