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摘要 0lN8#k>H E NjD~ S
Isb^~c_P XnOl*#P 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 .w)t<7 y AE
_~DZ:%c 建模任务 83*k.]S` !WnI`
1]`HX=cl 3s`3}DKK 由于组件倾斜引起的干涉条纹 S`KCVQ>V 9%6`ZS~3
j-|0&X1C axOy~%%c 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 hZJqo + s \M@8# k|
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