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摘要 {R(/Usg!= GZ<@#~1%\ ~YNzSkz ZwxEcs+UM 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 tag)IWAiE us5Zi# } 建模任务 `r&Ui%fk;0 !<h9XccN wmK;0 )|H |CQjgI|; 由于组件倾斜引起的干涉条纹 Gyy4)dP gzK/ l: r.@UH-2c 6qV1_M# 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 ?N+pWdi U4a8z<l$ %/U'Wu{*
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