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摘要 V!T^wh; [x;(cISK1
zwM"`z IajD;V 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 Q`.'-iq n-b>m7O( 建模任务 <|{L[ T@;! yz}Pf
?,ZELpg n RLdlz 由于组件倾斜引起的干涉条纹 ==%`e/~Y AMbKN2h1f
K0tV'Ml#" Jj2g5={ 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 T ;i?w o3Mf:;2c C
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