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摘要 M_+"RKp ~ryB*eZH
Y M<8>d =nQgS.D 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 O)$rC 0I`)<o- 建模任务 VDyQv^=# s?:&#
oV(|51(f -/y]'_a 由于组件倾斜引起的干涉条纹 %a_ rYrL Q||vU
Q=,6W:j
xe~lV 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 A*$JF>`7 _{]\} =@
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