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摘要 *8X9lv.Z A='+tJa
dF11Rj,~ 8 UoMWn"ZE 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 P,;b'-5C 4B8S e 建模任务 9#T%bB"J PBww
Ms'TC;&PS gLSG:7m@ 由于组件倾斜引起的干涉条纹 v7<S F Ik-E4pxKo
Q@W|GOH3 x #X#V\w= 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 #"p1Qea$ )Z8"uRTb0
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