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摘要 R${4Q1 X]U"ru{1q
4eL54).1O _XNR um4 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 8!Mzr1: N<"6=z@w+ 建模任务 C|IQM4 G:C6`uiy`
He-Ja A6 y~_dt 由于组件倾斜引起的干涉条纹 !XA%[u AnE_<sPA
u+'@>%7 }rA+W-7 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 S Y>,kwHO ^'53]b:
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