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摘要 LyT[ J+nUxF;EE m@c\<-P MM/D5g 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 =(as{,j 8|S}!P" 建模任务 $s9YU" RATW[(ZA AI*1kxR m^YYdyn]M 由于组件倾斜引起的干涉条纹 5cSqo{|En cY%6+uJ1 /HM0p !L55S03 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 _*dUH5 p>0n~e ,mvU`>Ry
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