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摘要 7[<sl35 xla^A}{
O]LuL&=s y 8BH)jna`Qo 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 i/EiUH/~ v})Ti190 建模任务 +rw3.d PC7.+;1
kb\v}gfiD/ q9(}wvtr 由于组件倾斜引起的干涉条纹 ]4~D;mv 5BO!K$6
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