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摘要 <yHa[c`L k6?;D_dm
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m<X[s 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 #{BHH;J+ /:OSql5K*< 建模任务 B<" `<oG@| 6,q}1-
]'iOV-2^' yHk}'YP 由于组件倾斜引起的干涉条纹 <_N<L\ :7P/ZC%
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