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摘要 gv-xm 7'W%blg!V
IID-k qzKdQ&vO 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 d\|?-hY`[ )f[
B6Y 建模任务 0uOkMuy< "!ug_'VW
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H Y&DmE 由于组件倾斜引起的干涉条纹 9.gXzPH zuJ@E=7
#*K}IBz /_AnP 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 `(ue63AZ 8pIP
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