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摘要 BN]o!Y I-!7 EC2{!
tZ62T{, a E8kD#tL 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 p]S'pzh }Y!V3s1bm 建模任务 |GQq:MB;z &cyB}Gv
X~VI} dJ 2i6=g< 由于组件倾斜引起的干涉条纹 vT{(7m!Ra >(H:eRKq
<$?#P#A Cu%BU}( 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 ?qs LR I_f%%N%
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