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摘要 l(3'Re {<''OwQF~+
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tEpIyC 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 ^g}gT-l% A{DIp+ 建模任务 CS^ oiV%{s \]L::"![?
9^#zxmH) e]dPF[?7 由于组件倾斜引起的干涉条纹 P;HVL flu tu?Z@W/
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