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摘要 !"+'A)Nve WD'#5]#Y
7Sz?S_N/j *6 _tQ9G 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 kNqH zo RZ1
/#; 建模任务 1 { , F A>{p2?`+!
_0gKK2 %T7nO %p 由于组件倾斜引起的干涉条纹 +:3* "bDs2E+W
6%Be36< O$IjNx 由于偏移倾斜引起的干涉条纹
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