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摘要 y'<5P~W!a |O' gT8
9`CJhu &g=6K&a$a 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 @y6^/' jN(c`Gb 建模任务 9lkl-b6xG |Qpd<L
\K lY8\c[ :c(I-xif 由于组件倾斜引起的干涉条纹 e?\hz\^ i-4?]h k
&KV$x3 BFqM6_/J 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 %/}d'WJR kkOjAp{<t
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