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摘要 w
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s4f{ziLp (8ct'Q ; 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 WyB^b-QmDh @v&P;=lU 建模任务 e+#k\x Dh}d-m_5
[q0^Bn}h >*B59+1P 由于组件倾斜引起的干涉条纹 yfqe6-8U GHi'ek <?^
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8 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 9RSviIi$ o)b-fAd@$
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