《薄膜光学与薄膜技术基础》

发布:cyqdesign 2020-06-01 23:03 阅读:6854
薄膜光学与薄膜技术基础》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。《薄膜光学与薄膜技术基础》共分三篇13章:第一篇分为4章,讲述薄膜光学基本理论,内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算;第二篇分为6章,分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用;第三篇分为3章,比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术,以及一些金属薄膜、半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展,《薄膜光学与薄膜技术基础》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。 IcqzMm b  
U+ Yu_=o{  
vKPLh   
目录 FB,rQ9D  
第一篇 薄膜元学基本理抢 :.BjJ2[S  
第1章 薄膜光学的电磁理论基础 1 WSU/Z[\`H  
1.1 麦克斯韦方程 1 h<'tQGC  
1.2 平面电磁波 6 UWqX}T[^  
1.2.1 复矢量波动方程一一齐次矢量亥姆霍兹方程 6 WHjJR   
1.2.2 理想介质中的平面波解 7 e50xcf1u  
1.2.3 吸收介质中的平面波解 8 pnuwj U-  
1.3 平均电磁能流密度光强 9 Rm,>6bQx  
1.4 电磁波谱、光谱 10 p}I\H ^"8+  
习题 12 Q>\DM'{:4  
参考文献 12 FW3E UC)P  
第2章 平面光波在两介质分界平面上的反射与透射 14 {fEb>  
2.1 各向同性理想介质界面的反射与透射 14 @3b@]l5  
2.1.1 S波反射与透射 14 (VCJn<@@  
2.1.2 P波反射与透射 16 ]<%NX $9\  
2.2 各向同性吸收介质界面的反射与透射 18 7FaF]G  
2.2.1 S 波反射与透射 18 XfIsf9  
2.2.2 P 波反射与透射 20 (bNoe(<qU  
2.3 非均匀介质界面的反射与透射 21 KG(l=? N  
2.3.1 几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播 21 NYxL7:9  
2.3.2 任意非均匀介质界面的反射系数方程 24 5[*8C Y  
2.4 各向异性介质界面的反射与透射 30 <?;KF2A({  
2.4.1 平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式 31 >wYmx4W>  
2.4.2 平面对称各向异性介质界面的反射与透射 31 By*YBZ  
2.5 反射系数和透射系数随入射角的变化 36 Mbly-l{|  
2.5.1 全反射与倏逝波 36 Ya<V@qd  
2.5.2 全透射 37 a>Aq/=  
2.5.3 反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化 38 &(o&Y  
2.6 反射率和透射率 39 D^t: R?+  
2.6.1 理想介质分界面的反射率和透射率 40 I&^hG\D  
2.6.2 吸收介质分界面的反射率和透射率 41 ]gA2.,)}D  
2.6.3 空气与金属导体表面的反射率 43 D~Q -:G$x  
习题 44 G_k_qP^:  
参考文献 44 NP!LBB)=Y  
第3章 平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射 45 JnQ@uZb`  
3.1 法向阻扰和光学有效导纳的概念 45 nI73E  
3.2 平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射 47 ~Kt+j  
3.3 平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射 53 o=lZl_5/u;  
3.3.1 平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法 53 Q!AGalP z  
3.3.2 多层增透膜和高反射膜的基本构成特点 55 ]R09-s 0$7  
3.4 非均匀介质膜层的特征短阵 61 k0b6X5  
3.4.1 一阶近似 62 'w/ S6j  
3.4.2 二阶近似 63 64'sJc.   
3.5 各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法 64 FId,/la  
3.5.1 各向异性介质中的矩阵波动方程 64 PyQ\O*  
3.5.2 各向异性介质薄膜的矩阵波动方程 66 an Kflt3  
3.5.3 均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解 70 TOvsW<cM  
3.5.4 单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵 72 \^'-=8<*>  
3.5.5 非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解 74 8|!"CQJ|H  
3.5.6 单层各向异性介质薄膜的反射与透射 75 %_39Wa  
习题 79 :[C|3KKe"  
参考文献 79 m.5@q mQ  
第4章 膜系设计图示法 81 ?2gXF0+~Y2  
4.1 矢量法 81 ?;_Mxal'  
4.2 导纳图解法 87  z_(4  
4.2.1 单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图 87 +}mj;3i  
4.2.2 单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图 89 cI@'Pr4:FJ  
4.2.3 多层膜系等折射率导纳圆图 92 }_+):<Db  
4.3 金属膜导纳圆图 97 Io /;+R .  
4.4 膜系层间电场分布 99 3@0!]z^W  
习题 100 |*8X80<  
参考文献 101 =""5 c  
第二篇 光学等膜分类反应用 O^3XhTW^\~  
第5章 增透膜 102 -_Z  
5.1 表面反射对光学系统性能的影响 102 j0=H6Y  
5.2 基底介质非相干叠加的透射率 104 .F\[AD 5  
5.3 透射滤光片组合透射率 106 #!(2@N8  
5.4 均匀介质增透膜 107 =[TXH^.0  
5.4.1 单层均匀介质增透膜 107 $9 G".T  
5.4.2 多层均匀介质增透膜 108 W yP]]I.  
5.5 非均匀介质增透膜 113 s`]SK^j0  
5.6 入射角变化对透射率的影响 115 F*4G@)  
5.7 增透膜应用实例液晶显示增透膜 117 90=gP  
习题 118 Gy'/)}}Z  
参考文献 118 1l.HQ IS  
第6章 高反射膜 120 0OtUb:8LX  
6.1 反射镜组合的反射率 120 )~w bu2;  
6.2 周期多层膜系的反射率 121 h6 :|RGF  
6.2.1 周期多层膜系的特征矩阵 121 [XP\WG>s  
6.2.2 周期多层膜系的反射率和透射率 122 {JfL7%  
6.3 [HL]m类型的周期多层膜 123 k/Q8:qA  
6.4 (0.5L) H(0.5L)m类型的对称周期多层膜 126 <yw=+hz[u  
6.5 周期多层膜构成的宽带高反射膜 128 M'NOM>8  
6.6 中远红外区域的多层高反射膜 129 MiMDEe%f%  
6.7 软X 射线区域的多层高反射膜 131 ndvt $*  
6.8 金属反射镜 134 \`*]}48Z  
6.8.1 常用金属反射镜 134 4Ub7T=LG  
6.8.2 金属一介质反射镜 136 ~KxK+ 6[ :  
6.9 影响反射特性的因素 137 F]RZP/D`  
6.10 高反射镜应用实例 143 8b25D|8l  
6.10.1 激光高反射镜 143 HoZsDs.XZ  
6.10.2 光刻机系统193nm 高反射膜 144 0.U- tg0  
6.10.3 DLP/LCoS 技影薄膜宽角度高反射镜 145 $A98h -*x  
习题 146 :4Y 5  
参考文献 146 Saks~m7,  
第7章 带通滤光片 149 @|d`n\%x  
7.1 带通滤光片的特性描述 149 Ma ]*Pled  
7.2 带通滤光片的基本构型一一法布里一咱罗干涉仪及其变形 150  {C%f~j  
7.3 法布里一咱罗干涉仪透射率计算 151 e,*@+E\4  
7.3.1 单层薄膜反射与透射计算的有效界面法 151 t+Qx-sW  
7.3.2 膜系透射定理 153 J(,{ -d-E  
7.3.3 法布里一躏罗干涉仪的透射率计算 155 8`|Z9umW*  
7.3.4 法布里础罗干涉仪透射特性分析 156 %(r.`I$  
7.3.5 特殊带通滤光片信噪比的计算 164 87R$Y> V  
7.4 窄带和中等带宽滤光片 164 [3v&j_  
7.4.1 法布里踊罗干涉滤光片 164 suN}6C I  
7.4.2 窄带平顶多腔带通滤光片 172 h0-CTPQ7A  
7.4.3 诱导带通滤光片 174 P#,g5  
7.5 超窄带带通滤光片 183 l~x 6R~q  
7.6 宽带带通滤光片 185 Z:VT%-  
7.7 带通滤光片的角特性 186 6'.CW4L  
7.8 极远紫外及软X 射线区域带通滤光片 190 $N4i)>&T2  
7.9 多通道窄带带通滤光片 192 1L4v X  
习题 193 o4YF,c+>q  
参考文献 193 4B-+DH>{6  
第8章 截止滤光片 196 )kE1g&  
8.1 截止滤光片的特性描述 196 .h@bp1)l  
8.2 吸收型截止滤光片 197 z2;<i|Ez0  
8.3 干涉型截止滤光片 198 8~iggwZ~h"  
8.3.1 1/4波长周期膜系的透射特性 198 rpL]5e!  
8.3.2 周期对称膜系的光学等效导纳和等效相位 199 \Bl`;uXb  
8.3.3 [(0.5H)L(0.5H)]和[ (0.5L) H(0.5L)]类型对称膜系的光学等效导纳和等效相位 201 0E^S!A 7  
8.3.4 [(0.5H)L(0.5H)Jm 和[(0.5L) H(0.5L)]m类型周期对称膜系的透射率 203 yY80E[v  
8.3.5 透射带内波纹的压缩 208 ~@D{&7@  
8.3.6 截止带的展宽 210 =^w:G=ymS  
8.3.7 透射带的展宽和压缩 212 *zv*T"&ZP  
8.4 金属介质膜截止滤光片 218 4`:Eiik&p  
8.5 热反射镜、冷反射镜和太阳能电池覆盖膜 218 I5W#8g!{  
习题 221 6I\4Yv$N  
参考文献 221 IG4`f~k^  
第9章 带阻滤光片 223 stq%Eg?  
9.1 带阻滤光片的特性描述 223 Ka8Bed3  
9.2 周期对称膜系构成的带阻滤光片 223 :?\Je+iA  
9.2.1 单个周期对称膜层的等效导纳和等效相位 224 gzp]hh@4  
9.2.2 多层膜透射率的不变特性 224 L ?S#3@Pa  
9.2.3 周期对称多层膜通带内波纹的压缩 227 > NtJ)N*  
9.2.4 四种介质周期对称膜系构成的带阻滤光片 230 [:l=>yJ{(  
9.3 非周期对称多层膜构成的带阻滤光片 231 )fbYP@9>a  
9.4 正弦周期折射率带阻滤光片 232 ]KQBek#DD  
9.4.1 正弦周期折射率带阻滤光片的基本构成特点 233 eY(JU5{  
9.4.2 正弦周期折射率带阻滤光片设计的傅里叶变换方法 234 <1kK@m -E  
习题 241 F>aaUj  
参考文献 241 G@,XUP  
第10章 分光镜 243 gnw?Y 2  
10.1 中性分光镜 243 (q=),3/<pU  
10.1.1 金属膜中性分光 244 {s?x NU  
10.1.2 介质膜中性分光 245 :\|<7n   
10.1.3 金属介质膜中性分光 247 Q&&oP:4~X*  
10.2 双色分光镜 249 [f`7+RHrd  
10.3 偏振分光 254 k1HCPj  
10.3.1 偏振特性的描述 254 q)y<\cEO  
10.3.2 平板偏振分光镜 255 P"Y7N?\](  
10.3.3 棱镜偏振分光 258 'H'R6<z5  
10.3.4 宽角宽带偏振分光 259 G g{M  
10.4 消偏振分光 262 +\25ynM  
10.4.1 偏振分离的描述 263 Ji0FHa_  
10.4.2 介质膜消偏振分光设计实例 267 ]U.*KkQ  
10.4.3 金属一介质膜消偏振分光设计实例 271 US] I[Y6V  
10.4.4 其他消偏振分光设计方法 273 @}_Wl<kn  
10.5 分光中的消色差问题 280 +?GsIp@>jh  
习题 281 Jmun^Q/h  
参考文献 282 )Vpt.4IBd  
第二篇 薄膜扶术基础 \T^ptj(0  
第11章 薄膜制备技术 283 fD2 )/5j1  
11.1 真空技术简介 283 c{})Z=  
11.1.1 真空的基本知识 283 :+meaxbu  
11.1.2 真空的获得 284 B[;aNyd<  
11.1.3 真空的测量 286 r!/<%\S  
11.2 薄膜制备方法物理气相沉积 289 Ko %e#q-  
11.2.1 蒸镀法 289 ZO]P9b  
11.2.2 溅射法 300 rchKrw  
11.3 薄膜制备方法化学气相沉积 306 MD[;Ha  
11.3.1 化学气相沉积的原理 307 nYy+5u]FG  
11.3.2 常压化学气相沉积 308 b}Xh|0`b+  
11.3.3 低压化学气相沉积 308 o}y(T07n  
11.3.4 等离子体增强化学气相沉积 309 T}Ve:S  
11.3.5 光化学气相沉积 310 *JiI>[  
11.3.6 金属有机化学气相沉积 311 2X0<-Y#'  
11.3.7 原子层沉积 312 r)[Xzn   
11.4 薄膜制备方法一一液相沉积 313 Er<!8;{?  
11.4.1 化学镀 313 !iU$-/,1e  
11.4.2 阳极氧化法 314 X1^Q1?0  
11.4.3 溶胶一凝胶法 314 5a2+6N  
11.4.4 电镀 315 8T3Nz8Q7  
11.4.5 LB 膜制备技术 315 }hS$F  
11.5 光刻蚀 316 *)s^+F 0  
11.5.1 光刻工艺 316 4z,/0  
11.5.2 光刻胶 317 F+ <Z%KuCu  
11.5.3 掩模 318 4,?WNPqo  
11.5.4 曝光 318 %(:{TR  
11.5.5 刻蚀方法 318 fY!9i5@'  
11.5.6 无掩模刻蚀 321 * 5(%'3  
11.5.7 刻蚀图形及折射率 323 &M6Zsmo  
习题 323 Sgn<=8,6c  
参考文献 324 H}g p`YW:4  
第12章 光学薄膜检测技术 326 D|IS@gWa  
12.1 光谱分析技术基础 326 RSup_4A  
12.1.1 光度计和光谱仪的基本构成 326 fxc?+<P  
12.1.2 紫外一可见光分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪 330 #E#Fk3-ljQ  
12.2 薄膜透射率和反射率测量 333 u0nIr9  
12.2.1 透射率测量 333 c uHF^l  
12.2.2 反射率测量 334 RhkTN'vO  
12.3 薄膜吸收和散射测量 338 Zhc99L&K  
12.3.1 吸收测量 338 t@q==VHF  
12.3.2 散射测量 342 gB]jLe  
12.3.3 薄膜表面轮廓及粗糙度测量 344 T%w5%{dqJ  
12.4 光学薄膜常数测量 347 ?b\oM v5y  
12.4.1 光度法 348 UvuA N:'  
12.4.2 全反射衰减法 354 @x_0AkZU  
12.4.3 椭圆偏振法 357 ku GaOO  
12.5 光学薄膜激光损伤阔值检测 358 iKG,"  
12.5.1 光学薄膜激光损伤机理 359 =Jswd  
12.5.2 影响光学薄膜激光损伤阔值的因素 360 Em(Okr,0  
12.5.3 激光损伤阂值测量方法 362 FA{(gib@9  
12.5.4 提高光学薄膜损伤阂值的途径 366 ;Swy5z0=ro  
12.6 薄膜微结构和化学成分检测 368 ba^/Ar(B  
12.6.1 薄膜微结构 368 |g1Pr9{wy  
12.6.2 薄膜微结构检测 371 C@u}tH )  
12.6.3 雕塑薄膜 372 NYc;Zwv9  
12.6.4 薄膜化学成分检测 373 %$67*pY'JH  
12.7 薄膜非光学特性测量 375 5E =!L g  
HF*j=qt!  
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最新评论

cyqdesign 2020-06-28 22:28
shancjb:有没有电子版呀可以下载? (2020-06-28 22:24)  {a15s6'd  
dx+xs&  
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苍氓一 2021-04-20 13:18
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华丽的转身 2021-09-15 09:19
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春风依旧 2021-10-11 11:50
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1250288535 2021-10-11 14:54
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18961721564 2022-04-26 21:46
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viavi1109 2022-08-09 13:24
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轩zjw哥 2022-09-29 22:07
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