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《薄膜光学与薄膜技术基础》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。《薄膜光学与薄膜技术基础》共分三篇13章：第一篇分为4章，讲述薄膜光学基本理论，内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算；第二篇分为6章，分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用；第三篇分为3章，比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术，以及一些金属薄膜、半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展，《薄膜光学与薄膜技术基础》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。 S{ *RF)  
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eb+[=nmP  
目录 L{\B9b2  
第一篇 薄膜元学基本理抢 eqjl$QWPJS  
第1章 薄膜光学的电磁理论基础 1 &4BN9`|:  
1.1 麦克斯韦方程 1 m3,]j\  
1.2 平面电磁波 6 r[~Km5  
1.2.1 复矢量波动方程一一齐次矢量亥姆霍兹方程 6 =_v_#;h&  
1.2.2 理想介质中的平面波解 7 uWMAXGL  
1.2.3 吸收介质中的平面波解 8 Zkxt>%20~  
1.3 平均电磁能流密度光强 9 0!!pNK%(  
1.4 电磁波谱、光谱 10 iyj&O"  
习题 12 .s,hl(w,  
参考文献 12 w3yI;P  
第2章 平面光波在两介质分界平面上的反射与透射 14 <4(rY9  
2.1 各向同性理想介质界面的反射与透射 14 bh_i*DJ]  
2.1.1 S波反射与透射 14 oYqlN6n,=6  
2.1.2 P波反射与透射 16 j7uiZU;3Rx  
2.2 各向同性吸收介质界面的反射与透射 18 v( (fRX.`  
2.2.1 S 波反射与透射 18 rY($+O@a<  
2.2.2 P 波反射与透射 20 ?b2%\p`"  
2.3 非均匀介质界面的反射与透射 21 m: w/[|_  
2.3.1 几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播 21  8tPq5i  
2.3.2 任意非均匀介质界面的反射系数方程 24 }vcC4 =t/  
2.4 各向异性介质界面的反射与透射 30 =u73AM}  
2.4.1 平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式 31
uZW1 :cx  
2.4.2 平面对称各向异性介质界面的反射与透射 31 FtE%<QHt  
2.5 反射系数和透射系数随入射角的变化 36 J^1w& 40
 
2.5.1 全反射与倏逝波 36 {)jQbAr(G  
2.5.2 全透射 37 G~^Pkl3%T  
2.5.3 反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化 38 mJWl#3  
2.6 反射率和透射率 39 ^$yr-p%-  
2.6.1 理想介质分界面的反射率和透射率 40 \!s0VEE  
2.6.2 吸收介质分界面的反射率和透射率 41 t5e%"}>7H  
2.6.3 空气与金属导体表面的反射率 43 J}<k`af  
习题 44 9-)oA+$  
参考文献 44 tS`fG;  
第3章 平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射 45 gxL5%:@  
3.1 法向阻扰和光学有效导纳的概念 45 V^.~m;ETu]  
3.2 平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射 47 9I9J}&4  
3.3 平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射 53 knF *~O :y  
3.3.1 平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法 53 9<-AukK m  
3.3.2 多层增透膜和高反射膜的基本构成特点 55 ,R*ru*  
3.4 非均匀介质膜层的特征短阵 61  ZYkeW  
3.4.1 一阶近似 62 30[?XVI&  
3.4.2 二阶近似 63 >*Y~I0>  
3.5 各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法 64 Dth<hS,2J  
3.5.1 各向异性介质中的矩阵波动方程 64 RI cA)I.  
3.5.2 各向异性介质薄膜的矩阵波动方程 66 ae#7*B  
3.5.3 均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解 70 `@=}5 9+|  
3.5.4 单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵 72 [nYwJ  
3.5.5 非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解 74 ?u 9) GJO[  
3.5.6 单层各向异性介质薄膜的反射与透射 75 m.S@ e8kS  
习题 79 &87D.Yy^  
参考文献 79 ILTd*f
 
第4章 膜系设计图示法 81 <[[DS%(M^  
4.1 矢量法 81 4$ejJaE  
4.2 导纳图解法 87
&|Z:8]'P  
4.2.1 单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图 87 b^^Cj(  
4.2.2 单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图 89 8pt;''  
4.2.3 多层膜系等折射率导纳圆图 92 [#uX{!q'  
4.3 金属膜导纳圆图 97 z26zl[.  
4.4 膜系层间电场分布 99 Y.jg }oV  
习题 100 Wc03Sv&FZ  
参考文献 101 WihOGdUS6  
第二篇 光学等膜分类反应用 *F~"4g  
第5章 增透膜 102 3vmLftZE}  
5.1 表面反射对光学系统性能的影响 102 c?b?x 6 2  
5.2 基底介质非相干叠加的透射率 104 K'n^, t  
5.3 透射滤光片组合透射率 106 0qZ{:}`3  
5.4 均匀介质增透膜 107
7P:0XML}  
5.4.1 单层均匀介质增透膜 107 QoI@/ jLj  
5.4.2 多层均匀介质增透膜 108 j:$2,?|5  
5.5 非均匀介质增透膜 113 5GT,:0  
5.6 入射角变化对透射率的影响 115 %=\h=\wt  
5.7 增透膜应用实例液晶显示增透膜 117 T"8>6a@}E  
习题 118 '_@=9 \<  
参考文献 118 d/Fjs0pt  
第6章 高反射膜 120 A CJmy2  
6.1 反射镜组合的反射率 120 KdYT5VUM/  
6.2 周期多层膜系的反射率 121 uoaF(F-  
6.2.1 周期多层膜系的特征矩阵 121 #y}@FG  
6.2.2 周期多层膜系的反射率和透射率 122 M ~.w:~Jm  
6.3 [HL]m类型的周期多层膜 123 y.w/7iw:  
6.4 (0.5L) H(0.5L)m类型的对称周期多层膜 126 xWn.vSos  
6.5 周期多层膜构成的宽带高反射膜 128 LQNu]2  
6.6 中远红外区域的多层高反射膜 129 0xIr:aFF  
6.7 软X 射线区域的多层高反射膜 131 ;Z C18@  
6.8 金属反射镜 134 BxO2w1G  
6.8.1 常用金属反射镜 134 cd*y{Wt  
6.8.2 金属一介质反射镜 136 {HvR24
#  
6.9 影响反射特性的因素 137 -5kq9Dy\,  
6.10 高反射镜应用实例 143 RYS]b[-xZz  
6.10.1 激光高反射镜 143 fx
%'7/+  
6.10.2 光刻机系统193nm 高反射膜 144 ,N<;!6e  
6.10.3 DLP/LCoS 技影薄膜宽角度高反射镜 145 <w.V!"!  
习题 146 ZEUd?"gaR  
参考文献 146 (al7/EhY  
第7章 带通滤光片 149 1:q55!b  
7.1 带通滤光片的特性描述 149 ?2_u/x  
7.2 带通滤光片的基本构型一一法布里一咱罗干涉仪及其变形 150 NQ@ EZoJ  
7.3 法布里一咱罗干涉仪透射率计算 151 \9@*Jgpd6*  
7.3.1 单层薄膜反射与透射计算的有效界面法 151 0%`\8  
7.3.2 膜系透射定理 153 -(Taj[;[  
7.3.3 法布里一躏罗干涉仪的透射率计算 155 ldanM>5  
7.3.4 法布里础罗干涉仪透射特性分析 156 (. 1<.PZp)  
7.3.5 特殊带通滤光片信噪比的计算 164 J A4'e@  
7.4 窄带和中等带宽滤光片 164 hH )jX`Ta  
7.4.1 法布里踊罗干涉滤光片 164 f![x7D$  
7.4.2 窄带平顶多腔带通滤光片 172 0MrtJNF]_O  
7.4.3 诱导带通滤光片 174 ?VS {,"X  
7.5 超窄带带通滤光片 183 JR'Q Th:z  
7.6 宽带带通滤光片 185 )|uPCZdLZ  
7.7 带通滤光片的角特性 186 dUOjPq97  
7.8 极远紫外及软X 射线区域带通滤光片 190 eey <:n/Z  
7.9 多通道窄带带通滤光片 192 QVn!60[lj  
习题 193 /M v\~vg$1  
参考文献 193 m$pXe<  
第8章 截止滤光片 196 zrRt0}?xl  
8.1 截止滤光片的特性描述 196 T!(I\wz;Bo  
8.2 吸收型截止滤光片 197 /PQg>Pa85  
8.3 干涉型截止滤光片 198 91mXvQ:u  
8.3.1 1/4波长周期膜系的透射特性 198 V4/P  
8.3.2 周期对称膜系的光学等效导纳和等效相位 199 7$,["cJX  
8.3.3 [(0.5H)L(0.5H)]和[ (0.5L) H(0.5L)]类型对称膜系的光学等效导纳和等效相位 201 DtXXfp@;  
8.3.4 [(0.5H)L(0.5H)Jm 和[(0.5L) H(0.5L)]m类型周期对称膜系的透射率 203 w v9s{I{P  
8.3.5 透射带内波纹的压缩 208 h7[V
XE  
8.3.6 截止带的展宽 210 1K09iB  
8.3.7 透射带的展宽和压缩 212 2"yzrwZ:  
8.4 金属介质膜截止滤光片 218 7ABHgw~?8r  
8.5 热反射镜、冷反射镜和太阳能电池覆盖膜 218 }1z= C<  
习题 221 s2b!Nib  
参考文献 221 *z` {$hc  
第9章 带阻滤光片 223 :}UWy?F  
9.1 带阻滤光片的特性描述 223 5(u7b  
9.2 周期对称膜系构成的带阻滤光片 223 QbxjfW"/+  
9.2.1 单个周期对称膜层的等效导纳和等效相位 224 ;9=9D{-4+  
9.2.2 多层膜透射率的不变特性 224  ItC*[  
9.2.3 周期对称多层膜通带内波纹的压缩 227 P,CJy|[L  
9.2.4 四种介质周期对称膜系构成的带阻滤光片 230 4kxy7]W  
9.3 非周期对称多层膜构成的带阻滤光片 231 f ,K1a9.  
9.4 正弦周期折射率带阻滤光片 232 Q%o  
9.4.1 正弦周期折射率带阻滤光片的基本构成特点 233 IC92lPM }  
9.4.2 正弦周期折射率带阻滤光片设计的傅里叶变换方法 234 tojJQ6;J  
习题 241 (<itE3P  
参考文献 241 7s<v06Wo  
第10章 分光镜 243 hk}M'  
10.1 中性分光镜 243 f.V0uBDN  
10.1.1 金属膜中性分光 244 jR}h3!  
10.1.2 介质膜中性分光 245 (.<Gde#  
10.1.3 金属介质膜中性分光 247 fG0rUi(8  
10.2 双色分光镜 249 -58r*[=8  
10.3 偏振分光 254 u;h9Ra1  
10.3.1 偏振特性的描述 254 ,#gA(B#  
10.3.2 平板偏振分光镜 255 [~f%z(vI  
10.3.3 棱镜偏振分光 258 ZKAIG=l&!  
10.3.4 宽角宽带偏振分光 259 \>23_
d0  
10.4 消偏振分光 262 x>&1;g2r  
10.4.1 偏振分离的描述 263 tG^Oj:  
10.4.2 介质膜消偏振分光设计实例 267 a!Z,~ V8  
10.4.3 金属一介质膜消偏振分光设计实例 271 $T1 D ?X  
10.4.4 其他消偏振分光设计方法 273 7:mM`0g!  
10.5 分光中的消色差问题 280 04WKAP'c N  
习题 281 PX\}lTJ  
参考文献 282 csH1X/3ha\  
第二篇 薄膜扶术基础 2ZNTg@o  
第11章 薄膜制备技术 283 Ga N4In[d  
11.1 真空技术简介 283 .F'Fk=N  
11.1.1 真空的基本知识 283 n KDX=73  
11.1.2 真空的获得 284 ,5t.0XqS  
11.1.3 真空的测量 286 1,,o_e\nn3  
11.2 薄膜制备方法物理气相沉积 289 9);a0}*5  
11.2.1 蒸镀法 289 #u|;YC  
11.2.2 溅射法 300 (+CB)nV0IA  
11.3 薄膜制备方法化学气相沉积 306 ra_`NsKF}  
11.3.1 化学气相沉积的原理 307 ]Ny.  gu  
11.3.2 常压化学气相沉积 308 "%qGcC
8  
11.3.3 低压化学气相沉积 308 CuT[V?^iD  
11.3.4 等离子体增强化学气相沉积 309 Uu }ai."iB  
11.3.5 光化学气相沉积 310 S>*i^If  
11.3.6 金属有机化学气相沉积 311 jW?.>(  
11.3.7 原子层沉积 312 .~ZNlI {K  
11.4 薄膜制备方法一一液相沉积 313 AM'-(x|  
11.4.1 化学镀 313 k+JDbJ@  
11.4.2 阳极氧化法 314 !Lk|eGd*  
11.4.3 溶胶一凝胶法 314 p`33`25  
11.4.4 电镀 315 +)L 'qbCSM  
11.4.5 LB 膜制备技术 315 y5|`B(  
11.5 光刻蚀 316 W O|2x0K  
11.5.1 光刻工艺 316 ]/bf#&@g`k  
11.5.2 光刻胶 317 y?CEV-3+  
11.5.3 掩模 318 c<pr1g  
11.5.4 曝光 318 *oZBv4Vh   
11.5.5 刻蚀方法 318 o
xHS7b  
11.5.6 无掩模刻蚀 321 :HMnU37m W  
11.5.7 刻蚀图形及折射率 323 =WFMqBh<`  
习题 323 wKXKc\r  
参考文献 324 ran Q_\  
第12章 光学薄膜检测技术 326
RUYwDtC  
12.1 光谱分析技术基础 326 f{^C+t{r  
12.1.1 光度计和光谱仪的基本构成 326 ?J%$;"q  
12.1.2 紫外一可见光分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪 330 z)]_(zZ^  
12.2 薄膜透射率和反射率测量 333 i7mT<w>?  
12.2.1 透射率测量 333 Vyu0OiGcR  
12.2.2 反射率测量 334 $@}6P,mg  
12.3 薄膜吸收和散射测量 338 + [|2k(U  
12.3.1 吸收测量 338 Y.[
^3  
12.3.2 散射测量 342 x)THeH@  
12.3.3 薄膜表面轮廓及粗糙度测量 344 My,ki:V?g6  
12.4 光学薄膜常数测量 347 d_1w 9FA  
12.4.1 光度法 348 1;]cYIq  
12.4.2 全反射衰减法 354 WnvuB.(@3  
12.4.3 椭圆偏振法 357 {-7];e  
12.5 光学薄膜激光损伤阔值检测 358 /".+OpL  
12.5.1 光学薄膜激光损伤机理 359 v?
-pAA)ht  
12.5.2 影响光学薄膜激光损伤阔值的因素 360 &>*fJ  
12.5.3 激光损伤阂值测量方法 362 QVb@/  
12.5.4 提高光学薄膜损伤阂值的途径 366 @Zjy"u  
12.6 薄膜微结构和化学成分检测 368 ~Pv4X2MO  
12.6.1 薄膜微结构 368 O}Fp\"  
12.6.2 薄膜微结构检测 371 kNd[M =%  
12.6.3 雕塑薄膜 372 ,Hch->?Og  
12.6.4 薄膜化学成分检测 373 F?T3fINR  
12.7 薄膜非光学特性测量 375 st+X~;PX*  
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shancjb:有没有电子版呀可以下载? (2020-06-28 22:24)  s4@AK48  

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