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薄膜光学与薄膜技术基础》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。《薄膜光学与薄膜技术基础》共分三篇13章:第一篇分为4章,讲述薄膜光学基本理论,内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算;第二篇分为6章,分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用;第三篇分为3章,比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术,以及一些金属薄膜、
半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展,《薄膜光学与薄膜技术基础》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。
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*RF) _jnH!Mw eb+[=nmP 目录
L{\B9b2 第一篇 薄膜元学基本理抢
eqjl$QWPJS 第1章 薄膜光学的电磁理论基础 1
&4BN9`|: 1.1 麦克斯韦方程 1
m3,]j\ 1.2 平面电磁波 6
r[~Km5 1.2.1 复矢量波动方程一一齐次矢量亥姆霍兹方程 6
=_v_#;h& 1.2.2 理想介质中的平面波解 7
uWMAXGL 1.2.3 吸收介质中的平面波解 8
Zkxt>%20~ 1.3 平均电磁能流密度光强 9
0!!pNK%( 1.4 电磁波谱、
光谱 10
iyj&O" 习题 12
.s,hl(w, 参考文献 12
w3yI;P 第2章 平面光波在两介质分界平面上的反射与透射 14
<4(rY9 2.1 各向同性理想介质界面的反射与透射 14
bh_i*DJ] 2.1.1 S波反射与透射 14
oYqlN6n,=6 2.1.2 P波反射与透射 16
j7uiZU;3Rx 2.2 各向同性吸收介质界面的反射与透射 18
v( (fRX.` 2.2.1 S 波反射与透射 18
rY($+O@a< 2.2.2 P 波反射与透射 20
?b2%\p`" 2.3 非均匀介质界面的反射与透射 21
m:
w/[|_ 2.3.1 几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播 21
8tPq5i 2.3.2 任意非均匀介质界面的反射系数方程 24
}vcC4 =t/ 2.4 各向异性介质界面的反射与透射 30
=u73AM} 2.4.1 平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式 31
uZW1
:cx 2.4.2 平面对称各向异性介质界面的反射与透射 31
FtE%<QHt 2.5 反射系数和透射系数随入射角的变化 36
J^1w& 40 2.5.1 全反射与倏逝波 36
{) jQbAr(G 2.5.2 全透射 37
G~^Pkl3%T 2.5.3 反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化 38
mJWl#3 2.6 反射率和透射率 39
^$yr-p%- 2.6.1 理想介质分界面的反射率和透射率 40
\!s0VEE 2.6.2 吸收介质分界面的反射率和透射率 41
t5e% "}>7H 2.6.3 空气与金属导体表面的反射率 43
J}<k`af 习题 44
9-)oA+$ 参考文献 44
tS`fG; 第3章 平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射 45
gxL5%:@ 3.1 法向阻扰和光学有效导纳的概念 45
V^.~m;ETu] 3.2 平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射 47
9I9J}&4 3.3 平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射 53
knF *~O :y 3.3.1 平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法 53
9<-AukK m 3.3.2 多层增透膜和高反射膜的基本构成特点 55
,R*ru* 3.4 非均匀介质膜层的特征短阵 61
ZYkeW 3.4.1 一阶近似 62
30[?XVI& 3.4.2 二阶近似 63
>*Y~I0> 3.5 各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法 64
Dth<hS,2J 3.5.1 各向异性介质中的矩阵波动方程 64
RI cA)I. 3.5.2 各向异性介质薄膜的矩阵波动方程 66
ae#7*B 3.5.3 均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解 70
`@=}5 9+| 3.5.4 单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵 72
[ nYwJ 3.5.5 非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解 74
?u 9)
GJO[ 3.5.6 单层各向异性介质薄膜的反射与透射 75
m.S@ e8kS 习题 79
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