《薄膜光学与薄膜技术基础》

发布:cyqdesign 2020-06-01 23:03 阅读:6847
薄膜光学与薄膜技术基础》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。《薄膜光学与薄膜技术基础》共分三篇13章:第一篇分为4章,讲述薄膜光学基本理论,内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算;第二篇分为6章,分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用;第三篇分为3章,比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术,以及一些金属薄膜、半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展,《薄膜光学与薄膜技术基础》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。 NTK9`#SA  
)3|a_   
f*xv#G  
目录 w4Hq|N1-Y  
第一篇 薄膜元学基本理抢 &+hk5?c /  
第1章 薄膜光学的电磁理论基础 1 L|b[6[XTHL  
1.1 麦克斯韦方程 1 hhU\$'0B-  
1.2 平面电磁波 6 !"hzGgOOX  
1.2.1 复矢量波动方程一一齐次矢量亥姆霍兹方程 6 yP` K [/  
1.2.2 理想介质中的平面波解 7 f4 +P2j  
1.2.3 吸收介质中的平面波解 8 q JtLJ<=1  
1.3 平均电磁能流密度光强 9 `|92!Ej  
1.4 电磁波谱、光谱 10 Fwvc+ a  
习题 12 ZifDU@J$t  
参考文献 12 $Dv5TUKw  
第2章 平面光波在两介质分界平面上的反射与透射 14 f }.t  
2.1 各向同性理想介质界面的反射与透射 14 heWQPM|s  
2.1.1 S波反射与透射 14 &VCg`r-{~  
2.1.2 P波反射与透射 16 d mTZEO  
2.2 各向同性吸收介质界面的反射与透射 18 ?-0, x|ul  
2.2.1 S 波反射与透射 18 96; gzG@1!  
2.2.2 P 波反射与透射 20 Cd6th F)  
2.3 非均匀介质界面的反射与透射 21 @S5HMJ2=  
2.3.1 几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播 21 #l9sQ-1Q  
2.3.2 任意非均匀介质界面的反射系数方程 24  Bw+ ?MdS  
2.4 各向异性介质界面的反射与透射 30  -V"W  
2.4.1 平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式 31 Zrgv*  
2.4.2 平面对称各向异性介质界面的反射与透射 31 BT3yrq9  
2.5 反射系数和透射系数随入射角的变化 36 q^ &r<i  
2.5.1 全反射与倏逝波 36 U ){4W0  
2.5.2 全透射 37 [P}mDX  
2.5.3 反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化 38 DV>;sCMJ %  
2.6 反射率和透射率 39 H_| re  
2.6.1 理想介质分界面的反射率和透射率 40 dd +lQJ c  
2.6.2 吸收介质分界面的反射率和透射率 41 VH+3o?nrT  
2.6.3 空气与金属导体表面的反射率 43 b53s@7/mq  
习题 44 xDS]k]/(T  
参考文献 44 AG;KXL[V  
第3章 平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射 45 G-:7,9  
3.1 法向阻扰和光学有效导纳的概念 45 i]@k'2N  
3.2 平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射 47 cc1M9kVi  
3.3 平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射 53 P{J9#.Zq&s  
3.3.1 平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法 53 1#fR=*ZM"  
3.3.2 多层增透膜和高反射膜的基本构成特点 55 FGm!|iI  
3.4 非均匀介质膜层的特征短阵 61 =@hCc  
3.4.1 一阶近似 62 O69TU[Vn  
3.4.2 二阶近似 63 }!|$;3t+c  
3.5 各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法 64 :v$)Z~  
3.5.1 各向异性介质中的矩阵波动方程 64 tehWGqx)  
3.5.2 各向异性介质薄膜的矩阵波动方程 66 XW^Pz (  
3.5.3 均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解 70 t56PzT'M  
3.5.4 单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵 72 VP~%,=  
3.5.5 非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解 74 O@dK^o  
3.5.6 单层各向异性介质薄膜的反射与透射 75 }5 $le]  
习题 79 /t2H%#v{  
参考文献 79 eIf-7S]m  
第4章 膜系设计图示法 81 ' eWG v  
4.1 矢量法 81 *%atE  
4.2 导纳图解法 87 SD@ 0X[  
4.2.1 单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图 87 &h7 n>q  
4.2.2 单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图 89 q& KNK  
4.2.3 多层膜系等折射率导纳圆图 92 S&'s/jB  
4.3 金属膜导纳圆图 97 m0^~VK|  
4.4 膜系层间电场分布 99 #~qza ETv,  
习题 100 I1K%n'D  
参考文献 101 )!G 10  
第二篇 光学等膜分类反应用 WOeLn[  
第5章 增透膜 102 J'WOqAnPZ  
5.1 表面反射对光学系统性能的影响 102 :w4N*lV-  
5.2 基底介质非相干叠加的透射率 104 J^PFhu  
5.3 透射滤光片组合透射率 106 p`52  
5.4 均匀介质增透膜 107 CEzdH!nP  
5.4.1 单层均匀介质增透膜 107 [;:ocy  
5.4.2 多层均匀介质增透膜 108 r5$!41   
5.5 非均匀介质增透膜 113 ['iEw!  
5.6 入射角变化对透射率的影响 115 ^![7X'!;pt  
5.7 增透膜应用实例液晶显示增透膜 117 N6A|  
习题 118 E2`9H-6e  
参考文献 118 t47;X}y f  
第6章 高反射膜 120 R 4DfqX  
6.1 反射镜组合的反射率 120 A\E ))b9+  
6.2 周期多层膜系的反射率 121 ;Cty"H,  
6.2.1 周期多层膜系的特征矩阵 121 t9lf=+%s  
6.2.2 周期多层膜系的反射率和透射率 122 ]j$(so"  
6.3 [HL]m类型的周期多层膜 123 q,;wD1_wG  
6.4 (0.5L) H(0.5L)m类型的对称周期多层膜 126 wCj)@3F  
6.5 周期多层膜构成的宽带高反射膜 128 A ;|P\V  
6.6 中远红外区域的多层高反射膜 129 9gIim   
6.7 软X 射线区域的多层高反射膜 131 /h]ru SI  
6.8 金属反射镜 134 *Z2Ko5&Y2  
6.8.1 常用金属反射镜 134 DC_k0VBn  
6.8.2 金属一介质反射镜 136 REsw=P!b  
6.9 影响反射特性的因素 137 ]Qp-$)N  
6.10 高反射镜应用实例 143 ~9;udBfwF  
6.10.1 激光高反射镜 143 qIh9? |`U  
6.10.2 光刻机系统193nm 高反射膜 144 <w?k<%( 4  
6.10.3 DLP/LCoS 技影薄膜宽角度高反射镜 145 "zqa:D26  
习题 146 3+iryW(\  
参考文献 146 *Aug7 HlS  
第7章 带通滤光片 149 X_,R!$wbg:  
7.1 带通滤光片的特性描述 149 L EFLKC  
7.2 带通滤光片的基本构型一一法布里一咱罗干涉仪及其变形 150 >S{8sN  
7.3 法布里一咱罗干涉仪透射率计算 151 W}%[i+  
7.3.1 单层薄膜反射与透射计算的有效界面法 151 $}us+hGZ  
7.3.2 膜系透射定理 153 5EECr \*  
7.3.3 法布里一躏罗干涉仪的透射率计算 155 r;wm`(e  
7.3.4 法布里础罗干涉仪透射特性分析 156 'S&Zq:  
7.3.5 特殊带通滤光片信噪比的计算 164 \uJ+~db=  
7.4 窄带和中等带宽滤光片 164 # |OA>[  
7.4.1 法布里踊罗干涉滤光片 164 2{oQ  
7.4.2 窄带平顶多腔带通滤光片 172 <R%TCVwC@  
7.4.3 诱导带通滤光片 174 S&J5QZjC  
7.5 超窄带带通滤光片 183 IQ xi@7%&  
7.6 宽带带通滤光片 185 E7/i_Xkk  
7.7 带通滤光片的角特性 186 H"?Ndl:  
7.8 极远紫外及软X 射线区域带通滤光片 190 tv: mjS  
7.9 多通道窄带带通滤光片 192 rcH{"\F_/  
习题 193 $Ny:At  
参考文献 193 'tX}6wurf  
第8章 截止滤光片 196 g+?2@L$L  
8.1 截止滤光片的特性描述 196 0 c,!<\B  
8.2 吸收型截止滤光片 197 4<f^/!9w  
8.3 干涉型截止滤光片 198 aH_FBY  
8.3.1 1/4波长周期膜系的透射特性 198 ;r.#|b  
8.3.2 周期对称膜系的光学等效导纳和等效相位 199 =gZA9@]W2  
8.3.3 [(0.5H)L(0.5H)]和[ (0.5L) H(0.5L)]类型对称膜系的光学等效导纳和等效相位 201 la^K|!|  
8.3.4 [(0.5H)L(0.5H)Jm 和[(0.5L) H(0.5L)]m类型周期对称膜系的透射率 203 jQBn\^w  
8.3.5 透射带内波纹的压缩 208 6k {gI.SG  
8.3.6 截止带的展宽 210 u?'J1\z  
8.3.7 透射带的展宽和压缩 212 by,3A  
8.4 金属介质膜截止滤光片 218 e ]{=#  
8.5 热反射镜、冷反射镜和太阳能电池覆盖膜 218 =&DuQvN,  
习题 221 5%@~"YCo  
参考文献 221 ,VzbKx,  
第9章 带阻滤光片 223 >?ec"P%vS/  
9.1 带阻滤光片的特性描述 223 ]AN%#1++U  
9.2 周期对称膜系构成的带阻滤光片 223 5Ux=5a  
9.2.1 单个周期对称膜层的等效导纳和等效相位 224 S?c<Lf~W  
9.2.2 多层膜透射率的不变特性 224 (''w$qq"D  
9.2.3 周期对称多层膜通带内波纹的压缩 227 152LdZevF  
9.2.4 四种介质周期对称膜系构成的带阻滤光片 230 O&VA79\UO  
9.3 非周期对称多层膜构成的带阻滤光片 231 !lM.1gTTC  
9.4 正弦周期折射率带阻滤光片 232 "}oo`+]Cq  
9.4.1 正弦周期折射率带阻滤光片的基本构成特点 233 @,LU!#y(  
9.4.2 正弦周期折射率带阻滤光片设计的傅里叶变换方法 234 9eR";Wm])  
习题 241 >Qg-dJt[  
参考文献 241 -av=5hm  
第10章 分光镜 243 >T{TE"XyO|  
10.1 中性分光镜 243 O2U}jHsd  
10.1.1 金属膜中性分光 244 ~Qf\DTM&  
10.1.2 介质膜中性分光 245 d vo|9 >  
10.1.3 金属介质膜中性分光 247 lc]cs D  
10.2 双色分光镜 249 S5YEz XG  
10.3 偏振分光 254 ,v?FR }v  
10.3.1 偏振特性的描述 254 ;*=7>"o'`  
10.3.2 平板偏振分光镜 255 t5P8?q\  
10.3.3 棱镜偏振分光 258 b7gN|Hw5 H  
10.3.4 宽角宽带偏振分光 259 DUg[L  
10.4 消偏振分光 262 j*d+WZm8-g  
10.4.1 偏振分离的描述 263 $-s8tc(  
10.4.2 介质膜消偏振分光设计实例 267 0vMKyT3 c  
10.4.3 金属一介质膜消偏振分光设计实例 271 +&E\w,Vq^  
10.4.4 其他消偏振分光设计方法 273 i 8%@4U/ J  
10.5 分光中的消色差问题 280 GXRW"4eF5  
习题 281 z<J2e^j  
参考文献 282 $)KNpdXh  
第二篇 薄膜扶术基础 uWP0(6 %  
第11章 薄膜制备技术 283 qt4%=E;[  
11.1 真空技术简介 283 yf4 i!~  
11.1.1 真空的基本知识 283 /Kd'!lMuz  
11.1.2 真空的获得 284 46B'Ec  
11.1.3 真空的测量 286 gtqtFrleG  
11.2 薄膜制备方法物理气相沉积 289 *&V"x=ba,  
11.2.1 蒸镀法 289 KUU ZN  
11.2.2 溅射法 300 0r?]b*IEK  
11.3 薄膜制备方法化学气相沉积 306 *nv ^s  
11.3.1 化学气相沉积的原理 307 p1T0FBV L  
11.3.2 常压化学气相沉积 308 2+*o^`%4P  
11.3.3 低压化学气相沉积 308 vN~joQ=d  
11.3.4 等离子体增强化学气相沉积 309 j9-.bGtm?.  
11.3.5 光化学气相沉积 310 u<+"#.[2v~  
11.3.6 金属有机化学气相沉积 311 4ti,R'  
11.3.7 原子层沉积 312 7;Vmbt9  
11.4 薄膜制备方法一一液相沉积 313 *r7%'K{ C  
11.4.1 化学镀 313 ?JW/Stua  
11.4.2 阳极氧化法 314 =?N$0F!  
11.4.3 溶胶一凝胶法 314 %_~1(Glz  
11.4.4 电镀 315 Ht@5@(W]I  
11.4.5 LB 膜制备技术 315 \6pQ&an  
11.5 光刻蚀 316 R0G!5>1i  
11.5.1 光刻工艺 316 }1Q> A 5e  
11.5.2 光刻胶 317 ofsLx6Po  
11.5.3 掩模 318 sLSH`Xy?5  
11.5.4 曝光 318 j(M.7Z7^  
11.5.5 刻蚀方法 318 /J(~NGT  
11.5.6 无掩模刻蚀 321 :'[ha$  
11.5.7 刻蚀图形及折射率 323 $+,kibk*R  
习题 323 i@ 86Ez  
参考文献 324 n]>L"D,  
第12章 光学薄膜检测技术 326 ( efxw  
12.1 光谱分析技术基础 326 k,ezB+  
12.1.1 光度计和光谱仪的基本构成 326 m\_v{1g  
12.1.2 紫外一可见光分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪 330 p<y \ ^a  
12.2 薄膜透射率和反射率测量 333 Qtt3;5m  
12.2.1 透射率测量 333 <oSx'_dc  
12.2.2 反射率测量 334 pIKfTkSqH  
12.3 薄膜吸收和散射测量 338 Z2-"NB  
12.3.1 吸收测量 338 J~h9i=4<bF  
12.3.2 散射测量 342 PO|gM8E1x?  
12.3.3 薄膜表面轮廓及粗糙度测量 344 \3hFb,/4k  
12.4 光学薄膜常数测量 347  xS="o  
12.4.1 光度法 348 r?pN-x$M=  
12.4.2 全反射衰减法 354 _,f7D/dq  
12.4.3 椭圆偏振法 357 nB}eJD|  
12.5 光学薄膜激光损伤阔值检测 358 b=SCyGxlZ5  
12.5.1 光学薄膜激光损伤机理 359 ~K ('t9|  
12.5.2 影响光学薄膜激光损伤阔值的因素 360 N{6-a  
12.5.3 激光损伤阂值测量方法 362 Hr \vu`p$  
12.5.4 提高光学薄膜损伤阂值的途径 366 m;qqjzy  
12.6 薄膜微结构和化学成分检测 368 $2a_!/  
12.6.1 薄膜微结构 368 n1b^o~agwC  
12.6.2 薄膜微结构检测 371 cs[nFfM  
12.6.3 雕塑薄膜 372 `H9 !Z$7G  
12.6.4 薄膜化学成分检测 373 3ik~PgGoKQ  
12.7 薄膜非光学特性测量 375 R_vK^Da  
v9Lf|FXo&  
分享到:

最新评论

cyqdesign 2020-06-28 22:28
shancjb:有没有电子版呀可以下载? (2020-06-28 22:24)  ^xr & E  
M1*x47bN  
暂时没有,有兴趣的话,可以买一本实体书,便于学习。
苍氓一 2021-04-20 13:18
学习学习
华丽的转身 2021-09-15 09:19
受教了
春风依旧 2021-10-11 11:50
还不错,后续可能考虑买本
1250288535 2021-10-11 14:54
还不错,后续可能考虑买本
1250288535 2021-10-11 14:54
还不错
七七0 2021-11-08 11:06
学习一下,谢谢 +]e) :J  
18961721564 2022-04-26 21:46
我有一本,购买的二手
viavi1109 2022-08-09 13:24
看看看 {O4&HW%  
轩zjw哥 2022-09-29 22:07
学习学习
12
我要发表 我要评论
限 50000 字节
关于我们
网站介绍
免责声明
加入我们
赞助我们
服务项目
稿件投递
广告投放
人才招聘
团购天下
帮助中心
新手入门
发帖回帖
充值VIP
其它功能
站内工具
清除Cookies
无图版
手机浏览
网站统计
交流方式
联系邮箱:广告合作 站务处理
微信公众号:opticsky 微信号:cyqdesign
新浪微博:光行天下OPTICSKY
QQ号:9652202
主办方:成都光行天下科技有限公司
Copyright © 2005-2025 光行天下 蜀ICP备06003254号-1