《薄膜光学与薄膜技术基础》

发布:cyqdesign 2020-06-01 23:03 阅读:6103
薄膜光学与薄膜技术基础》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。《薄膜光学与薄膜技术基础》共分三篇13章:第一篇分为4章,讲述薄膜光学基本理论,内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算;第二篇分为6章,分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用;第三篇分为3章,比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术,以及一些金属薄膜、半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展,《薄膜光学与薄膜技术基础》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。 79.J`}#  
_ F0qq j  
x.>E7 +  
目录 WZ.d"EE"  
第一篇 薄膜元学基本理抢 6k#H>zY,  
第1章 薄膜光学的电磁理论基础 1 $}[Tj0+:  
1.1 麦克斯韦方程 1 ~cE;k@  
1.2 平面电磁波 6 + n1jP<[<N  
1.2.1 复矢量波动方程一一齐次矢量亥姆霍兹方程 6 xP@VK!sc  
1.2.2 理想介质中的平面波解 7 *%0f^~!G<p  
1.2.3 吸收介质中的平面波解 8 xx}R6VKU.  
1.3 平均电磁能流密度光强 9 o?G^=0T  
1.4 电磁波谱、光谱 10 dhW;|  
习题 12 ] o!#]]   
参考文献 12 wu*WA;FnA  
第2章 平面光波在两介质分界平面上的反射与透射 14 3t(8uG<rL  
2.1 各向同性理想介质界面的反射与透射 14 X,- ' v[z  
2.1.1 S波反射与透射 14 dEXHd@"H  
2.1.2 P波反射与透射 16 cz_4cMgxu  
2.2 各向同性吸收介质界面的反射与透射 18 -Q@jL{Ue  
2.2.1 S 波反射与透射 18 vP G!S{4  
2.2.2 P 波反射与透射 20 Y^dVNC3vd  
2.3 非均匀介质界面的反射与透射 21 rT`D@ I  
2.3.1 几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播 21 y$)gj4k/D  
2.3.2 任意非均匀介质界面的反射系数方程 24 uo1G   
2.4 各向异性介质界面的反射与透射 30 ':,6s  
2.4.1 平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式 31 {GF>HHQb  
2.4.2 平面对称各向异性介质界面的反射与透射 31 2|k*rv}l  
2.5 反射系数和透射系数随入射角的变化 36 c$f|a$$b   
2.5.1 全反射与倏逝波 36 "X']_:F1a  
2.5.2 全透射 37 UQ|zSalv,  
2.5.3 反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化 38 ;WIL?[;w  
2.6 反射率和透射率 39 ~qNpPIrGr  
2.6.1 理想介质分界面的反射率和透射率 40 -X@;"0v  
2.6.2 吸收介质分界面的反射率和透射率 41 QN(f8t(  
2.6.3 空气与金属导体表面的反射率 43 TJtW?c7  
习题 44 {d$S~  
参考文献 44 da@y*TO#i  
第3章 平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射 45 1A23G$D  
3.1 法向阻扰和光学有效导纳的概念 45 (.,E6H|zI  
3.2 平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射 47 \Rn.ug  
3.3 平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射 53 PF.sM(  
3.3.1 平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法 53 XA])<dZ  
3.3.2 多层增透膜和高反射膜的基本构成特点 55 f}4c#x  
3.4 非均匀介质膜层的特征短阵 61 )!dELS \ix  
3.4.1 一阶近似 62 8Gb=aF1  
3.4.2 二阶近似 63 0:G@a&Lr  
3.5 各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法 64 98C~%+  
3.5.1 各向异性介质中的矩阵波动方程 64 , IUMH]D  
3.5.2 各向异性介质薄膜的矩阵波动方程 66 3w )S=4lB  
3.5.3 均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解 70 cFLu+4.jsG  
3.5.4 单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵 72 Pi?*rr5WZ  
3.5.5 非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解 74 y_"GMw  
3.5.6 单层各向异性介质薄膜的反射与透射 75 6,G^iv6H  
习题 79 7>{edNy!,  
参考文献 79 OxF\Hm)(  
第4章 膜系设计图示法 81 )ymF: ]QC  
4.1 矢量法 81 eEsEW<su  
4.2 导纳图解法 87 lGB7(  
4.2.1 单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图 87 ;lGa.RD[a  
4.2.2 单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图 89 p!'wOThO`  
4.2.3 多层膜系等折射率导纳圆图 92 se_zCS4Y  
4.3 金属膜导纳圆图 97 +bm2vIh$  
4.4 膜系层间电场分布 99 y<F$@  
习题 100 :&)RK~1m_  
参考文献 101 7\ff=L-b  
第二篇 光学等膜分类反应用 5d}PrYa  
第5章 增透膜 102 ?vRz}hiy  
5.1 表面反射对光学系统性能的影响 102 dab>@z4  
5.2 基底介质非相干叠加的透射率 104 3:Co K#  
5.3 透射滤光片组合透射率 106 w]yLdfi!  
5.4 均匀介质增透膜 107 |ry;'[*  
5.4.1 单层均匀介质增透膜 107 Cw{#(xX  
5.4.2 多层均匀介质增透膜 108 jo<sN  
5.5 非均匀介质增透膜 113 s*k"-5  
5.6 入射角变化对透射率的影响 115 >K\ 79<x|  
5.7 增透膜应用实例液晶显示增透膜 117 k5-mK{RZ  
习题 118 8KWT d  
参考文献 118 ]^ O<WD  
第6章 高反射膜 120 rvE!Q=y~  
6.1 反射镜组合的反射率 120 M/V >25`  
6.2 周期多层膜系的反射率 121 [9?= &O#*  
6.2.1 周期多层膜系的特征矩阵 121 L&3=5Bf9  
6.2.2 周期多层膜系的反射率和透射率 122 \f66ipZK*  
6.3 [HL]m类型的周期多层膜 123 bf;IJ|v^  
6.4 (0.5L) H(0.5L)m类型的对称周期多层膜 126 =As'vt 0  
6.5 周期多层膜构成的宽带高反射膜 128 SgXXitg9+  
6.6 中远红外区域的多层高反射膜 129 zm8m J2s  
6.7 软X 射线区域的多层高反射膜 131 z5'VsK:  
6.8 金属反射镜 134 xC;$/u%'  
6.8.1 常用金属反射镜 134 TaolX*$5  
6.8.2 金属一介质反射镜 136 )%j)*Ymz;  
6.9 影响反射特性的因素 137 i0AC.]4e"  
6.10 高反射镜应用实例 143 ^|sxbP  
6.10.1 激光高反射镜 143 dN*<dz+4r  
6.10.2 光刻机系统193nm 高反射膜 144 q }z,C{Wq<  
6.10.3 DLP/LCoS 技影薄膜宽角度高反射镜 145 B8s|VI  
习题 146 bkOm/8k|4  
参考文献 146 3b&W=1J  
第7章 带通滤光片 149 %Vt@7SwRJ  
7.1 带通滤光片的特性描述 149 G~esSL^G/  
7.2 带通滤光片的基本构型一一法布里一咱罗干涉仪及其变形 150 coLn};W2  
7.3 法布里一咱罗干涉仪透射率计算 151 Gj)Qw 6  
7.3.1 单层薄膜反射与透射计算的有效界面法 151 *Mp<4B  
7.3.2 膜系透射定理 153 JAiV7v4&R  
7.3.3 法布里一躏罗干涉仪的透射率计算 155 |x5 w;=  
7.3.4 法布里础罗干涉仪透射特性分析 156 ]ipVN  
7.3.5 特殊带通滤光片信噪比的计算 164 )d.7xY7!  
7.4 窄带和中等带宽滤光片 164 Cn`% *w  
7.4.1 法布里踊罗干涉滤光片 164 |d`?wm-  
7.4.2 窄带平顶多腔带通滤光片 172 ' xi..  
7.4.3 诱导带通滤光片 174 oNCDG|8z  
7.5 超窄带带通滤光片 183 shn-Es*  
7.6 宽带带通滤光片 185 t!iF(R\  
7.7 带通滤光片的角特性 186 }bnkTC  
7.8 极远紫外及软X 射线区域带通滤光片 190 b5)>h  
7.9 多通道窄带带通滤光片 192 / 9;Pbxn  
习题 193 50R+D0^mh  
参考文献 193 EEo+#  
第8章 截止滤光片 196 x< 3vA|o  
8.1 截止滤光片的特性描述 196 l|up3A3)  
8.2 吸收型截止滤光片 197 h=U 4  
8.3 干涉型截止滤光片 198 (CV=0{]  
8.3.1 1/4波长周期膜系的透射特性 198 #xo&#FIH  
8.3.2 周期对称膜系的光学等效导纳和等效相位 199 =& lYv  
8.3.3 [(0.5H)L(0.5H)]和[ (0.5L) H(0.5L)]类型对称膜系的光学等效导纳和等效相位 201 ./g#<  
8.3.4 [(0.5H)L(0.5H)Jm 和[(0.5L) H(0.5L)]m类型周期对称膜系的透射率 203 L%8"d6  
8.3.5 透射带内波纹的压缩 208 w`v\/a_  
8.3.6 截止带的展宽 210 - 'VT  
8.3.7 透射带的展宽和压缩 212 !*ucVv;  
8.4 金属介质膜截止滤光片 218 =N0cz%  
8.5 热反射镜、冷反射镜和太阳能电池覆盖膜 218 , XR8qi~  
习题 221 K*}j1A  
参考文献 221 vVf!XZF  
第9章 带阻滤光片 223 V9bLm,DtT  
9.1 带阻滤光片的特性描述 223 ^R$dG[Qf  
9.2 周期对称膜系构成的带阻滤光片 223 enr mjA&3  
9.2.1 单个周期对称膜层的等效导纳和等效相位 224 .R"L$V$RU.  
9.2.2 多层膜透射率的不变特性 224 $.cGRz  
9.2.3 周期对称多层膜通带内波纹的压缩 227 3gh^a;uC  
9.2.4 四种介质周期对称膜系构成的带阻滤光片 230 ^KF'/9S  
9.3 非周期对称多层膜构成的带阻滤光片 231 {p\KB!Y-  
9.4 正弦周期折射率带阻滤光片 232 t8+93,*B  
9.4.1 正弦周期折射率带阻滤光片的基本构成特点 233 UmuFzw^  
9.4.2 正弦周期折射率带阻滤光片设计的傅里叶变换方法 234 ,5?MRqCM  
习题 241 `j$d(+Gv  
参考文献 241 .WPqK >79|  
第10章 分光镜 243 sg2C_]i,H  
10.1 中性分光镜 243 iTvCkb48m  
10.1.1 金属膜中性分光 244 \* #4  
10.1.2 介质膜中性分光 245 =>J#_Pprn  
10.1.3 金属介质膜中性分光 247 )5v .9N 6v  
10.2 双色分光镜 249 Qw-qcG  
10.3 偏振分光 254 s#fmGe"8  
10.3.1 偏振特性的描述 254 f$'D2o, O  
10.3.2 平板偏振分光镜 255 K7Vr$,p  
10.3.3 棱镜偏振分光 258 aKy|$ {RC  
10.3.4 宽角宽带偏振分光 259 T{M:)}V  
10.4 消偏振分光 262 /km3L7L%R  
10.4.1 偏振分离的描述 263  f#nmr5F  
10.4.2 介质膜消偏振分光设计实例 267 y_&XF>k91  
10.4.3 金属一介质膜消偏振分光设计实例 271 gD\}CxtG  
10.4.4 其他消偏振分光设计方法 273 (Vv]:Y]  
10.5 分光中的消色差问题 280 rY= #^S  
习题 281 J"MJVMo$T  
参考文献 282 @ $R a  
第二篇 薄膜扶术基础 `y#C%9#  
第11章 薄膜制备技术 283 qh 3f  
11.1 真空技术简介 283 !/zj7z !  
11.1.1 真空的基本知识 283 2Qj)@&zKe#  
11.1.2 真空的获得 284 ZB%~>  
11.1.3 真空的测量 286 g < o;\\  
11.2 薄膜制备方法物理气相沉积 289 ~] 2R+  
11.2.1 蒸镀法 289 ( -@>  
11.2.2 溅射法 300 M[{:o/]<  
11.3 薄膜制备方法化学气相沉积 306 J5T#}!f  
11.3.1 化学气相沉积的原理 307 aB)DX  
11.3.2 常压化学气相沉积 308 A{%;Hd`0/  
11.3.3 低压化学气相沉积 308 >>D i  
11.3.4 等离子体增强化学气相沉积 309 Fm':sd)'X  
11.3.5 光化学气相沉积 310 SI9hS4<j  
11.3.6 金属有机化学气相沉积 311 <k6xScy$}  
11.3.7 原子层沉积 312 bYc qscW  
11.4 薄膜制备方法一一液相沉积 313 Se`N5hQ  
11.4.1 化学镀 313 z-G (!]:  
11.4.2 阳极氧化法 314 R.T-Ptene  
11.4.3 溶胶一凝胶法 314 i#=X#_ +El  
11.4.4 电镀 315 =;=V4nKN  
11.4.5 LB 膜制备技术 315 sQs5z~#51*  
11.5 光刻蚀 316 ?g4|EV-56  
11.5.1 光刻工艺 316 I>#ChV)(#  
11.5.2 光刻胶 317 |Ze}bM=N  
11.5.3 掩模 318 BaAb4{  
11.5.4 曝光 318 1_C6KS  
11.5.5 刻蚀方法 318 j.}V~Sp*  
11.5.6 无掩模刻蚀 321 "r"An"  
11.5.7 刻蚀图形及折射率 323 $"{3i8$3mT  
习题 323 =[+&({  
参考文献 324 5qEdN  
第12章 光学薄膜检测技术 326 F4%[R)  
12.1 光谱分析技术基础 326 z]AS@}wWqg  
12.1.1 光度计和光谱仪的基本构成 326 ;hJ*u  
12.1.2 紫外一可见光分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪 330 J|24I4  
12.2 薄膜透射率和反射率测量 333 hp4(f W  
12.2.1 透射率测量 333 ie5ijkxZ(  
12.2.2 反射率测量 334 MA# !<b('  
12.3 薄膜吸收和散射测量 338 vP?S0>gh  
12.3.1 吸收测量 338 Y j\yO(o/  
12.3.2 散射测量 342 m4>o E|\  
12.3.3 薄膜表面轮廓及粗糙度测量 344 8]\h^k4f  
12.4 光学薄膜常数测量 347 nk 9 K\I  
12.4.1 光度法 348 )\Q|}JV  
12.4.2 全反射衰减法 354 O Zm[i H  
12.4.3 椭圆偏振法 357 K<JP9t6Qd  
12.5 光学薄膜激光损伤阔值检测 358 ss8v4@C  
12.5.1 光学薄膜激光损伤机理 359 i6 ?JX@I  
12.5.2 影响光学薄膜激光损伤阔值的因素 360 <h51KPo^P  
12.5.3 激光损伤阂值测量方法 362 M&c1iK\E8  
12.5.4 提高光学薄膜损伤阂值的途径 366 Aq'E:/  
12.6 薄膜微结构和化学成分检测 368 l:yAgm`  
12.6.1 薄膜微结构 368 ^3o8F  
12.6.2 薄膜微结构检测 371 m (:qZW  
12.6.3 雕塑薄膜 372 K0=E4>z,`q  
12.6.4 薄膜化学成分检测 373 <9tG_  
12.7 薄膜非光学特性测量 375 / i2-h  
F5[ITK]A4  
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最新评论

cyqdesign 2020-06-28 22:28
shancjb:有没有电子版呀可以下载? (2020-06-28 22:24)  Z*9]:dG:!  
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苍氓一 2021-04-20 13:18
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1250288535 2021-10-11 14:54
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18961721564 2022-04-26 21:46
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轩zjw哥 2022-09-29 22:07
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12
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