|
|
S6gg(nNe
1.Horos—光学粗糙度传感器。 i-) OY, 2.测量样本。 /t`s.!k 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 E(Tvj\9 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 4S>A}rWz N;e d_! 系统简介 o 5dPE{f
O,"4H ZG 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 ;^nN!KDjR W'x/Kg,w- 特征及技术参数 )%lPa|7s
iE$qq ~% - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 n>?o=_|uR - 灵敏度R_q<0.5 nm %EA|2O.D - 测量时间： < 1 s。 s86Ij>VLf - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 t<5 $85Y~ BwwOa O@L -ju&"L B 传感器： rf_(pp)
fQcJ yX Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 cl
kL)7RQ v0)I rO 应用： b6sj/V8
2TB>d+
可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： pEf1[ zq - 平面或复杂（自由形状）表面。 5[3vu p? - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 t'Zq>y;yg - 机械零件。 v7x %V%K - 汽车工业。 NO5\ |.,Z 1sgI,5liUs
^$-ID6 QQ:1824712522 9<BC6M_/
|
