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1.Horos—光学粗糙度传感器。 ope^~+c~\ 2.测量样本。 q#9RW(o 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 e8?jmN`2 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 H8}oIA"b )=_,O=z$K 系统简介 tW}'g:s
mGg+.PFsM 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 r0% D 58 '3 ^'B0 3 特征及技术参数 Ry6@VQ"NLb
T'D v.h - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 U 0P~ - 灵敏度R_q<0.5 nm B>P{A7Q - 测量时间： < 1 s。 pG;U2wE - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 Cr yBwm U26}gT) }a(dy r`S 传感器： ?) d~ c J
5 #E`=C% Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 ,/|T-Ka suDQ ~\ n 应用： di )L[<$DY
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可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： SSMHo JGm - 平面或复杂（自由形状）表面。 oE]QF.n# - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 oj+hQ+> - 机械零件。 T</F
0su| - 汽车工业。 p9{mS7R9T or}[h09qA
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