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1.Horos—光学粗糙度传感器。 23-t$y] 2.测量样本。 5_)@B]~nM 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 y?#9>S >:\ 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 S9p?* VD24 X 系统简介 \V^*44+
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n}A?jOSAe 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 l>~ `;W iS1Gb$ ? 特征及技术参数 #+" 4&:my
sz/ *w 7 - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 " #pzZ)Zh - 灵敏度R_q<0.5 nm (`6%og#8 - 测量时间： < 1 s。
j/9WOIfa - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 $(gGoL< Kej|1 g1f a jQqj . 传感器： S<n P80C
K 3Yw8t2J Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 )'5<6Q.] *KK[(o}^J- 应用： 7]|zkjg I
i3Hz"Qs;
可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： q_ T] 9d - 平面或复杂（自由形状）表面。 cJ(BiL-uF - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 s>|Z7[* - 机械零件。 dL_QX,X- ] - 汽车工业。 Hz?! B V0 sEce{"VC
EZ"bW QQ:1824712522 f.oP
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