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1.Horos—光学粗糙度传感器。 QIEJ6` 2.测量样本。 {S \{Ii6 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 MN>b7O \.? 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 Nx;~@ IP pN@ 系统简介 {Xy5pfW
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M3y NAN 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 >Tx?%nQ .Hm>i 特征及技术参数 Jpq~
y^ *~B(T{ - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 6@!`]tSCK - 灵敏度R_q<0.5 nm ^76]0`gS - 测量时间： < 1 s。 9FR5Jw>t - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 V0 YZp 6MW{,N O T*mO&Z 传感器： J;e2&gB
i]4I [! Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 gD?l -RT> =qIp2c}Rx 应用： z<;HQX,
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可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： JbbzV> - 平面或复杂（自由形状）表面。 $%Kf q[Q - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 3 3q}CzK - 机械零件。 =WAT yY:s - 汽车工业。 ;'K5J 9k `w Vy b>T
'<<t]kK[N QQ:1824712522 T -2t.X s
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