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1.Horos—光学粗糙度传感器。 Iy e 2.测量样本。 bt~ -=\ 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 E9
q8tE} 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 d~28! E+ NB16 O !r 系统简介 ~;U!?
mp@ Js CU 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 Pyk~ V)~M yqCy`TK8 特征及技术参数 uOZ+9x(
W.H_G.C% - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 ts)0+x - 灵敏度R_q<0.5 nm jixU9] - 测量时间： < 1 s。 GDOaZ i - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 "jAV7lP "7gS*v,r %s<7|, 传感器： zW+Y{^hf
MA"iM+Ar Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 v "oO
~r@'k UXKK 应用： 2]Y (<PC
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可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： `&0?e- - 平面或复杂（自由形状）表面。 )[zyvU. J3 - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 h2,A cM - 机械零件。 |a'Q ^aT - 汽车工业。 ,Hp9Gkm8I/ m,=$a\UC
+n)(\k{ QQ:1824712522 RV&2y=eb
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