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1.Horos—光学粗糙度传感器。 i\} :hU-U 2.测量样本。 J@"utY6N 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 #~ v4caNx 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 &&8'0 .M{ #} ,x @]p 系统简介 yOXO)u1n
aC=['a>) 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 bi[7!VQf 6Z:YT&,f 特征及技术参数 3!9 Z=- tD
%HuyK - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 _kraMQ> - 灵敏度R_q<0.5 nm AHh#Fx+K - 测量时间： < 1 s。 Q
s(Bnb; - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 Fe=8O ^\ ; 2`sN
kEN #u 传感器： c$M%G)P
6F0(aGs Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 C 0C0GqN, I*)VZ W 应用： >l1 r,/\\
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可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： }p3b#fAr - 平面或复杂（自由形状）表面。 I<\
'% - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 *>
3Qd7 - 机械零件。 ZW4aY}~)$ - 汽车工业。 4iX-( ir, dSK 0h(8
f?UzD#50D QQ:1824712522 j~av\SCU*
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