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1.Horos—光学粗糙度传感器。 6`tc]a"#Zb 2.测量样本。 )<?^~"h 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 6%hr]>L 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 m0I)_R#X[ g H+s)6 系统简介 m zh8<w?ns
oTtJ]`T 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 K/Q%tr1W0 :7,j%ELic 特征及技术参数 y_>l'{w3^
Ej\M e - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 e5g# a} - 灵敏度R_q<0.5 nm "Cj {Z@n - 测量时间： < 1 s。 e
ej: - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 ZU=om Rh5
4jOq.j X=8CZq4 传感器： (R.l{(A
hu ]l{TXi Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 !O`aaLc E%[2NsOM] 应用： 3Kx&+
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可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： P}2i[m.*, - 平面或复杂（自由形状）表面。 zS 9HR1 - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 d@$ ]/=% - 机械零件。 )p$a1\ ~m - 汽车工业。 B<p-qPR K ,P%a0\
; p/%)WW QQ:1824712522 }{R?i,j(
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