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1.Horos—光学粗糙度传感器。 XVfQscZe 2.测量样本。 YszhoHYh 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 &-zI7@! 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 DkIkiw{L 'UyL%h;nJ 系统简介 7^L &YV W
%Xl@o 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 :o:??tqw @ ^ e@.) 特征及技术参数 + D@ R'$N
G$j8I~E@ - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 _e' mG'P( - 灵敏度R_q<0.5 nm x#^kv) - 测量时间： < 1 s。 ka*UyW} - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 QKO(8D 6+ 6PH*]#PfoD tu'M YY 传感器： liTr3T`,V
B_S3}g<~ Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 erqB / C [h1{{Nb#ez 应用： E kX6> mo
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可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： 4Q>F4 v` - 平面或复杂（自由形状）表面。 eBB
D9 SI - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 1<83MO; - 机械零件。 a|NU)mgEI - 汽车工业。 #5D+XB T 5 5,-1tWs
rXPXO=F1/ QQ:1824712522 | QA8"&r
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