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1.Horos—光学粗糙度传感器。 {|R +|ow 2.测量样本。 ]h}O&K/ 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 aIklAj)= 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 xZ>@wBQ ]QmY`pTB` 系统简介 Wo<kKkx2
ZG1 {"J/z 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 "In$|A\?E h#] LXs 特征及技术参数 1-?TjR
!-s 6B - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 d?>pcT)G_ - 灵敏度R_q<0.5 nm q.v_ ?X<_ - 测量时间： < 1 s。 VpWpC& - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 2[5z6oG 9~yp =JOV@ y+P$}Nru 传感器： yI8
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;#S4$wISw` Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 `bcCj~j h SU|rVi 应用： vff`Xh>k (
77~l~EX
可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： onF?;>[ - 平面或复杂（自由形状）表面。 wPH1g*U - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 S<"`9r)av - 机械零件。 4zx_L8# Z - 汽车工业。 :1e'22[=. X.JPM{]
Gkz~x Qy1T QQ:1824712522 =pn(56
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