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1.Horos—光学粗糙度传感器。 /dU-$}>ZI 2.测量样本。 sv<U$M~)X 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 o}XbFL n 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 1C [j:Ly/ A$K>:Tt> 系统简介 w<?v78sT
#]ZOi`; 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 MLV_I4o 6Q&R,"!$p 特征及技术参数 2TN+ (B#Z!
2k,!P6fgl - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 fmDU - 灵敏度R_q<0.5 nm Sri,sZv - 测量时间： < 1 s。 :NL.#!>/ - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 6~Y-bn"%D5 gl/n*s#r_ zG_e= 传感器： ;dt&* ]wA
{/]Ks8`Dm Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 J1I"H<}-6 .6 Swc? 应用： |k~\E|^
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可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： B_w;2ZuA - 平面或复杂（自由形状）表面。 &j}\Z D - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 ~Uw **PT3M - 机械零件。 A&#P=m j - 汽车工业。 5gP#V
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