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1.Horos—光学粗糙度传感器。 z [L8$7L 2.测量样本。 A$Hfr8 w1u 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 $_"'&zQ' 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 $P^q!H4D v3~? ;f ,l 系统简介 rWa2pO
MyJ %`@+1 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 DgId_\Ze 1 ySk;;3 特征及技术参数 V c&! OE
K*K ,}W&} - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 G\2 CR* - 灵敏度R_q<0.5 nm R O+GK`J - 测量时间： < 1 s。 ~ =M7 3U# - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 S"NqM[ W Yvw(t j5_5 J\twZ>w~0 传感器： y" RF;KW>
snE8 K}4 Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 .sha& K X ,S 应用： * 2p t%eav
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可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： >E;uU[ v)I - 平面或复杂（自由形状）表面。 f ph v - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 ,w<S|#W~+ - 机械零件。 y-'$(x - 汽车工业。 ey7 f9 w'Y7Il C
t3 8m'J :> QQ:1824712522 X5zDpi|Dq
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