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1.Horos—光学粗糙度传感器。 wg<|@z5 2.测量样本。 Y>Hl0$:= 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 {$Y D-bqY 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 D1 ~ x $'YKB8C 系统简介 jUvA<r
,, %:vK+V 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 l/zC##1+. bDBO+qA 特征及技术参数 W#I:j: p
V}fKV6 v9 - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 =4<S8Cp - 灵敏度R_q<0.5 nm r/hyW6e_ - 测量时间： < 1 s。 .*-w UBr - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 9< h]OXv <W59mweW#5 e ]o'i;I 传感器： |( 9#vt#
\UqS -j| Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 4:&qT Y)H HJaw\zbL 应用： E\~ KVn
aT:AxYn8
可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： }?]yxa ~ - 平面或复杂（自由形状）表面。 uO@3vY',n - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 IAF;mv}' - 机械零件。 r p
@ - 汽车工业。 o.3YM.B# S=H_9io
15KV} ){ QQ:1824712522
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