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1.Horos—光学粗糙度传感器。 fM]+SMZy 2.测量样本。 &oP +$;Y 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 n Ot&pq7 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 wxR,OR Jj>?GAir 系统简介 .f*4T4eR-
Ye"o6_U " 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 9=v MgW 0IwA#[m1` 特征及技术参数 (yu/l 6[
p#01gB - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 iq C|G/ - 灵敏度R_q<0.5 nm H{@Yo\J - 测量时间： < 1 s。 I?h)OvWd - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 iQ tN Aj a=1NE D' #+:9T /*>0 传感器： = }lh_
X\]L=>]C Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 .GsV>H <Y*+|T+&d 应用： (_niMQtF}
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可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： ~x A-V4 . - 平面或复杂（自由形状）表面。 8UW^" 4 - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 u 8g S< \ - 机械零件。 %zA;+s$l - 汽车工业。 !S^AgZ~ NO~*T ?&
*S]Ci\{_ QQ:1824712522 1{r3#MVL
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