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1.Horos—光学粗糙度传感器。 eR8qO"%2: 2.测量样本。 6yF 4%Sz9 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 7fl'nCo\" 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 &K`[SX= [6
!/ 系统简介 {P(Z{9 u%
>U9!KB 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 ?S0VtHQ a7q-*%+d5 特征及技术参数 Xig+[2zS
,KIa+&vJW@ - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 / v;g v[ - 灵敏度R_q<0.5 nm iYv6B6o/99 - 测量时间： < 1 s。 C>@~W(IE - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 |n=kYs L"tj DAV ^#S 传感器： N: cl wmo
mxQS9y Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 -NZj : N $Kb-mFR 应用： i2$U##-ro]
z 0HCmj9T
可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： iAT&C`,(& - 平面或复杂（自由形状）表面。 S_6`.@B} - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 }k<b)I*A - 机械零件。 !hF b < - 汽车工业。 E] t:_v _:M6~XHo
*D,+v!wG9 QQ:1824712522 bR*T}w$<
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