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*N<&GH(j 1.Horos—光学粗糙度传感器。 9AJ7h9L 2.测量样本。 k>g_Z`%< 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 O6G0 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 (样本:1.-Mo/Si-镜子,2-Ti-膜,3-钻石旋转法下Al-表面)。 -xA2pYz" |VNnOM 系统简介 -u8NF_{c A"rfZ` 随着光学技术不断地发展,对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量,快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 #Ibp( e!=kWc 特征及技术参数 ^*Yh@4\{JH Yd~X77cv - 可测量参数:粗糙度相关一系列值 (例如PSD,倾斜度等等),3D下散射光分布,检测是否各项同性等。 VQS~\:1 - 灵敏度R_q<0.5 nm Q{5kxw1ZF - 测量时间: < 1 s。 `I,,C,{C - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 #a8B/- 4s*ZS}]
o DRi<6Ob 传感器: 65aK2MS@ j4R(B Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的,便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础,用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 :dQ B R bKN@j'M 应用: 'GS"8w~j y3o25}" 可在下列领域中进行快速,不受周围环境干扰的质量检测: gh8F2V;< - 平面或复杂(自由形状)表面。 <y NM%P<Oy - 光学加工(表面加工,镀膜,制作模具等)。 #T=LR@y - 机械零件。 &RnTzqv - 汽车工业。 vbC\?\_ k@3Q|na .G#8a1# QQ:1824712522 zPjHsulK
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