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1.Horos—光学粗糙度传感器。 /o;L,mcx* 2.测量样本。 JpfA+r 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 3t TOs 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 xjo`u:BH `-pw P 系统简介 (O0 Ry2u k
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{$VHw 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 Th9V8Rg+E z.cDbkf} 特征及技术参数 XY'8oU`]{
x'`{#bKD - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 R}0gIp = - 灵敏度R_q<0.5 nm f $ Agcy - 测量时间： < 1 s。 xO )c23Z)] - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 hI86WP9* ;pW8a? TI7$J # 传感器： 1z6aMd6.
KNAvLcg Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 V pnk>GWD LBy`N _@ 应用： Zt3sU_
M#'7hm6
可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： _'!?fA - 平面或复杂（自由形状）表面。
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3 x - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 zas&gsl-; - 机械零件。 j V sH - 汽车工业。 `}),wBq V AL?
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