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1.Horos—光学粗糙度传感器。 pTQ70V3 2.测量样本。 gK_^RE9~ 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 5]-q.A5m 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 VLdQXNg9W" 0bl?dOV{ 系统简介 |^S{vub
QfdATK P 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 f ye=8
r <"GgqyRzv 特征及技术参数 kYW>o}J|
_l{`lQ} - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 & U.U< - 灵敏度R_q<0.5 nm HX) oN8 - 测量时间： < 1 s。 pXoD*o b - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 4r+@7hnK bR\Oyd~e (dH "b
* 传感器： lG1\41ZxB
(a eS+d x Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 r5> 1n/+6 k1.h |&JJN 应用： n|p(Cb#G
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可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： ~; V5*t - 平面或复杂（自由形状）表面。 SsY :gp_ - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 P]~apMi: - 机械零件。 762c`aP_( - 汽车工业。 (XU( e e|-%-juI
`K%f"by QQ:1824712522 0x Er`]]U
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