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1.Horos—光学粗糙度传感器。 X r
2.测量样本。 Zu [?' 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 h4$OXKme? 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 !ch[I#&J- c (_oK ? 系统简介 N9>' /jgZX
v4Fnh`{ 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 Kq@m?h yNb#Ia 特征及技术参数 #%} u8\q
ctwhfS|Y0 - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 ],fwZd[t - 灵敏度R_q<0.5 nm r(?'Y y - 测量时间： < 1 s。 Fw_bY/WN{ - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 /
%U~lr @wAr[. lZ s[{:>~{iq 传感器： 5{!a+
;/hH=IT Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 6 qHvq
A, H( DVVHx 应用： cfy/ *|
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可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： YWn6wzu%Vc - 平面或复杂（自由形状）表面。 U{za m - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 ; ei<Q =[ - 机械零件。 9L)&n.t1
- 汽车工业。 0.{oA`5N c5mhl;+'
8wH41v67F QQ:1824712522 V.P5v {
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