|
|
Rs<q^w]
1.Horos—光学粗糙度传感器。 f(|k0$EIu 2.测量样本。 d-~ V. 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 6j|Ncv 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 !XtG6ON= `y v?PlKL 系统简介 YcobK#c
$ ZI ] 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 |_TiF ;^ A2 + % 特征及技术参数 U4!KO;Jc
?y- ^Fq|h - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 |0i{z(B - 灵敏度R_q<0.5 nm _c>ww<*3 - 测量时间： < 1 s。 F\D iT|?} - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 >N |?>M* {nKw<F2 w6V/Xp][U 传感器： PGP#$JC
12Oa_6<\0; Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 jB?SX fmuh 9Z 应用： A] |w1nq
}%u #TwZ
可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： X9Ch(nWX - 平面或复杂（自由形状）表面。 ]:gW+6w"C - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 vS8& ,wJ! - 机械零件。 r%=-maPL[ - 汽车工业。 _2jL]mB `>
%QCc\
_;k<=ns(= QQ:1824712522 @ual+=L
|
