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1.Horos—光学粗糙度传感器。 ps,Kj3^T< 2.测量样本。 >d ]-X] 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 K8BlEF` 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 >!" Sr3,L rDoMz3[w 系统简介 4f8XO"k7t=
Oe@w$? 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 eX"E cl{ V?x&\< ;, 特征及技术参数 <[}zw!z
4h--x~ @ - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 's a)_?Hy - 灵敏度R_q<0.5 nm F^!O\8PFd - 测量时间： < 1 s。 s}`
|!Vyl - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 { 6qxg _{ aCQ[Uc<B: [kr-gV 传感器： @zi0:3`#0\
"oZ_1qi< Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 8L/ XZ) rOEBL|P0 应用： ) y:))\>
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可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： ,f,+) C$ - 平面或复杂（自由形状）表面。 bVN?7D( - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 tlvZy+Blv - 机械零件。 u 6l)s0Q - 汽车工业。 =1|p$@L `% [`tNa Vg
o::9M_; QQ:1824712522 #sjGju"#_
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