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1.Horos—光学粗糙度传感器。 6?<`wGs( 2.测量样本。 NR;S3-Iq ( 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 %4r!7X|O< 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 Fu1|b2B-x \0* yxSg,^ 系统简介 %WJ {IXlz
k<j)?_=` 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 @
@3)D%h Q8gdI 特征及技术参数 _ Sk< S
8eS@<[[F# - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 K;ry4/Vap - 灵敏度R_q<0.5 nm ?Qo_
KQ%sn - 测量时间： < 1 s。 X( 'Q;^` - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 YV ZSKU
jKb=Zkd m ISu o 传感器： 2\z`G
VvM U) Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 A\PV@w%A i X/;" CM 应用： ('o; M:
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可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： x9&tlKKxf - 平面或复杂（自由形状）表面。 9/X v&<Tn - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 !g8.8(/t) - 机械零件。 PE;0
jgsiI - 汽车工业。
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