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1.Horos—光学粗糙度传感器。 ||TtNH 2.测量样本。 }$&WC:Lg 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 0V11# 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 .+#Lx;}) qc!xW ,I 系统简介 9rj('F & 1
993d/z|DX 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 hd^x}iK" y{rn-?`{ 特征及技术参数 }6~)bLzI}
`ypL] $cW - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 `6 Y33bQ - 灵敏度R_q<0.5 nm XK 3]AYH - 测量时间： < 1 s。 9\51Z:> - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 lC9S\s ^E@@ YV (:?&G9k
" 传感器： < tQc_
EnscDt f( Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 WEa>)@ 4 UC wT1 应用： >_Uj?F:
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可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： RebTg1vGu - 平面或复杂（自由形状）表面。 HCc` - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 gg8c7d:Q - 机械零件。 :::>ro*R - 汽车工业。 jKt-~ : &telCg:
7 z< Cu< QQ:1824712522 R#0{Wg0O)
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