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"jyo'r 1.Horos—光学粗糙度传感器。 fYjmG[4 2.测量样本。 Qz(2Iu{E] 3.钻石旋转加工表面的测量结果。
j5/pVXO 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 (样本:1.-Mo/Si-镜子,2-Ti-膜,3-钻石旋转法下Al-表面)。 ^+D/59I +o`%7r(R 系统简介 3`yO&upk 3h:~NL 随着光学技术不断地发展,对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量,快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 r\Y,*e 0\XWdTj{ 特征及技术参数 :ZY%-]u7 7 2JwG7qh - 可测量参数:粗糙度相关一系列值 (例如PSD,倾斜度等等),3D下散射光分布,检测是否各项同性等。 ^}Vc||S - 灵敏度R_q<0.5 nm BS fmS(. - 测量时间: < 1 s。 FzX ;~CA - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 iSO xQ jKmjZz8L]% )iw-l~y; 传感器: yF(9=z"? <VhmtT%7 Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的,便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础,用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 L"
ejA XiTi3vCe 应用: Gw3+TvwU+Q ;/$pxD 可在下列领域中进行快速,不受周围环境干扰的质量检测: -+@N/d5 - 平面或复杂(自由形状)表面。 n7bVL#Sq[ - 光学加工(表面加工,镀膜,制作模具等)。 C/Q20 - 机械零件。 (.P}>$M9 - 汽车工业。 (G>su \JM6zR^Ef 68,j~e3-i QQ:1824712522 :4V5p
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