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1.Horos—光学粗糙度传感器。 O AXA< 2.测量样本。 C. ?^] Y 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 ^lp=4C 9 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 ?I +{S bdL= ?KS 系统简介 9&s b,^4
VeQGdyhY 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 ,U""m7 =Kj{wA
O 特征及技术参数 ?t 'V5$k\
2Q e&F eT - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 hO"!q;<eS - 灵敏度R_q<0.5 nm aM~IRLmK - 测量时间： < 1 s。 m7^f% <l - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 h$8h@2% Sr
\y1nt 7Fj8Mp| 传感器： {Z2nc)|7C
t o GiG|L Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 iq' PeVo lC($@sC % 应用： F!z ^0+H(
t?"(Zb
可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： @&?(XY 'M% - 平面或复杂（自由形状）表面。 8i',~[ - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 !q&T d - 机械零件。 S<7!< ]F- - 汽车工业。 P*KIk~J b-ss^UL
3)Wf BvG QQ:1824712522 -Cyo2wk
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