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1.Horos—光学粗糙度传感器。 ]UMt 2.测量样本。 :pp@x*uNP 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 F=B[%4q`% 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 xa=Lu?t%< ZNKopA(=|% 系统简介 v<_wf
MyJ\/` 8 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 P,eP>5 5'K _ddOsg|U 特征及技术参数 <27:O,I
kA"|PtrW - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 LwI A4$d - 灵敏度R_q<0.5 nm O 7Z?y* - 测量时间： < 1 s。 UqA <rW - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 DO^ J=e [Zpx
:r} <Wwcd8d 传感器： Qms ,kX
S#:y l>2 Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 t |5T,YFG :kU-o l$ 应用： Od,P,t9
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可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： %aB
RL6 - 平面或复杂（自由形状）表面。 9* <=K - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 YaT 6vSz - 机械零件。 {tDH !sX - 汽车工业。 r3BQo[ 't okk Mx"
%FhUjHm QQ:1824712522 0XWhSrHM
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