|
|
P ~pC /z
1.Horos—光学粗糙度传感器。 FqvMi:F 2.测量样本。 ?r`UBR+[ 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 :X?bWxOJ 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 2u(v hJ
F5 *=6,}rX"I 系统简介 A b"mX0n
=:|fN 3nJ2 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 @YH<Hc EB/.M+~a 特征及技术参数 f9Vx td
z%F68 f73 - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 [i8,rOa7 - 灵敏度R_q<0.5 nm _n[4+S*v( - 测量时间： < 1 s。 # rE#lHo - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 *jBn
^ BFCF+hU^6R w&M)ws;$ 传感器： W WO@UL GY
;+) M~2 = Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 G k.;<d v4:g*MD?~ 应用： q ;@:,^
W?(^|<W
可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： oic}G o - 平面或复杂（自由形状）表面。 \~1>%F'op - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 ~-"<)XPe - 机械零件。 F$Cf\#{3 - 汽车工业。 Kg #5
@; c {iF
R*C QQ:1824712522 o9tvf|+z
|
