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1.Horos—光学粗糙度传感器。 }HZ {(? 2.测量样本。 A[/I#Im7 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 A| x:UQlu 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 EZr6oO@Nc Z>A{i?#m 系统简介 setL dE i
~a+NJ6e1 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 h_
! >yK 6* rcR] 特征及技术参数 Px4/O~bLk
,jh~;, w2 - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 f{Q p - 灵敏度R_q<0.5 nm z: G}>f k5 - 测量时间： < 1 s。 oK Kz 4 - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 13f<0wg 6}&^=^- Cv TwBJy1 传感器： .|]IwyD
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zNtq"T [ Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 hLuJWjCV (r F?If 应用： E/ O5e(h
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可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： _PB@ kH# - 平面或复杂（自由形状）表面。 X8 qIia - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 Cd~LsdKE5 - 机械零件。 Ph)| j&] - 汽车工业。 eqFvrESN~= '
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nm):SEkC QQ:1824712522 Ml` vx
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