|
|
0uCT+ -
1.Horos—光学粗糙度传感器。 % ]p6Kn/> 2.测量样本。 G%u9+XV1# 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 7+w'Y<mJ 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 5jq=_mHt K t#,]] 系统简介 ~YCuO0t
N_75-S7Cm 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 [&Hkn5yq dRvin[R8 特征及技术参数 . I$}KE)
q 6`G I6 - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 #t!}K_ - 灵敏度R_q<0.5 nm 3kmeD" . - 测量时间： < 1 s。 ep(g`e - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 /,|CrNwY* !p
8psi0 `"k9w C1 传感器： \Btk;ivg
6Gn4asoA Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 /-0'
Qa+* o 07IcIo 应用： }fhHXGK.
]B9 ^3x[:
可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： +?`b=6e(` - 平面或复杂（自由形状）表面。 ! d9 AG| - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 G% TL/Z40 - 机械零件。 wz -)1! - 汽车工业。 ?)3jqQ. BQ05`nkF
,yLw$- QQ:1824712522 cQpnEO&SL
|
