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1.Horos—光学粗糙度传感器。 [k~}Fe) x 2.测量样本。
eeMeV> 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 )70i/%}7 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 WMi$ ATq "5wer5?
t 系统简介 !#[B#DZc(
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随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 f[ 'uka.U XfZ^,' z 特征及技术参数 KT3n -Y-,
kO3N.t@n - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 0 k (s u
- 灵敏度R_q<0.5 nm 7jS`4, - 测量时间： < 1 s。 Z>l%:;H - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 D[H #W[ 'g5 Gdn wH0m^?a!3 传感器： zk++#rB
< C1Jim Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 :aHLr[ %Mz R3bHX%T 应用： P->.eo#VG
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可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： \+#>XDD - 平面或复杂（自由形状）表面。 -\|S=<
g - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 Gnthz 0\]{ - 机械零件。 }!_o fe - 汽车工业。 WU +OS( aj`_* T "A
,9.-A-Yw QQ:1824712522 ix+sT|>
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