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('BLU .7IX
1.Horos—光学粗糙度传感器。 *aG"+c6| 2.测量样本。 Q [:<S/w 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 h2& y<Eg > 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 ('HxHOh2 ; .0LRWcJ 系统简介 b]K>vhQV
k#jm7 + 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 )d_U)b7i @Z=wE3T@ 特征及技术参数 sS'{QIRC'
"3ug}k - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 YE_6OLW - 灵敏度R_q<0.5 nm \4@a - 测量时间： < 1 s。 -R74/GBg - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 \P?--AI q< Fo LDMx( h&$P y 传感器： Bn_g-WrT
PHl4 vh#E! Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 0 lf" w@/ .) 0gz!Z 应用： w< mqe0
DCK_F8
可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： D9G0k[D, - 平面或复杂（自由形状）表面。 n531rkK- - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 43F^J%G - 机械零件。 lR[z<2w\ - 汽车工业。 m>O2t - 5IO3 % p?
D0KELA cY QQ:1824712522 p Mh++H]"
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