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1.Horos—光学粗糙度传感器。 g j(|#n5C 2.测量样本。 (!^ i6z0Sp 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 !'y 9/ 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 n};:*N!
v = ;hz,+ 系统简介 `x{*P.]N!<
k0@b"y* 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 4=BIYC"Lu ""0 cw 特征及技术参数 k}MmgaT:5]
_6y#?8RMB - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 8dgi"/[3 - 灵敏度R_q<0.5 nm 7gX#^YkE+k - 测量时间： < 1 s。 Ol%KXq[ - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 eflmD$]SW qK_jgj=w ~ AqFLv/% 传感器： AQx:}PO
e}xx4mYo Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 %QYH]DR QD2;JI2 应用： ECZ`I Z.
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可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： T[M:%vjYF - 平面或复杂（自由形状）表面。 U=kP xe - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 <8 $fo - 机械零件。 d[0 R#2y= - 汽车工业。 xF/ u('A {5GXN! f
-z s5WaJn/ QQ:1824712522 q(Q$lRj/I-
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