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摘要 8'B\%.+"8e
@U:T}5)wc 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。 4W.;p"S2
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 R\:C |/6f 傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA） A0rdQmrOL
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 Whd4-pR8 '{ cN~A2b4 单次FMM仿真结果 Bw*z4qb{yH
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-Grating Order Analyzer &{]% =stI
-Optimization of Lightguide Coupling Grating for Single Incidence Direction 3^Yk?kFE DQlaSk4hF_ QQ：1824712522
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