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摘要 x%x[5.CT KgKV(q= 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 $> #PhOC ]Fjz+CGg
L:B&`,E 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) "=/XIM. wetkmd 建模任务 \=83#*KK ;J?!D x
OwDjUKeN `9$?g|rB 单次FMM仿真结果 i>e7 5`9
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,L_p"A =ohdL_6 参数扫描(1D) ]vu'+F$ OjZ+gl}
^. Pn)J $wX5`d1 参数扫描(2D) zHu:Ec7 !^\|r<2M (>)Y0ki} 1` 9/[2z 文件信息 rU'&o) a^ _;0:wXib=
78NAcP~6c S liF$}J 拓展阅读 GU"MuW`u2 v_G4:tY -Grating Order Analyzer j[Et+V? -Optimization of Lightguide Coupling Grating for Single Incidence Direction VSP[G ,J. qLPI^g, QQ:1824712522
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