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摘要 'nK~'PZ,
MY- .t-3 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。 ew#T8F[
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- 傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA） C]`eH *z~8
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-Grating Order Analyzer
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-Optimization of Lightguide Coupling Grating for Single Incidence Direction v#=ayWgk 3 .)_uo0;o QQ：1824712522
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