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摘要 ^M6xRkI wZ/Zc}
. 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 ^55#!/9 lgFA}p@
Gh}sk-Xk= 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) .)~IoIW= 37Ux2t 建模任务 pYIm43r H y<jW7GNt
p&~8N#I# U|VFzpJ 单次FMM仿真结果 mu`h6?v *m6~x-x
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