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摘要 A^q [N
kcb.Wz~= 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。 JK.ZdY%
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 ,t\* ZTt$ 傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA） R(n^)^?
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建模任务 i1S>yV^l
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7, 单次FMM仿真结果 3e(ehLc4DJ
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 tK&' <tZh dnj}AVfQx 参数扫描（1D） _E@ :O +K
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 X/N0LU(q X^WrccNX 参数扫描（2D） 0_CN/5F #!)n
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-Grating Order Analyzer WJ_IuX51'
-Optimization of Lightguide Coupling Grating for Single Incidence Direction _6wFba@>/n w:
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