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摘要 Dq<!wtFG[ =kBWY9:$, 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 \Z^Tk -uhg7N[3
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傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) /&o<kY =p \eh?^ 建模任务 Gxw>.O){ Ih%LKFT
M!O &\2Q nyx(0 单次FMM仿真结果 r}|a*dh'R @ 5V3I^
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