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摘要 S6:gow(wU PH=8'GN 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 `6F8Kqltr FnU;n <%5uzlp 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) K#yH\fn8 9Qd'=JQl 建模任务 +0042Yi mq}
#{ YLd%"H $n "N"k8,LH 单次FMM仿真结果 30-wTcG =!Cvu.~}, "qp_*Y ,6)y4=8 L 参数扫描(1D) ?5M2DLh~ P"VLGa PQ|x?98 yXmp]9$ 参数扫描(2D) 1T`"/*! Nd)o1{I f%l#g ]] AYerz 文件信息 FkkB#Jk4 >U.uRq a
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