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摘要 ,e@707d`\ 7Um3myXU 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 [pzo[0G 'v l<UJ@XID$
1Gp|_8 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) {1}p+dEK `ZPV.u/ 建模任务 f-5}`)`.+ AiUK#I
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kv 单次FMM仿真结果 D.,~I^W "vF7b|I
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t@+z r3 zuYz"-(L 参数扫描(2D) ~PA6e+gmL ;T|hNsSt ~+anI MB"<^ZX 文件信息 8?[#\KgH1 9._Osbp3P
~IS3i'bh ]GmXZi 拓展阅读 QvDD
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