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摘要 <O,'5+zG% i$`|Y* 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 dJdD"xj _SMT.lG
%K&+~CJE 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) M(;y~|e ql{^"8x 建模任务 W\I$`gyC/ 4B:\
Qag|nLoT '\ph`Run 单次FMM仿真结果 O_r^oH t/v@vJ`vSH
\&eY)^vw !XgQJ7y_Z 参数扫描(1D) ~I8v5 H [5]R?bQ0q{
?dp-}3/G w$DG=! 参数扫描(2D) cOzg/~\1 L"""\5Bn( T4V[RN
bajC-5R1k 文件信息 4/*]` vqrBRlZ
T5K-gz7A #@nZ4=/z 拓展阅读 W@:^aH GAg.p?Sq -Grating Order Analyzer QT`fix{ -Optimization of Lightguide Coupling Grating for Single Incidence Direction Bv;I0i:_
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