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摘要 'a"Uw"/p[ =Ea,8bpn 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 CW+gZ! SME]C ')7
#p-\Y7f 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) gOy{ RE @?&
i 建模任务 WZ UeW*#= t|*UlTLm
18]Q4s8E X,D ]S@ 单次FMM仿真结果 2m9qg-W 1G'pT$5&
VREDVLQT M%s!qC+ 参数扫描(1D) fyxc4-D }sp?@C,Z
n%!50E6*: $)'LbOe 参数扫描(2D) >2NsBS( 5[~C!t; Sp]ov:]%f S`vw<u4t 文件信息 $SfY<j,R kH=qJ3Z
M{p9b E[j 1[\I9dv2 拓展阅读 WN o+% JvS
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