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摘要 YGpp:8pen V?z{UZkR
可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 $JSC+o(q3# Qufv@.'AY
S9#N%{8P 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) 3pjYY$' /(pD^D 建模任务 wp GnS QT l._j@
DCzPm/#b !E#.WX 单次FMM仿真结果 svRaU7<UDN }vA
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