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摘要 =
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*g c]1\88 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 +]dh`8*8>1 vzH"O=
A\:u5( 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) B+r$_L&I "HwSW4a] 建模任务 J_`a}ox ,:=g}i
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