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摘要 Ve\!:,(Y_ rY=dNK]d 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 Eds{-x|10 S)@) @3
N2EX`@_2 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) .Dyxul u,S}4p&l 建模任务 &K,rNH'R yuZhak
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2Ao6*% % ELf7~ 单次FMM仿真结果 8&y3oxA, >56;M7b(K
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