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摘要 pJ}U'*Z2
*sU,waX 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。 g $Y]{VM.J
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 <M1*gz 傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA） JseKqJ?g
x}K|\KXy 建模任务 c=\ _[G(
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 onSt%5{P%X Xydx87L/-e 单次FMM仿真结果 aSIb0`(3
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 ?%~p@ vc|tp_M67 参数扫描（1D） Q2ne]MI
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 F]6G<6T[ I\6C0 x 参数扫描（2D） f fL]_E A"M;kzAfHM  4 N$Wpx , c`6- 文件信息 #Y7iJPO
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 e_ epuki 9)vU/fJ| 拓展阅读 W)r|9G 8 T
A,EG 0yb
-Grating Order Analyzer }w35fG^
-Optimization of Lightguide Coupling Grating for Single Incidence Direction -{OJ M|W+ i=n;rT QQ：1824712522
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