微纳米结构分析FIB介绍

微纳米结构分析FIB介绍： Jb)#fH$L  
电子光学 5RH2"*8T  
NICo非浸没式超高分辨率场发射扫描镜筒，配有: \@3Qi8u//  
· 高稳定性肖特基场发射电子枪，用于提供稳定的高分辨率 分析电流 GPhl4#'  
· 60 度双物镜透镜，支持倾斜较大的样品 .MW@;  
· 自动加热式光阑，可确保清洁和无接触式更换光阑孔 -4rDbDsr  
· 连续电子束电流控制和优化的光阑角度 @$"J|s3M  
· 电子枪安装和维护简单 自动烘烤，自动启动，无需机械合轴 .o1^O
h  
· 两级扫描偏转 Ab%;Z5$fr  
· 双物镜透镜，结合电磁透镜和静电透镜 $mm
up|;(  
· 快速电子束闸* 9j]sD/L5q  
· 用户向导和镜筒预设 unJid8Lo  
· 电子源寿命至少24个月 .roqEasu8  
电子束分辨率 G&xo1K]  
zui佳工作距离下 +x?#DH-  
· 30keV 下 STEM  0.7nm 4h!f/aF'  
· 1keV 下 1.4nm 15keV 下 1.2nm 5ercD  
· 1keV下 电子束减速模式 0.99nm* heaRX4  
Tu{&v'!j6  
电子束参数 'bGX-C  
· 电子束流范围（数显，连续可调）：1pA  400nA 07Gv*
.  
· 加速及着陆电压：20V-30KV(连续可调) |6UtW{2I/  
· 放大倍数范围：40x-1200x "Td`AuP@,  
· zui大水平视场宽度：7mm工作距离下为3.0mm，60mm工作 距离下为7.0mm，样品台到束交叉点85mm `-`qdda  
· 导航蒙太奇功能可额外增大视场宽度 +uWDP.