微纳米结构分析FIB介绍

微纳米结构分析FIB介绍： .xg, j{%(  
电子光学 cxxrvP-  
NICo非浸没式超高分辨率场发射扫描镜筒，配有: N=;V
S-  
· 高稳定性肖特基场发射电子枪，用于提供稳定的高分辨率 分析电流 a*?,wmzl  
· 60 度双物镜透镜，支持倾斜较大的样品 _;u@xl=  
· 自动加热式光阑，可确保清洁和无接触式更换光阑孔 aWMEo`O%  
· 连续电子束电流控制和优化的光阑角度 j6&7tK,  
· 电子枪安装和维护简单 自动烘烤，自动启动，无需机械合轴 QO3QR/Ww  
· 两级扫描偏转 $qk(yzY  
· 双物镜透镜，结合电磁透镜和静电透镜 qj<_*  
· 快速电子束闸* 0BQ<a  
· 用户向导和镜筒预设 r8vF I6J  
· 电子源寿命至少24个月 H:`
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电子束分辨率 vDVE#Nm_  
zui佳工作距离下 c{cJ>d 0  
· 30keV 下 STEM  0.7nm Ng1uJa[k!d  
· 1keV 下 1.4nm 15keV 下 1.2nm y0cB@pWp  
· 1keV下 电子束减速模式 0.99nm* ?iaD;:'qE  
X]v.Yk=wu  
电子束参数 1}jwv_0lL  
· 电子束流范围（数显，连续可调）：1pA  400nA APY*SeIV  
· 加速及着陆电压：20V-30KV(连续可调) /@f3|L<1@V  
· 放大倍数范围：40x-1200x P[a\Q`}L  
· zui大水平视场宽度：7mm工作距离下为3.0mm，60mm工作 距离下为7.0mm，样品台到束交叉点85mm S`&YY89{&  
· 导航蒙太奇功能可额外增大视场宽度 X5wYfN