微纳米结构分析FIB介绍

微纳米结构分析FIB介绍： Z1U@xQj  
电子光学 whQJWi=ck  
NICo非浸没式超高分辨率场发射扫描镜筒，配有: +DYsBCVbag  
· 高稳定性肖特基场发射电子枪，用于提供稳定的高分辨率 分析电流 ]9}^}U1."  
· 60 度双物镜透镜，支持倾斜较大的样品 |0VZ1{=*  
· 自动加热式光阑，可确保清洁和无接触式更换光阑孔 O0sLcuT$  
· 连续电子束电流控制和优化的光阑角度 H ;)B5C  
· 电子枪安装和维护简单 自动烘烤，自动启动，无需机械合轴 rs0Wy  
· 两级扫描偏转 n"Wlfd0  
· 双物镜透镜，结合电磁透镜和静电透镜 m(^nG_eX  
· 快速电子束闸* ?:i,%]zxC  
· 用户向导和镜筒预设 Bm+Ca:p%  
· 电子源寿命至少24个月 FlT5R*m  
电子束分辨率 )< p ~  
zui佳工作距离下 q!YAA\'3
1  
· 30keV 下 STEM  0.7nm
tcJ
N`N  
· 1keV 下 1.4nm 15keV 下 1.2nm m-<m[49  
· 1keV下 电子束减速模式 0.99nm* `ix&j8E22w  
QVkrhwp  
电子束参数 2u(G:cR  
· 电子束流范围（数显，连续可调）：1pA  400nA a[E}o<{  
· 加速及着陆电压：20V-30KV(连续可调) cT nC  
· 放大倍数范围：40x-1200x @jKB[S;JSn  
· zui大水平视场宽度：7mm工作距离下为3.0mm，60mm工作 距离下为7.0mm，样品台到束交叉点85mm +77B656  
· 导航蒙太奇功能可额外增大视场宽度 M[QQi2:&