[分享]VirtualLab：使用傅里叶模态法分析闪耀光栅 [复制链接]

摘要 ;2 oR?COW  
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可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。 wn[q?|1  
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图片:1-20042G00011263.png

Mt)`hR+2  
傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA） xt@zP)6G  
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建模任务 s{#ZRmc2B  
*Z=K9y,IC  

图片:1-20042G00040528.png

EoqUFa,  
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单次FMM仿真结果 ?fDF Rms  
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图片:1-20042G00314295.png

jQOY\1SR  
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参数扫描（1D） %zQME6WELz  
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图片:1-20042G00241125.png

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参数扫描（2D） Bo8+uRF|  
A.m#wY8  

图片:1-20042G0042K26.png

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文件信息 Wq8Uq}~_
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