摘要 ,3k"J4|d .TN9N 可用于严格分析
光栅效率。在
VirtualLab Fusion中，可以设置光栅
系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与
参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定
结构在不同配置下的性能。
hCX}* W9{>.E? NXv u}&H 傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）
,6Kx1 c eD0Rv0BV^ 建模任务 OT_ w<te > Xq:?}-m2 :@TfhQV_=Q Azrc+ k 单次FMM仿真结果 &#'[]V%^F Oj# nF@U 3 *G 7H 3_Su5~^ 参数扫描（1D） _LV;q! /j a G^kL M"OX NPkc m8F-#?~ 参数扫描（2D） $=f,z>j =N,Mmz% A f@IsCOJ 8X`Gm!) 文件信息 .c'EXuI7), W@w#A ] +_gPZFpbx f i-E_ 拓展阅读 +Io[o6* hlxZq -
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Optimization of Lightguide Coupling Grating for Single Incidence Direction
