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摘要 OGA_3|[S ] {sx#|_S 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 OO$YwOKS )I&,kH)+
 H RP 9x4%M&<Z9a 建模任务 v *Dz4K# `LroH>_ w^B F.Nu 仿真干涉条纹 #Jx6DQGa R%%Uw %` D^m`&asC 走进VirtualLab Fusion 8rV"? m`S w;
rQ\gj  3haR/Y N \ t=ls VirtualLab Fusion中的工作流程 `#g62wb,HY 'sII/sq`( •设置输入场 VWLqJd>tr1
−基本光源模型[教程视频] W%&gvZre.
•使用导入的数据自定义表面轮廓 0pfgE= 9
•定义元件的位置和方向 ScCp88KpFI
− LPD II：位置和方向[教程视频]QQ1824712522 PH1jN?OEwZ •正确设置通道以进行非序列追迹 v.Vd js −非序列追迹的通道设置[用例] ffH]`N
•使用参数运行检查影响/变化 [}+h86: y
−参数运行文档的使用[用例] ;L`N F"
f*%Y]XL; %  &eA!h )(/Bw&$ VirtualLab Fusion技术 XJSI/jpa@ 4{v ?<x8 文件信息 9M]%h p~A6:"8s`= vB?(|
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