摘要 tP_.-// [REH*_ 可用于严格分析
光栅效率。在
VirtualLab Fusion中，可以设置光栅
系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与
参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定
结构在不同配置下的性能。
O>E}Lu;| QL0q/S1* 
fR1L VLU 傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）
`;mgJD G}U <^]c 建模任务 ~n -N BOpZ8p'eH1 
x(?Rm, $uLTYu 单次FMM仿真结果 ?0)K[Kd'Y gY+d[3N 
hy / g*> y,?=,x}o# 参数扫描（1D） 1_7p`Gxt[/ p,=IL_ 
=t N }4 & n*ga$Q 参数扫描（2D） ) [eTZg q:_:E*o 
p$"~v A . WOPIF~1v 文件信息 i59 }6u_f Az8b_:= 
YM#' +wl}` IAA_Ft 拓展阅读 Vc0j)3 G/
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Grating Order Analyzer Ztk%uc8_lM -
Optimization of Lightguide Coupling Grating for Single Incidence Direction
