摘要 7+-}8&s yu X0=- {<W 可用于严格分析
光栅效率。在
VirtualLab Fusion中，可以设置光栅
系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与
参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定
结构在不同配置下的性能。
uCr bFXCaD!{G Di=6.gm[< 傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）
DcDGrRuh TI&J>/z;$ 建模任务 <7Lz<{jaJ V-u\TiL 4Lb<#e13R? lV="IP^7 单次FMM仿真结果 hlEvL NtL?cWct rvO+=Tk Bqgw %_ 参数扫描（1D） cIkLdh UG$i5PV%i ]F#kM21 1 T^>cT"ux_ 参数扫描（2D） >s~`K^zS gE(03SX A
76yz`D 2 ARh-zLb 文件信息 5?" ZM'4 z05pVe/5 i:To8kdO M-t9zT 拓展阅读 Jt][b 7.-|3Wcg -
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Optimization of Lightguide Coupling Grating for Single Incidence Direction
