摘要 6u9? hK UK#xx 可用于严格分析
光栅效率。在
VirtualLab Fusion中,可以设置光栅
系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与
参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定
结构在不同配置下的性能。
"?G?G'yK> >x1yFwX}-f p=[SDk` 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)
p4@0[z' 489xoP 建模任务 48,uO! 2BO&OX|X I_Omv{&u wzF%R{; 单次FMM仿真结果 6@x^,SA $T6+6<
I uC7Hx`z -br): }f 参数扫描(1D) @Hl+]arUh <
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h\!#X0 **.g^Pyc 参数扫描(2D) s~m]>^?8MR b"nD5r TSH'OW !b 6lL^/$] 文件信息 &Z(6i}f,Gp i}O.,iH as(Zb*PdH +`ug?`_ 拓展阅读 tHEZuoi IN,=v+A -
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