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摘要 )pS8{c)E !lhFKb;
扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 E5gl ^Q?Z D-pX<0 -y
 .b,~f E_3r[1l 建模任务 '00J~j~ "U{,U`@?
4{Udz! 仿真干涉条纹 MqdB\OW& xl8#=qmCD A*F9\mj I5 走进VirtualLab Fusion 3u_o Rs C`0%C7  O: JPJ"! fL Nag~
VirtualLab Fusion中的工作流程 .!yq@Q|=u /lJjQ]c;> •设置输入场 RM,'o[%
−基本光源模型[教程视频] Fg=v6j4W
•使用导入的数据自定义表面轮廓 x>
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•定义元件的位置和方向 p+[} Hxx=
− LPD II：位置和方向[教程视频]QQ1824712522 43L|QF o •正确设置通道以进行非序列追迹 Rg&19 }BU −非序列追迹的通道设置[用例] cy3M^_5B<
•使用参数运行检查影响/变化 RdI} ;K
−参数运行文档的使用[用例] 6V2j*J
_2OuskL  U:n*<l-k} :B.G)M\ VirtualLab Fusion技术 v459},!P k 4B_W 文件信息 p=B?/Sqa L/x(RCD yp+F<5o
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