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摘要 cb _nlG! X@@ 7Qk 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 PkDh[i9Z| 3x
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`yH l gTw>r 建模任务 uS NlI78D /m+.5Qz9)@ 7iH%1f 仿真干涉条纹 w#Rf D Ny 7vId ||r Z +<
走进VirtualLab Fusion O BZ:C! o1rH@ D6/-  nb U?:=P | <- t VirtualLab Fusion中的工作流程 W^1)70<y ^ V8?6E •设置输入场 5`1p
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−基本光源模型[教程视频] XM?C7/^k
•使用导入的数据自定义表面轮廓 Xe<kdB3
•定义元件的位置和方向 #|acRZ9
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− LPD II：位置和方向[教程视频]QQ1824712522 *!yY7 ~# •正确设置通道以进行非序列追迹 Q Pp>%iE@ −非序列追迹的通道设置[用例] 4Pr@<S"U
•使用参数运行检查影响/变化 $ Q*^c"&
−参数运行文档的使用[用例] J8PZVeWx
F!ra$5u  fBct%M 3 p|'Rm ]&jb VirtualLab Fusion技术 4>te>[ "l
1z@ 文件信息 jo[U6t+pj7 ^
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