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    [转载]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

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    离线飞跃小河
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-04-26
    摘要 iSD E6  
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    扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 +M4X r *  
    WAr;g?Q8  
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    建模任务 lAjP'(  
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    仿真干涉条纹 l 2&cwjc  
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    走进VirtualLab Fusion %`*`HU#X  
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    VirtualLab Fusion中的工作流程 b4NUx)%ln  
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    •设置输入场 R9=K/  
           −基本光源模型[教程视频] I+nKaN+8i  
           •使用导入的数据自定义表面轮廓 n~~0iU )  
           •定义元件的位置和方向 5=< y%VF  
           − LPD II：位置和方向[教程视频]QQ1824712522     \:>GF-Z(  
    •正确设置通道以进行非序列追迹 Ns?qLSN  
    −非序列追迹的通道设置[用例] )_[eqr  
           •使用参数运行检查影响/变化 Md!L@gX6<  
           −参数运行文档的使用[用例] 5]C}044  
     w-f[h  
    {+D 6o  
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    VirtualLab Fusion技术 s?qRy 2  
    ""AP-7  
    文件信息 f P|rD[  
    fL3Px  
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    y"N7r1Pf  
     
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