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摘要 WBz PSnS2 Sb)} 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 B LZ<"npn Lo}/k}3Sx
 rO/Sj <0^ G2|G}# E 建模任务 8e`HXU(A 7s}F`fjKP dWhqu68_ 仿真干涉条纹 O\%0D.HEz v`6vc)>8 7 V YhRC- 走进VirtualLab Fusion sULsU t# yy3`E}vX7  Q yQ[ H cnG> EG VirtualLab Fusion中的工作流程 -`t9@1P>
= ,hT**(W •设置输入场 AOTtAV_e
−基本光源模型[教程视频] : 'jVA
•使用导入的数据自定义表面轮廓 C 8d9 (u
•定义元件的位置和方向 jpMMnEVj6P
− LPD II：位置和方向[教程视频]QQ1824712522 *Rc?rMF ! •正确设置通道以进行非序列追迹 f&$$*a −非序列追迹的通道设置[用例] @;S)j! m`
•使用参数运行检查影响/变化 {?3i^Q=V
−参数运行文档的使用[用例] 6&2{V?
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<9;X1XtpI  zMO xJ FL0yRF5 VirtualLab Fusion技术 . _.Q f<7 "
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