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    [转载]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

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    离线飞跃小河
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-04-26
    摘要 S e|h]+G  
    6kO+E5;X  
    扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 ,15$$3z/E  
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    建模任务 #M<u^$Jz  
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    仿真干涉条纹 *~^%s +b  
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    走进VirtualLab Fusion cd] X5)$h  
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    VirtualLab Fusion中的工作流程 gB0Q0d3\G,  
    g_)i)V  
    •设置输入场 syk,e4:oA  
           −基本光源模型[教程视频] uzL|yxt  
           •使用导入的数据自定义表面轮廓 \wV ?QH  
           •定义元件的位置和方向 GK&R.R]  
           − LPD II：位置和方向[教程视频]QQ1824712522     4"eeEs h  
    •正确设置通道以进行非序列追迹 EGj zjuJu{  
    −非序列追迹的通道设置[用例] %:y"o_X_  
           •使用参数运行检查影响/变化 A+VzpJ~  
           −参数运行文档的使用[用例] |sBL(9  
     ).jna`A,  
    BR tT 7  
    le2 v"Y  
    VirtualLab Fusion技术 <Ys7`e6eY  
    ZWx4/G  
    文件信息 yppXecFJ  
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