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摘要 ,aD~7QX1: 4Y I6& 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 =S uJ* {X2uFw Gi
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Q:P 建模任务 7Y-Q, ?1 RhmkpboucC w2V:x[ 仿真干涉条纹 [O'aka
Q t5_76'@cX fQ"Vx! 走进VirtualLab Fusion = jh^mD&' suIYfjh  : O@(Sv 8+7*> FD)1 VirtualLab Fusion中的工作流程 p<h( 7)1%Z{Dy •设置输入场 &hI!0DixX
−基本光源模型[教程视频] _t;^\"\
•使用导入的数据自定义表面轮廓 :-U& _%#w
•定义元件的位置和方向 #@w/S:KbJt
− LPD II：位置和方向[教程视频]QQ1824712522 qhG2j; •正确设置通道以进行非序列追迹 (pM& eow} −非序列追迹的通道设置[用例] O(-6Zqk8Q
•使用参数运行检查影响/变化 b@=H$"
−参数运行文档的使用[用例] z79oj\&[
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u\iKdL VirtualLab Fusion技术 E_$nsM8? k:iy()n[ 文件信息 |H, WFw1%} zsd<0^
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