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    [转载]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

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    离线飞跃小河
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-04-26
    摘要 uZiY<(X  
    J PzQBc5e  
    扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 !qw=I(  
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    建模任务 Uh|__DUkh  
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    仿真干涉条纹 Vg,>7?]6h  
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    走进VirtualLab Fusion q[|`&6B  
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    VirtualLab Fusion中的工作流程 % 6hw  
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    •设置输入场 ME10dr  
           −基本光源模型[教程视频] ox=7N{+`J  
           •使用导入的数据自定义表面轮廓 e9_O/iN  
           •定义元件的位置和方向 k]/6/s\  
           − LPD II：位置和方向[教程视频]QQ1824712522     ;`PkmAg  
    •正确设置通道以进行非序列追迹 \Af|$9boHz  
    −非序列追迹的通道设置[用例] %Rsf6rJ  
           •使用参数运行检查影响/变化 cV_IG}LJ  
           −参数运行文档的使用[用例] dK;\`>8  
     ]z q_gV8k  
    -^jLU FC  
    Mm7n?kb6  
    VirtualLab Fusion技术 cD`O+WA2K  
    *JC{G^|Y  
    文件信息 !>2\OSp!  
    c'#J{3d  
    ^'I5]cRa  
    ;{q) |GRF  
     
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