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摘要 Zmw'.hL LRW7_XYz 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 `ySLic` O+A/thI%*S
.e%PK[o m!L&_Z|j 建模任务 T},Nqt< ~]a:9Ev* h lD0^8S 仿真干涉条纹 48nZ
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VirtualLab Fusion中的工作流程 &$ZJfHD@ 9ar+P h@* •设置输入场 }a6tG −基本光源模型[教程视频] i7v> 9p7 •使用导入的数据自定义表面轮廓 #?-2f{ •定义元件的位置和方向 |pqc(B u − LPD II:位置和方向[教程视频]QQ1824712522 *}DCxv •正确设置通道以进行非序列追迹 %/NB263Db −非序列追迹的通道设置[用例] fw Ooi'jb •使用参数运行检查影响/变化 g0NtM%
−参数运行文档的使用[用例] Ugzq;}V# EUevR/S LK5,GWF; ~'k.'O{ VirtualLab Fusion技术 -}Vnr\f kBg,U 8|S 文件信息 YMx]i,u'+ ~{lSc/SP| IIcG+zwx
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