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摘要 V(6ovJpA0 [^E{Yz=8, 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 |+(Hia,X >>HC|
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h 建模任务 LuW^Ga"E l>:\%
ol "?TKz:9r 仿真干涉条纹 : yC|Q) 07tSXl5! W8{zV_TBm 走进VirtualLab Fusion )MJ y /A~+32 B  S k& l8" ? 3+>% bO VirtualLab Fusion中的工作流程 fE/|U|5L[ eMV@er| •设置输入场 @&M$oI$4*
−基本光源模型[教程视频] >n^[-SWJCT
•使用导入的数据自定义表面轮廓 $y&1.caMa
•定义元件的位置和方向 -$m?ShDd
− LPD II：位置和方向[教程视频]QQ1824712522 hz _F^gF •正确设置通道以进行非序列追迹 N: Z f4 −非序列追迹的通道设置[用例] 5uufpvah
•使用参数运行检查影响/变化 v\?J$Hdd
−参数运行文档的使用[用例] ; 0`p"T0
L=WB'*N  <E.$4/T Pb-Ft = VirtualLab Fusion技术 LQrm/)4bF5 '+{dr\nJ 文件信息 << [ hZ$. <"XDIvpc%L /i)1BaF
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