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摘要 my=*zziN dV$3u"9 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 }t}38%1 i \8
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 x ru(Le}E _J +]SNk 建模任务 'wegipK~R uFMs ^^# Q1 K"% 仿真干涉条纹 D1"1MUSod a\.//? 'et(:}i 走进VirtualLab Fusion l85O-g}M $Gr4sh!cE  IQ o]9Lx Cq
TH!'N VirtualLab Fusion中的工作流程 ;&/sj-xJ2 YAX #O\, •设置输入场 ngtuYASc
−基本光源模型[教程视频] lF)0aDk'h
•使用导入的数据自定义表面轮廓 N=hSqw[
•定义元件的位置和方向 ;|2U f
− LPD II：位置和方向[教程视频]QQ1824712522 ;D6x=v=2 •正确设置通道以进行非序列追迹 $z~jnc −非序列追迹的通道设置[用例] cq- e
c7
•使用参数运行检查影响/变化 F %w\D9+P
−参数运行文档的使用[用例] Rc;1Sm9\
%?U"[F1  9)8*FahW "4J?JR VirtualLab Fusion技术 1x^W'n,HtK 4da ^d9ZOy 文件信息 |p'_k(z } `[w }hFl~q o}5'v^"6 ,
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