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摘要 0%;146.p 7CB#Y P?E 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 s 2v(=
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 &(xUhX T m$$?icA 建模任务 0D(cXzQP ".~ {:= C6& ( c 仿真干涉条纹 xkA2g[ O:.,+,BH WO,xMfK 走进VirtualLab Fusion y02 u?wJ .%0ne:5  $rG< uO w9#R' VirtualLab Fusion中的工作流程 } IlP: Z# Lx_*p]Q •设置输入场 J%dJ w}
−基本光源模型[教程视频] q? ~Rnv
•使用导入的数据自定义表面轮廓 R.1Xst &i
•定义元件的位置和方向 f3
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− LPD II：位置和方向[教程视频]QQ1824712522 <kD#SV %" •正确设置通道以进行非序列追迹 }G1&]Wt_ −非序列追迹的通道设置[用例] 77 :'I
•使用参数运行检查影响/变化 Y&'8V dW
−参数运行文档的使用[用例] Ws49ImCB
DPJh5 d  a]VGUW- I vW@o1Q VirtualLab Fusion技术 CJq c \I~ :LV.G0)# 文件信息 F$hZRZ <4D%v"zRP @%@zH% b
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