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摘要 y,KZp2 j @m:'
L7+ 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 ?$<~cD" Sw < 0S\P=\
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, eYjF"Aq 建模任务 :x3DuQP 1GLb^:~A kf~>%tES] 仿真干涉条纹 /J c^XWf $gk=~p| @^-f +o 走进VirtualLab Fusion )liNjY@ IsFL"Vx  i1b3>H*3 4
BNbS|?vV VirtualLab Fusion中的工作流程 4IM&#_6
:,/
\E •设置输入场 sv "GX< +
−基本光源模型[教程视频] 3z#fFP@E
•使用导入的数据自定义表面轮廓 JE$ $6X
•定义元件的位置和方向 o@} qPvt0
− LPD II：位置和方向[教程视频]QQ1824712522 +_f813$C •正确设置通道以进行非序列追迹 bOV]!) o −非序列追迹的通道设置[用例] G "vEtNoV
•使用参数运行检查影响/变化 qe0Z M-C_
−参数运行文档的使用[用例] }y*rO(cu7G
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9zEne4 ?4Zo0DiUB VirtualLab Fusion技术 A/j'{X!z
WS@8Z0@ RD 文件信息 ry* 9 &,]yqG 2 (51;cj>J
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