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    [转载]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

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    离线飞跃小河
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-04-26
    摘要 9~DoF]TM  
    iKa}@U  
    扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 m& DDz+g  
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    建模任务 9}Tf9>qP>M  
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    仿真干涉条纹 Xi_>hL+R(  
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    走进VirtualLab Fusion '|<+QAc  
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    VirtualLab Fusion中的工作流程 Zgo^M,g  
    SC`.VCfc.  
    •设置输入场 Dg/&m*Yl  
           −基本光源模型[教程视频] .e5GJAW~9  
           •使用导入的数据自定义表面轮廓 X~Uvh8O  
           •定义元件的位置和方向 _/ZIDIn  
           − LPD II：位置和方向[教程视频]QQ1824712522     |Sy |E  
    •正确设置通道以进行非序列追迹 '5KgRK"  
    −非序列追迹的通道设置[用例] k/O|ia 6  
           •使用参数运行检查影响/变化 LpJ\OI*v  
           −参数运行文档的使用[用例] 3@?#4]D{'  
     X3I\O,"I  
    D{h1"q  
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    VirtualLab Fusion技术 )H#Hs<)Qy  
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    文件信息 H=z@!rJc.  
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    8HdmG{7.  
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