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摘要 ?2.<y_1 |n* I}w^ 斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备,它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。 iUSs) []H> Z/a]oR@
rsiG]o=8 YMm Fpy 建模任务 9/Q5(P ];(w8l !&! sn"yD ;l~gA |A 倾斜平面下的观测条纹 q
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$'kIo*cZ {AQ3y,sh 圆柱面下的观测条纹 [t ?ftS YZ'gd10T NlWIb2, BcA:M\dK% 球面下的观测条纹 ~0ZP%1.B3 &{l?j>|TM 4.R
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