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摘要 =sXk,I; B?XqH_=0L 斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备,它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。 %tz foiJ%P m!<uY?,hf
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倾斜平面下的观测条纹 gDsb~>rb| cr{f*U6`
"IdN *K 9<!Ie^o? 圆柱面下的观测条纹 i\P)P! 4q^'MZm1 /`B:F5r LT '2446 球面下的观测条纹 ,
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