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摘要 ,Q /nS$ ;KZtW 斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备,它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。 kvgs $ l
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H.np |^k1hX2?W VirtualLab Fusion 技术 BSu)O~s HFx"fT
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