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摘要 >~;MQDU5*Y %i7bkdcwk 斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备,它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。 #=tWjInm x%acWeV5 *z2G(Uac E0;KTcZi 建模任务 ogcEv>0 `$IuN* M;BDo(1 &WSxg&YG)\ 倾斜平面下的观测条纹 (dOC ^i #WBlEVx;Z jv:!vi: '@Zau\xC 圆柱面下的观测条纹 k4|9'V&1*6 Yx- 2ux RC_w 1:h 111s% 球面下的观测条纹 k7rFbrLZ ^CIO,I ~9& |