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摘要 a B$x(8pP@ ;fW`#aE
,ZI#p6 l{I.l 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 T mK[^ Wr3z%1 建模任务 d>gQgQ;g CJjT-(a
~9y/MR HTLS$o;Q 由于组件倾斜引起的干涉条纹 >*MGF=.QG YEa<zhO8
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AY(ro9Q( *(s0X[- 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 }<qZXb1 ,|g&v/WlC%
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