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摘要 6<&~R3dQ '%$Vmf)=
dX(JV' 18A 1?@HOu 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 O&!R7T ZmK=8iN9J 建模任务 J[/WBVFDf xAmtm"
8SRR)O[)} O'4G'H) 由于组件倾斜引起的干涉条纹 f*k7 @[rSv 5xH=w:
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