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摘要 p1X
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IybMO5Mwn tYmWze.j 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 O- r"G 3~Ipcr
B 建模任务 }>)"!p;t_ ;O{AYF?,N
nM}X1^PiK" #kma)_X 由于组件倾斜引起的干涉条纹 f}XUxIQ-< LZ\}Kgi(!T
#a}fI . 1?AU6\ 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 M-|4cd]6 'lIT7MK
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