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摘要 n_{az{~ `$9sYv 2R
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~<me0F FEO/RMh 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 G3o `\4p mb>8=hMg 建模任务 $x*(D|\'< hCb2<_3CR
af'gk&% JRR,ooN*i 由于组件倾斜引起的干涉条纹 :6qt[(<" 4-?zW
\<HY'[gr 6~-,.{Y 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 #}lWM%9Dy h0?w V5H
4"pU\g -%dBZW\u2 文件信息 d"tR?j YrsE
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