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摘要 UR?biq bca4'`3\|
o|(Ivt7jk xs,,)jF(u 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 f$1&)1W[ NH9"89]E 建模任务 g?B4b7II O{^8dwg
Rtpk_ND! Gk:tT1 由于组件倾斜引起的干涉条纹 2(I S*idq {z#!3a
O]_a$U*6 #No3}O;"g 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 fk&>2[^& g'cLc5\
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