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摘要 Q
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Tt<Ry'Z$3 9U^jsb<St> 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 CQ9B;i` UF3WpA 建模任务 $d'GCzYvZ T]Pp\6ff
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8Rj HI*xk 由于组件倾斜引起的干涉条纹 XOAZ KFvNsqd
xQT`sK+ TU&gj1 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 T}jryN;J5 615, P/
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