摘要
Qi}LV"&L {+EPE2X=C 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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#(H_w4 D^~gq`/) 建模任务
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7AiCQWf9 光栅特性与参数的严格分析
pSP_cYa#(# K6U>Qums 不同光栅周期下的衍射效率
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D^{:UbN SMFW]I2T/ 关于光栅周期选择的考虑
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75HL a*hThr+$M 偏振相关的衍射特性
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Q(6(Scp{ t["Df;"O 通过参数优化进行光栅设计
j1<1D@UO m=}X$QF`^ 固定周期的2D参数优化
\sd"iMEi q@9i3*q;
`[CJtd2\ 2D参数优化–设计1
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!J~: HH?*"cKF~ 2D参数优化–设计2
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[R> ntV>m*^ 制造
公差分析–设计2
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l`&6W?C J36@Pf]h 变化光栅周期的3D参数优化
F* }Q^% >EtP^Lu~f_
hhAC@EGG 2hJ3m+N^ 制造公差分析
Nh9!lB m*] (dF;Gcw+
g{hA,-3 !^fR8Tp9 走进VirtualLab Fusion
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:# D~Ohw sL4
acY[?L_6J B5HdC%8/} VirtualLab Fusion中的工作流程
!h>$bm "n }fEVJ,
~^~RltY K=TW}ZO •构造光栅
结构 hX%v`8 −
通过使用界面来配置光栅结构 ddDJXk)!0 [用例]
@ ^cgq3H' •分析光栅衍射效率
o%PoSZZ −
光栅级次分析器[用例]
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]c •使用参数运行搜索初始解决方案
w s>Iyw.u −
参数运行文档的使用[用例]
J 7;n;Mx •通过参数优化找到最终设计
/%9p9$kFot ptyDv VirtualLab Fusion技术
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