摘要
,d)!&y 6AqHzeh 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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c,8) LkMhS0?(T
]p(+m_F !EF~I8d\] 建模任务
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/tc*jXB 光栅特性与参数的严格分析
F)j-D(c4 mC
n,I 不同光栅周期下的衍射效率
UA>~xJp= dc5w_98o
*GbC`X) {#:js 关于光栅周期选择的考虑
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#R"9(Q& O;ZU{VY 偏振相关的衍射特性
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7_.z3Km: Fo3[KW)8I
}Ga@bY6 %O%+TR7Z 通过参数优化进行光栅设计
lu`\6 I$\dT1m$ 固定周期的2D参数优化
m 8rKH\FD} D5\$xdlJy
]N NLr;p 2D参数优化–设计1
mwZesSxB_ S6h=}
V)
v{i'o4 nj!)\U 2D参数优化–设计2
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Id
*Gs>4U Oq(_I
b)9 制造
公差分析–设计2
}$hxD9z pNcNU[c
eQx9Vnb "L1cHP~d 变化光栅周期的3D参数优化
`mQY%p| +&jWM-T"-
_K)B <P3r+ 1|R 制造公差分析
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$j 走进VirtualLab Fusion
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(W+Y+up
+h pXMO%? =%znY`0b56 VirtualLab Fusion中的工作流程
Kf76./ {q~Bss{z
p.n]y=o.) r) T^ Td1 •构造光栅
结构 _b<Fz`V −
通过使用界面来配置光栅结构 hqnJ@N$yY [用例]
;9q3FuR •分析光栅衍射效率
a_^3:}i~D −
光栅级次分析器[用例]
}9R45h}{< •使用参数运行搜索初始解决方案
F
71 −
参数运行文档的使用[用例]
@CP"AYB # •通过参数优化找到最终设计
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V`TXn[7 GD}3r:wDs 文件信息
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