摘要
I%.jc2kK "Yc^Nc 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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nEeQL~: YqK+F=0 建模任务
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d;*OO xQV 光栅特性与参数的严格分析
'2Mjz6mBDA 8ItCfbqa6 不同光栅周期下的衍射效率
QE`:jxyad F}VS)
2^k^"<h5j Q>06dO~z8 关于光栅周期选择的考虑
>llwNT S|O%h}AH;
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偏振相关的衍射特性
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J, (U<%n 2Mv)0%,c
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}+QhW]nO{F 5 O{Ip- 通过参数优化进行光栅设计
5Tcl<Y6l f0N)N}y 固定周期的2D参数优化
Dn{19V.L [E..VesrM
a{%52B" 2D参数优化–设计1
uHujw.H/y
8E.5k@
H *z0xxa ,/[dmoe 2D参数优化–设计2
=%#$HQ= s$+: F$Y0
5K_N ,~ia$vI}R 制造
公差分析–设计2
It!.*wp H*:r>Lm=
dmTW]P2 2+r )VF: 变化光栅周期的3D参数优化
B[U.CAUn cr=FMfhB
nw]e_sm !m/Dd0 制造公差分析
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]Pg?(lr6) NIXc ib"tG 走进VirtualLab Fusion
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#k|g9` fSQ3 :o VirtualLab Fusion中的工作流程
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K]{ ]-
VEdnP+D "< hx •构造光栅
结构 zdpLAr −
通过使用界面来配置光栅结构 l2KxZteXY0 [用例]
>-./kI " •分析光栅衍射效率
e>i8 =U`; −
光栅级次分析器[用例]
|Bf:pG! •使用参数运行搜索初始解决方案
3<.j`JB@& −
参数运行文档的使用[用例]
+ouy]b0`t •通过参数优化找到最终设计
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1 VirtualLab Fusion技术
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6w`}+3 $d"f/bRWy 文件信息
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