摘要
82~UI'f \ Lbq"( b 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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ZF51|b -fj;9('YJ 建模任务
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J@oGAa%3) 光栅特性与参数的严格分析
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+t/ 不同光栅周期下的衍射效率
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GuV-[ 1#^[{XlAx 关于光栅周期选择的考虑
}kT;UdIu; 1i_~ZzX8
q5BJsw NSOWn]E 偏振相关的衍射特性
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vPi\ vU{ go]d+lhFB 通过参数优化进行光栅设计
xii*"n ~ x-nwo:OA 固定周期的2D参数优化
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-v&Q'a 2D参数优化–设计1
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( {m["d 7Hf6$2Wh 2D参数优化–设计2
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公差分析–设计2
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KofjveOiC >%qGK-_ 变化光栅周期的3D参数优化
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$B}(5Da pP{b!1 制造公差分析
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ohwBv3S =WyAOgy} 走进VirtualLab Fusion
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j+_g37$: 2YuaPq/ VirtualLab Fusion中的工作流程
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ksu:RJ- /%=#*/E7 •构造光栅
结构 *%B%BJnX −
通过使用界面来配置光栅结构 9rn! U2 [用例]
m;KMr6sO •分析光栅衍射效率
;NRm , −
光栅级次分析器[用例]
{4}Sl^kn* •使用参数运行搜索初始解决方案
3`^]#Dh −
参数运行文档的使用[用例]
g\rujxHlH •通过参数优化找到最终设计
A"vI6ud> `"GD'Oa VirtualLab Fusion技术
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