摘要
LI<5;oE; ~=mM/@HD 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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)r 建模任务
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8u, 光栅特性与参数的严格分析
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\>I sEN@q 不同光栅周期下的衍射效率
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B,Brmn (F YJ^o 关于光栅周期选择的考虑
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[]0~9,u 偏振相关的衍射特性
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eBIR*TZ):
]:fCyIE 通过参数优化进行光栅设计
:Qo "'B%.a#k 固定周期的2D参数优化
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A_~5| 2D参数优化–设计1
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a[g|APZz ok2~B._+; 2D参数优化–设计2
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f94jMzH9z D])YP0|} 制造
公差分析–设计2
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O So.P @CCd
GPLt<K!<# ~"2@A
F 变化光栅周期的3D参数优化
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(<ZkmIXN r Ob"S* 制造公差分析
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*/y]!<\v!k M.N~fSJ 走进VirtualLab Fusion
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lN>C#e<] -Dxhq&
}Y VirtualLab Fusion中的工作流程
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IKzRM|/ ]j2v"n •构造光栅
结构 KI@ −
通过使用界面来配置光栅结构 "Lq|66 [用例]
)]c3bMVE- •分析光栅衍射效率
]_: TrH −
光栅级次分析器[用例]
_<RR` •使用参数运行搜索初始解决方案
!FO^:V<|5 −
参数运行文档的使用[用例]
2, "q_d'V •通过参数优化找到最终设计
=l2Dm q6JW@GT VirtualLab Fusion技术
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