摘要
EIl _QV6 \Z^K=K(| 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
S<Q6b_D l\5}\9yS
nTjQ4y (jCE&'?} 建模任务
M`umfw T =,I,K=+_x
s&vOwPmV 光栅特性与参数的严格分析
~K^Z4 tkWWR%c" 不同光栅周期下的衍射效率
Y3[< 7,|-%!p[
MC3XGnT#5 !.iA^D//] 关于光栅周期选择的考虑
mxjY-Kq (~{7 e/)r
E/_=0t SsafRK$ 偏振相关的衍射特性
p`{9kH1m e kaUH#;c>_
THK)G2
= FFH-Kw,
}?>30+42: e)\s0#
4MRHz{`wa %Q}#x 通过参数优化进行光栅设计
g}' "&Y 2N(c&Dzkh` 固定周期的2D参数优化
>'Nrvy%&0 a&ZH
xgJ2W_ 2D参数优化–设计1
p=9G)VO Old5E&
L<QqQ"` LtH;#Q 2D参数优化–设计2
34]f[jJ| [F+lVb
G?=X!up( 'fcJ]%-= 制造
公差分析–设计2
|!I# T `EU=u_N
S! ,.#e (Y \8Fe56 变化光栅周期的3D参数优化
ctdV4%^{ jbC7U9t7
-YHlVz 6E@r9U 制造公差分析
z7{b>oub(' b)$<aFl
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kHX- AsRc 走进VirtualLab Fusion
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ggPI b V;R}3) VirtualLab Fusion中的工作流程
XkuNLs4 ;2)@NH
$C(} 6/s#'#jh •构造光栅
结构 ![U|2x −
通过使用界面来配置光栅结构 N\HOo-X [用例]
vlm&)DIt •分析光栅衍射效率
k=w%oqpN −
光栅级次分析器[用例]
O)`R)MQ) •使用参数运行搜索初始解决方案
6BLw 4m=h −
参数运行文档的使用[用例]
'`\\O:@C` •通过参数优化找到最终设计
`dn|nI2 J L`n12$m VirtualLab Fusion技术
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