摘要
|./:A5_h NcbW"Qv3 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
X:t?'41m\ C_3,|Zq?|
Qu#[PDhb mm_)=Ipj> 建模任务
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F&`%L#s| 光栅特性与参数的严格分析
j#3IF *" - 5v{p 不同光栅周期下的衍射效率
Wlg 1t~1= }#tbK 2[
xjD$i'V+ '=G6$O2 关于光栅周期选择的考虑
j0"4X ^PC;fn,I
x
[vbi kXdXyq 偏振相关的衍射特性
o5RvxGN 43g1/,klm
I]+OYWp e{5O>RO
?*UWg[ qOmL\'8
w^cQL% <8~c7kT' 通过参数优化进行光栅设计
]w,|WZm oNYFbZw 固定周期的2D参数优化
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P_H2[d&/>D 2D参数优化–设计1
'b" 7Lzp2 ts@w 9|
Ve9)?=! ]):>9q$C 2D参数优化–设计2
[OPF3W3z Ya~Th)'>q
OZz/ip-!lc GB Vqc!d 制造
公差分析–设计2
:3s^, g Ik,N/[
R4 b!?}d Migl 变化光栅周期的3D参数优化
j"Ew)6j x8c>2w;6x^
[uJS.`b Wcm'E3c, 制造公差分析
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;P}007; }Q9+krrow 走进VirtualLab Fusion
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`O VirtualLab Fusion中的工作流程
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UHk)!P> *q\>DE=7 •构造光栅
结构 s`G}MU −
通过使用界面来配置光栅结构 RkTYvAk|kY [用例]
.F%jbnKd_ •分析光栅衍射效率
OXl0R{4 −
光栅级次分析器[用例]
X>pCkGE •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
SY:ISzB} •通过参数优化找到最终设计
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