摘要
k_?OEkgUh /FPO'} 6i 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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xy&*s\=: {o*$|4q4 建模任务
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e8(Qx3T?b 光栅特性与参数的严格分析
D88IU9V&n i=P}i8,^= 不同光栅周期下的衍射效率
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f;,*P,K pSYEC,0B 关于光栅周期选择的考虑
9}fez)m:g0 Q4]Od{[
Hm|N{ @"^7ASd% 偏振相关的衍射特性
Y;g\ @j S-7 C'dc
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-'*<;]P+. {9XNh[NbP 通过参数优化进行光栅设计
-2 8bJ, jPx}-_jM 固定周期的2D参数优化
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gMPp'^g]_ 2D参数优化–设计1
|*-<G3@ m"'`$ /_
#<u;.'R 88?O4)c 2D参数优化–设计2
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-g|ji. "{t]~urLd 制造
公差分析–设计2
yg~@}_C2_ M,bs`amz
$P%cdJ T0 E'SDT*EI 变化光栅周期的3D参数优化
WNQ<XBqAw gA@Zx%0j
G\V*j$}! 'ShK7j$ 制造公差分析
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uaU2D-ft" 8gt&*;'}*D 走进VirtualLab Fusion
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?,v5 |')PQ VirtualLab Fusion中的工作流程
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t X:g#&e_
zZ<* ae]6F_Qtc* •构造光栅
结构 4udj"-V −
通过使用界面来配置光栅结构 ?.H]Y&XF [用例]
0'YP9-C3 •分析光栅衍射效率
^M;#x$Y? −
光栅级次分析器[用例]
UF*R1{ •使用参数运行搜索初始解决方案
3T4HX|rC −
参数运行文档的使用[用例]
9
Qa_3+.B •通过参数优化找到最终设计
hCd? Kti 4i^WE;|s VirtualLab Fusion技术
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