摘要
"}Ch2K U{RW=sYB~9 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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q*Yh_IT.I $91c9z;f^ 建模任务
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4s^5t6 光栅特性与参数的严格分析
*Z KI02M Eg 5|XV 不同光栅周期下的衍射效率
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%(Nu"3|$K= `&4L'1eF{ 关于光栅周期选择的考虑
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Y;p _ff j =r`[Bm 偏振相关的衍射特性
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PSI5$Vna4p rC14X} X6 通过参数优化进行光栅设计
gV):3mWC Nlx7"_R"Q 固定周期的2D参数优化
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D*o_IrG_( 2D参数优化–设计1
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}BKEz[G( }\:3}'S.$ 2D参数优化–设计2
II3)Cz}xRG =zDU!< U
\-0@9E<D 6B)(kPW 制造
公差分析–设计2
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P(_D%0xKm ^o_2=91 变化光栅周期的3D参数优化
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x9Y1v1!5Pu ,aeQXI#@ 制造公差分析
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~ %I9{)'+@x 走进VirtualLab Fusion
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[mn@/qf vp?87h VirtualLab Fusion中的工作流程
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NeAkJG=< _G|hKk^, •构造光栅
结构 Yz=(zj −
通过使用界面来配置光栅结构 %'a%ynFs [用例]
8W#/=Xh? •分析光栅衍射效率
CL.JalR`b −
光栅级次分析器[用例]
mEfI2P)#| •使用参数运行搜索初始解决方案
lqn7$ −
参数运行文档的使用[用例]
{YC!pDG •通过参数优化找到最终设计
k"&loh $}_N379& VirtualLab Fusion技术
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U`N|pPe:w (+68s9XS7 文件信息
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