摘要
;+C$EJw- 7~J>Ga 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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(z8ZCyq7r[ KWDH
35 建模任务
P !f{U;B rD21:1s
d#+Nef5 光栅特性与参数的严格分析
oU,8?(}'~ 7:F0?l* 不同光栅周期下的衍射效率
NV?x<LNWd cvy
5|;-u
:vIJ>6lIR ma-GvWD2 关于光栅周期选择的考虑
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@7"n X -q9m@!L 偏振相关的衍射特性
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7]Qxt%7/> 5JaLE5-
h-"q <eY" ':}9>B3 S
h-Y>>l>PW0 ,<+:xl 通过参数优化进行光栅设计
uQbag]&j |APOTQV 固定周期的2D参数优化
v&G9HiH zmZU"eWp)
CvRCcSJM\2 2D参数优化–设计1
I 2AQ
G 5"40{3
du}HTrsC Has}oe[ 2D参数优化–设计2
^W=hs9a+F 7;@YR
IAkQR0fcN
TDfloDxA 制造
公差分析–设计2
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-)<nox Uu+ibVM$
R`$jF\"`r B>'J5bZsw 变化光栅周期的3D参数优化
x])j]k X ]&`"Z]
E`HA0/ $#/8l58 制造公差分析
2vB,{/GXP XFs7kTY
dk1q9Tx 65@GXn[W_ 走进VirtualLab Fusion
Pl|I{l*o(` `lm '_~=`&
E)Qg^DHP/ SkipPEhA VirtualLab Fusion中的工作流程
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:#sBNy
NE`;=26c Vm@VhCsp •构造光栅
结构 M7Z&t'= −
通过使用界面来配置光栅结构 S9[Up}` [用例]
E{-pkqx •分析光栅衍射效率
NI:OL
−
光栅级次分析器[用例]
bg9_$laDi •使用参数运行搜索初始解决方案
wrCV&2CG −
参数运行文档的使用[用例]
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3| Lk7Q •通过参数优化找到最终设计
/^{Q(R(X< b;;y|H VirtualLab Fusion技术
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n|=yw6aV' *WzPxQ_ 文件信息
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Parametric Optimization and Tolerance Analysis of Slanted Gratings S)2 U oj T8T,G4Q (来源:讯技光电)