摘要
M:h~;+s Rxld$@~-(] 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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4f~hd-z 1tG,V%iCp 建模任务
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Nzz" w_# 光栅特性与参数的严格分析
Bsw5A7,- ~DcX}VCm 不同光栅周期下的衍射效率
$@q)IK%FDL 39?iX'*p
}Tn]cL{]C 72} MspzUt 关于光栅周期选择的考虑
CDei+ q [Fe`}F}Co8
d;|Pp;dc KcP86H52I 偏振相关的衍射特性
z (r Q6 =kohQ d.n
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t)XNS!6#]? NvXds;EC
zzy%dc ro7\}O:I 通过参数优化进行光栅设计
{$ 4fRxj 9>d$a2nc 固定周期的2D参数优化
e4Ol:V Ph2jj,K
[2.uwn]i 2D参数优化–设计1
)Z0pU\ n_sCZ6uXEQ
^3IO.`| fLAOA9 2D参数优化–设计2
( du<0J|PT z+&mMP`-
$d%m%SZxv fb4/LVg'J 制造
公差分析–设计2
FSd842O V[Fzh\2n
W"YFx*W Z ) qc-~S 变化光栅周期的3D参数优化
z#GZvB/z) Uaj8}7v
i1ur>4Ns T?:Vw laE 制造公差分析
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Xa\{WM==; {LVii}< 走进VirtualLab Fusion
8v\BW^z3 1XUsr;Wz
Y~hBVz2g G+[hE|L~y VirtualLab Fusion中的工作流程
K/KZ}PI-O _n@#Lufx
3iJ4VL7 L|EvI.f •构造光栅
结构 ]re1$W#* −
通过使用界面来配置光栅结构 _dVzvk`_R [用例]
E$=!l{Ms •分析光栅衍射效率
w4<1*u@${ −
光栅级次分析器[用例]
fB|rW~!v •使用参数运行搜索初始解决方案
{<o_6 z`$ −
参数运行文档的使用[用例]
3|8\,fO? •通过参数优化找到最终设计
^C^FxIA& T?{"T/ VirtualLab Fusion技术
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