摘要
.<JD'%?" TbyQ'MbUv 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
]p3hq1u3& cy=,Dr9O
_2{i}L zRyZrt,%& 建模任务
2YvhzL[um #5HJW[9
iN%\wkx*N 光栅特性与参数的严格分析
V^Wo%e7#u[ 1G/bqIMg63 不同光栅周期下的衍射效率
Qxj &IX EgIFi{q=0
@]lKQZ^2& FY"!%)TV 关于光栅周期选择的考虑
b;\qF&T >O[# 661
<Q)6N!Tp^ kQlXcR 偏振相关的衍射特性
U+sAEN_e k W2h^ShG
*,1^{mb k^gnOU ;
yBO88rfh> r-]Au -
Pz3jc|Ga \XwXs5"G 通过参数优化进行光栅设计
*ie#9jA G`E%uyjG$j 固定周期的2D参数优化
N3E Qq~lX mJb>)bOl
%w7J0p 2D参数优化–设计1
!]qwRB$5 ]t_AXKd
vvw6 GB,M ewB&PR 2D参数优化–设计2
*{:FPmDU y6Xfddd61
ZQND^a: 1fwCQM 制造
公差分析–设计2
QFIdp R. c_a*{L|c
bnLvJ]i) S*rgYe!E 变化光栅周期的3D参数优化
4lC:svF UzFd@W u#
[La=z7* FX )g\=ov 制造公差分析
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oz%ZEi\bW YcE:KRy 走进VirtualLab Fusion
csT_!sII 5~4I.+~8
Z 2Fm=88 X<ZIeZBn VirtualLab Fusion中的工作流程
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rP,i,1Ar 4 qQ%zSJ? •构造光栅
结构 L<]j& −
通过使用界面来配置光栅结构 i{PRjkR [用例]
/ow/)\/} •分析光栅衍射效率
F6Z l#eL −
光栅级次分析器[用例]
V|
z|H$- •使用参数运行搜索初始解决方案
g"]%5Ow1 −
参数运行文档的使用[用例]
F>2t=r*9 •通过参数优化找到最终设计
K$(&Qx} <=n$oMO VirtualLab Fusion技术
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hFuS>Hx ~}w(YQy=y 文件信息
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