摘要
l2;$qNAo faOiNR7;h 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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a{n1hk 建模任务
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$'l<2h>4 光栅特性与参数的严格分析
B-g-T>8 @95p [ 不同光栅周期下的衍射效率
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> =w`Mc\o " 关于光栅周期选择的考虑
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rhLhFN{h L4^/O29 偏振相关的衍射特性
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2XL^A[? Sm[#L`eqW 通过参数优化进行光栅设计
Q"s6HZ"YI Ak3^en 固定周期的2D参数优化
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t>quY$}4 2D参数优化–设计1
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g@x72$j y~*B%KnEQy 2D参数优化–设计2
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!.%*Tp#k# Zz (qc5o,F 制造
公差分析–设计2
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?#c "wA& POm;lM$ 变化光栅周期的3D参数优化
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EO(l?Fgw]$ }+lK'6 制造公差分析
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k6DJ(.n'%a O.#Rr/+) 走进VirtualLab Fusion
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qPi $kecx &OFVqm^ VirtualLab Fusion中的工作流程
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L}$ •构造光栅
结构 tag)IWAiE −
通过使用界面来配置光栅结构 _`C|K>: [用例]
fWJOP sp*/ •分析光栅衍射效率
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光栅级次分析器[用例]
)s7 EhIP •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
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•通过参数优化找到最终设计
P{s1NorKDh (j:[<U VirtualLab Fusion技术
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