摘要
Yz\z
Qj URX>(Y}g9^ 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
)bw^!w) yhgHwES"
9IC"p<D Y
-o*d@ 建模任务
Aj SIM. @&mv4zz&W
H@,jNIh~h 光栅特性与参数的严格分析
B5zu?AG 6hAeLlU1 不同光栅周期下的衍射效率
c i_XcG HQ ^> ~
nWmc )MmMs"Um 关于光栅周期选择的考虑
p\b:uy6# jYO@ %bQ
s|%mGt &L =>4>Z_q 偏振相关的衍射特性
)Xl/|YD DJ[U^dWRn
.oN<c]iqE 9I+;waLlB
QYyF6ht=! =pN?h<dc
OT{qb!eYI 9)e`mO*n 通过参数优化进行光栅设计
LL#7oBJdM !gW$A-XD 固定周期的2D参数优化
DIkD6n?V :*)~nPVV
8/ZJkI 2D参数优化–设计1
VKS:d!}3E 5i83(>p3]e
-gv@
.# N AL&}WbUC 2D参数优化–设计2
,#`gwtFG #xm<|s
:hjeltt 3Ey#? 制造
公差分析–设计2
M!;H3* EYcvD^!1g
\aU^c24> q'hMf?_ 变化光栅周期的3D参数优化
Czid"Ih- !|}J{
JrOp-ug 0r_8/|N# 制造公差分析
7.hVbjy'- lk1c2
4(bV# Xi4!7IOmo 走进VirtualLab Fusion
](x4q %*oz~,i
`P)1RTVx n<"?+bz"< VirtualLab Fusion中的工作流程
J,4]du$ V7[Dvg:W
de[c3!#1d zVGjXuNa •构造光栅
结构 B[S.6"/H −
通过使用界面来配置光栅结构 -]+XTsL [用例]
[j
'Ogm7" •分析光栅衍射效率
\#m;L/D −
光栅级次分析器[用例]
gupB8 .! •使用参数运行搜索初始解决方案
jtS+y)2 −
参数运行文档的使用[用例]
" 5synfO •通过参数优化找到最终设计
UH%oGp$ykX NQ'^z VirtualLab Fusion技术
~SUA.YuF (X)$8y
,B5Ptf# O->i>d 文件信息
6IctW5b h<Yn0(. \Y
Cj/tG8
*O)_D
bj >|o-&dk 更多阅览
SL hki)| -
Ultra-Sparse Dielectric Nano-Wire Grid Polarizers p<Ah50!B -
Rigorous Analysis of Nanopillar Metasurface Building Block )gmDxD
^C -
Parametric Optimization and Tolerance Analysis of Slanted Gratings !6@xX08z v|?hc'Fj (来源:讯技光电)