摘要
p77=~s SPvKq=, 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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$ dKo} ,o0[^-b< 建模任务
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d7Z$/ $ 光栅特性与参数的严格分析
A>)W6|m| Y+EwBg)co 不同光栅周期下的衍射效率
_+Uf5,.5yU #?Ob->v
,0?3k \.F|c 关于光栅周期选择的考虑
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hy3?. @[5] ?8\o 偏振相关的衍射特性
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DRRy5+,I l 1BAW$ 通过参数优化进行光栅设计
#* 8^ar< HzZX=c 固定周期的2D参数优化
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JNI&]3[C>? 2D参数优化–设计1
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Mu_'C$zA 1Nz#,IdQ 2D参数优化–设计2
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rWp+kV[Ec> zbDK$g6 制造
公差分析–设计2
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y*lAmO ]/Cu,mX 变化光栅周期的3D参数优化
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GJBMaT %:Zp7O2UB' 制造公差分析
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ro^T L ?T>N vKF 走进VirtualLab Fusion
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~0 L:c&V VirtualLab Fusion中的工作流程
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]iaQD _'\ ;{"uG>#R •构造光栅
结构 wtfM}MW\ −
通过使用界面来配置光栅结构 4Gsq)i17j [用例]
?WrL<?r)}U •分析光栅衍射效率
[Ib17#74 −
光栅级次分析器[用例]
sV`XJ9e| •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
m8&XW2S •通过参数优化找到最终设计
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