摘要
npyAJp e)IpPTj# 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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A'K%WW*'U )VK }m9Ae 建模任务
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k@D0 {z 光栅特性与参数的严格分析
1s*.A6EP" p,<&zHb>K 不同光栅周期下的衍射效率
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Z,;cCxE Hiv!BV| 关于光栅周期选择的考虑
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6vTo*8D gx:;&4AD 偏振相关的衍射特性
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6C| $BDBN_p 通过参数优化进行光栅设计
n*'<uKpM %=<IGce 固定周期的2D参数优化
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asgF1?r 2D参数优化–设计1
tPyyZ#, zT* .jv
_uu<4c @l(vYJ:f 2D参数优化–设计2
rf9_eP h2;z4
rJ'I>Q~x6 )g@S%Yu 制造
公差分析–设计2
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p(m1O70C _0 snAt^iC 变化光栅周期的3D参数优化
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i_LF`JhEQT 9kY[j2,+ 制造公差分析
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g :Ze+%d= 走进VirtualLab Fusion
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td -3h,\\ 3Gr&p6 VirtualLab Fusion中的工作流程
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e {BId qJT0Y/l:( •构造光栅
结构 ]yX@'f −
通过使用界面来配置光栅结构 7/X"z=Q^| [用例]
W*xX{$NL •分析光栅衍射效率
m^\TUj −
光栅级次分析器[用例]
{- 63/z •使用参数运行搜索初始解决方案
PI?j_8 −
参数运行文档的使用[用例]
VAYb=4lt •通过参数优化找到最终设计
W)SjQp6 [ij,RE7,T VirtualLab Fusion技术
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