摘要
N)YoWA>#bF xQzXl 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
S`[r]msw d 4;
PE+{<[n uU8L 93 建模任务
u$1^= ${7s"IX
M3q7{w*bM 光栅特性与参数的严格分析
N*Xl0m(Q jx];=IC3tt 不同光栅周期下的衍射效率
*zDL5
9 -k3WY&9,
5R#:ALwX: {?uswbk. 关于光栅周期选择的考虑
3T@`VFbE pR~"p#Y
?D=%k8)Y au7@- _ 偏振相关的衍射特性
<Ow+LJWQK KRj3??b
`AELe_ wafws*b%
/C[XC7^4' Qkg([q4
a~`,zQ -@ t?_{ 通过参数优化进行光栅设计
5ZHO+@HiFH 8)&J oPN 固定周期的2D参数优化
%lN4"jtx M
cbiO)@I
6NzS < 2D参数优化–设计1
AKKVd%
P( -<q@0IYyi
@-}!o&G0 6)#%36rP 2D参数优化–设计2
_K|?;j#x0k ut9R]01:
qyYf&VC} 1s#GY<< 制造
公差分析–设计2
F#\+.inO ${, !L l7)
5?gZw;yiv% +P"u1q*+p 变化光栅周期的3D参数优化
DBzF\- 3a6
w'!J *uZ'MS 制造公差分析
%Wb$qpa $*dY f
F5f1j]c #.~lt8F 走进VirtualLab Fusion
O6r.q&U J~rjI24
U7Pn
$l2! |:d:uj/ VirtualLab Fusion中的工作流程
5%(xZ
6 dZjh@yGP.
G X>T~i\f8 u&ozc •构造光栅
结构 N`i`[ f −
通过使用界面来配置光栅结构 -` e`U%n [用例]
9IG3zM f •分析光栅衍射效率
E 5bo60z −
光栅级次分析器[用例]
3+#
"4O •使用参数运行搜索初始解决方案
lIL{*q( −
参数运行文档的使用[用例]
|m>n4-5QL •通过参数优化找到最终设计
{:d9q N&+DhKw VirtualLab Fusion技术
G,b1 u" ]$96#}7N
9]TvLh3 'l3K*lck 文件信息
(L6*#!Dt /w*;|4~Bf )VCRbz"[g
f Tc,"{ T@H2[ 7[; 更多阅览
(-rw]=Qu -
Ultra-Sparse Dielectric Nano-Wire Grid Polarizers vdN0YCXG -
Rigorous Analysis of Nanopillar Metasurface Building Block i#y3QCNqf^ -
Parametric Optimization and Tolerance Analysis of Slanted Gratings BHBMMjY5 )|zna{g\ (来源:讯技光电)