摘要
DOerSh_0W QC4T=E]`j 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
iW?9oe @;6}xO2
{K9E% ,w <yS"c5D6 建模任务
[!&k?.*;< z\tJ~
\Wc/kY3& 光栅特性与参数的严格分析
zcKC5vqb OQ7c|O 不同光栅周期下的衍射效率
uB1!*S1f ?i~/gjp
Y/0O9}hf Fw9``{4w 关于光栅周期选择的考虑
wP/9z(US W6O.E
ku;nVV @6q$Zg/ 偏振相关的衍射特性
FA9e(Ha !)3s <{k#
HiG/(<bs9O M:M>@|)
WdqK/s<jM C[nr>
#`4^zU) %-/:ps 通过参数优化进行光栅设计
xD#I&. f#kevf9zc 固定周期的2D参数优化
G=cH61 %GbPrlu
)[sO5X7'^ 2D参数优化–设计1
)_e"Nd4 T(UYlLe
[|n-x3h FRt/{(jro 2D参数优化–设计2
^3|$wB= 4sBoD=e
ff1B)e }8M`2HMFR 制造
公差分析–设计2
R%_H\-wo d4>-a^)V
|D`b7h ~_db<!a 变化光栅周期的3D参数优化
2Lekckgv G=!bM(]R~
wT~;tOw~ aE+$&_>ef 制造公差分析
bC>>^?U1m @\`G & VB
,35:Srf| gpK_0?% 走进VirtualLab Fusion
uAS8F=9xP tW.>D;8
y2"S\%7$h vDeG20.?Z VirtualLab Fusion中的工作流程
:.[5(' JJ9e{~0I
x";.gjI |g x]><}!\<& •构造光栅
结构 2<o[@w −
通过使用界面来配置光栅结构 |z|)r"*\4 [用例]
v#%>uLl •分析光栅衍射效率
8wpwJs&V −
光栅级次分析器[用例]
G'?f!fz; •使用参数运行搜索初始解决方案
Ed&,[rC −
参数运行文档的使用[用例]
XBWSO@M' •通过参数优化找到最终设计
ym*#ZE`B! zHoO?tGf VirtualLab Fusion技术
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