摘要
>xklt"*U, Fka1]|j9 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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7sCR!0 &~z+ R="= 建模任务
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<Sz>ZIISd 光栅特性与参数的严格分析
?a*fy}A| 6s> sj7 不同光栅周期下的衍射效率
z]'|nX #($k 3OA
>hHJ:5y +ZY2a7uI 关于光栅周期选择的考虑
L[`R8n1C '#;,oX~5
PWADbu{+ VFQq`!*i 偏振相关的衍射特性
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Gw{Gt]liq %@M00~-
n$XMsl.> 7}. #Z
nXx6L!H J# nF|#@O`1 通过参数优化进行光栅设计
sURUQ H QCZ,K"y 固定周期的2D参数优化
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geG,/-` UchALR^5
]#vvlM>/ 2D参数优化–设计1
hY\Eh. ]>]#zu$=c
$O;N/N:m 0X] ekq 2D参数优化–设计2
V+4k! EuR!yD
D#vn {^c8O jhjW*F<u 制造
公差分析–设计2
#u}v7{4 gb!@OZ c
gJ)h9e*m^ "1gk- 变化光栅周期的3D参数优化
d/ 'A\"o+ 0 .6X{kO
3{N p 9y. 6xDl=*&% 制造公差分析
sRo<4U0M;l rw}5nv
=]5DYRhX] SK2J`* 走进VirtualLab Fusion
~pX(w!^ }J'5EAp
1j${,>4tQ u8{@PlS VirtualLab Fusion中的工作流程
Mipm&5R tk3<sr"IQ
[9YlLL@ dw{#|| •构造光栅
结构 D@sx`H( −
通过使用界面来配置光栅结构 34++Rr [G [用例]
cpr{b8Xb8& •分析光栅衍射效率
n]6}yJJo −
光栅级次分析器[用例]
zd6Qw-D7x •使用参数运行搜索初始解决方案
1?e>x91 −
参数运行文档的使用[用例]
c'TiWZP~ •通过参数优化找到最终设计
%%-U. <'o 'H VirtualLab Fusion技术
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文件信息
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