摘要
Mb uD8B 3<CCC+47 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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5fA<I _ D ; Sq_DP1W 建模任务
J9zSBsp_ O| ) [j@7
TE3A(N' 光栅特性与参数的严格分析
ab: yH ') pMKnA.| 不同光栅周期下的衍射效率
bBn4m: SBgBZm}%
I!|_C~I` 2 S{zi8Oc6 关于光栅周期选择的考虑
aI{Ehbf= 6DD"Asi+
#Huvn4x {'NdN+_C 偏振相关的衍射特性
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Lo5itW '%vb&a!.6 通过参数优化进行光栅设计
{m.l{<H c,:xm=& 固定周期的2D参数优化
waz)jEk q;3.pRw(
p'M5]G 2D参数优化–设计1
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uQ=p }w
J=JYf_=4bc zxTcjC)y 2D参数优化–设计2
BqC!78Y/e Y?a*-"
,]+P#eXgE ~ODm?k 制造
公差分析–设计2
BT.;l I S='AA_jnw
L0H;y6& =UE/GTbl 变化光栅周期的3D参数优化
G1=GzAd$5 B"rnSui
8QDs4Bv| ~za=yZo7( 制造公差分析
`z=U-v'H)D XkLl (uyh
e[.c^Hw bi;?)7p&ZY 走进VirtualLab Fusion
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nE MB06=N VirtualLab Fusion中的工作流程
1D%3|_id^ |\;oFuCv##
(L} PeT _Ty •构造光栅
结构 WDQtj$e+ −
通过使用界面来配置光栅结构 5N<f\W, [用例]
a+sHW<QeS •分析光栅衍射效率
e=ZwhRP −
光栅级次分析器[用例]
5G"LuA •使用参数运行搜索初始解决方案
S<HR6Xw −
参数运行文档的使用[用例]
Z]kk.@P •通过参数优化找到最终设计
+y'V Y7(E<1Yx VirtualLab Fusion技术
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booth}M 8s(?zK\ 文件信息
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