摘要
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m$ +,H6)'#Z 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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JPeeRY Onqd2'%< 建模任务
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l|Z<pD 光栅特性与参数的严格分析
j0]|$p ^-|yF2>` 不同光栅周期下的衍射效率
v)VhR2d3 UojHlTg#bT
=D"H0w <zw 4NN81~v 4 关于光栅周期选择的考虑
2^TJ_xG~ [:MpOl-KIz
`"#0\Wh Bp.z6x4 偏振相关的衍射特性
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?d?
cD 通过参数优化进行光栅设计
|iJ+e -_R _s&sA2r< 固定周期的2D参数优化
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'B$bGQ 2D参数优化–设计1
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qZ8V/ )t/[z3rn 2D参数优化–设计2
ZYBK'&J4m 2qY+-yOEt
z3lMD'uU3 "E><:_,\ 制造
公差分析–设计2
)%}?p2. jgb>:]:
?_NhR GsG9;6c+u 变化光栅周期的3D参数优化
z+J4XpX0, z
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OSvv\3= 05+uBwH 制造公差分析
xzGs%01] n<x NE%
;zbF~5e
[P*w$Hn 走进VirtualLab Fusion
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s+ Z %mda=%Yn
(S@H'G" Dyx3N5?C VirtualLab Fusion中的工作流程
CDz-IQi ^<@9ph
wN])"bmB X5@rPGc •构造光栅
结构 <.d0GD`^ −
通过使用界面来配置光栅结构 oXR%A7 [用例]
,a I0Aw •分析光栅衍射效率
/FZ@Z]Q0G −
光栅级次分析器[用例]
e:BKdZGW •使用参数运行搜索初始解决方案
n{~Ws^d −
参数运行文档的使用[用例]
LZ@4,Uj •通过参数优化找到最终设计
U[S#axak GUe&WW:Sqk VirtualLab Fusion技术
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j}=$2|}8{ Q6cF<L`bW 更多阅览
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