摘要
[H[L};%=j xp? YM35 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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Qix 建模任务
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B[3u,<opFU 光栅特性与参数的严格分析
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o$(S 不同光栅周期下的衍射效率
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>4#:qIU D 0Mxl?S? 关于光栅周期选择的考虑
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5Gs>rq" # 7YxVtN 偏振相关的衍射特性
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BRy3D\} +%f6{&q$
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riL|B3 x6)qs- 通过参数优化进行光栅设计
d>?C?F "=w:LRw 固定周期的2D参数优化
,CI-IR2 t.+)g-X
$%^](- 2D参数优化–设计1
^mg:<_p HC=ZcK'W
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*;i]owV `Se2f0", 2D参数优化–设计2
U)xebU.!S ,]@K,|pC)
eR,/}g\ et/:vLl13 制造
公差分析–设计2
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8k3y"239t k33\;9@k 变化光栅周期的3D参数优化
gs3c1Qa3b |{Ex)hkw
2{.g7bO Yn[>Y) 制造公差分析
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B~E">}=! W+GC3W 走进VirtualLab Fusion
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z"T+J?V/ OPzudO VirtualLab Fusion中的工作流程
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4BUG\~eI3 }LCm_av •构造光栅
结构 !qp$Xtf+ −
通过使用界面来配置光栅结构 9tU"+ [用例]
:'B(DzUR •分析光栅衍射效率
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光栅级次分析器[用例]
_?:jZ1wZ •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
M 9-Q •通过参数优化找到最终设计
'iF%mnJ .CnZMw{' VirtualLab Fusion技术
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