摘要
A#nSK#wS61
e%^PVi 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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vue=K LT]YYn($ 建模任务
x{1S!A^ ?y,z
}ssL;q 光栅特性与参数的严格分析
S&MF; E6 Xe@:Aun 不同光栅周期下的衍射效率
oFp4*<\ q=;U(,Y
Em/? 4& 7&1dr 关于光栅周期选择的考虑
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/,JL \b UGQHwz 偏振相关的衍射特性
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7$7#z\VWu Og2G0sWRf
2@:Ztt6~ =|IY[2^ 通过参数优化进行光栅设计
hh<ryuZ ABU~V+'2 固定周期的2D参数优化
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`bjPOA(g 2D参数优化–设计1
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lj@ibA] d1u6*&@lf 2D参数优化–设计2
R&MetQ~-{ U\(T<WX,
(XQ:f|( 7t|011< 制造
公差分析–设计2
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lnt}l 7-4S'rq+ 变化光栅周期的3D参数优化
P@8S|#LpZ ;f9a0V s
m-HBoN 8P*wt'Q$ 制造公差分析
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=90)=Pxd z;Dc#SZnO( 走进VirtualLab Fusion
+/!y#&C&* zc5>)v LH=
UUqA^yJ 6}?5Oy_XF2 VirtualLab Fusion中的工作流程
+lw*/\7 (dAE
DQ%(X&k DcmRvi)&6 •构造光栅
结构 ~o8x3`CoF −
通过使用界面来配置光栅结构 !t|2&R$IQ [用例]
mLH,6rO9 •分析光栅衍射效率
G!g];7PG( −
光栅级次分析器[用例]
{i/7Nx •使用参数运行搜索初始解决方案
O*m9qF< −
参数运行文档的使用[用例]
Z>J3DH •通过参数优化找到最终设计
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