摘要
"Om=N@? c#|raXGT 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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tasIDoo+!J lhYe;b( 建模任务
S4' Ka[t75~;
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光栅特性与参数的严格分析
OHeT,@(mh E8pB;\Z( 不同光栅周期下的衍射效率
MXw hxk#E v{(^1cX
]Bcp;D oE+R3[D?r 关于光栅周期选择的考虑
U>cV| v*;-yG&
-&3hEv5 - db_E# 偏振相关的衍射特性
`}(b2Hc> X' d9[).
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i(AT8Bo2 j/fzzI0@ 通过参数优化进行光栅设计
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#}Q/ cl]Mi
"3_ 固定周期的2D参数优化
W8ouO+wK W+PJZn
U^Q:Y}^ 2D参数优化–设计1
o=50>$5jlS _CmOd-y
2nSSFx r H,DM1Z9rz 2D参数优化–设计2
Fh`~`eog sejg&8
Ov-icDMm zG ^$"f2 制造
公差分析–设计2
0\[Chja te3}d'9&|
v.pBX< U%<koD[, 变化光栅周期的3D参数优化
8n'B6hi SZ,YS
4M
*M:B\D .}O[dR 制造公差分析
L1cI`9 sE:M@`2L
8,C*4y~ Lv|q 走进VirtualLab Fusion
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a0D%k: k5 | # 47O VirtualLab Fusion中的工作流程
nm6h%}xND< d-k%{eBV
$npT[~U5
y%%}k •构造光栅
结构 GBRa.;Kk −
通过使用界面来配置光栅结构 j!U-'zJ [用例]
[co% :xJu •分析光栅衍射效率
~GL]wF2# −
光栅级次分析器[用例]
%= fHu+ •使用参数运行搜索初始解决方案
L&u$t}~) −
参数运行文档的使用[用例]
c_vqL$Dl •通过参数优化找到最终设计
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i'Fn" VirtualLab Fusion技术
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VXR>]HUF B56L1^7 文件信息
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