摘要
?cEskafb> TSsKfexQ 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
1#4PG'H RTu4@7XP
>xn}N6Rj2~ |s)?cpb 建模任务
*8tI*Pus ([VV%ovZ
N9<Ujom 光栅特性与参数的严格分析
[
dE.[ "A)(" 不同光栅周期下的衍射效率
?}Lg)EFH 34R!x6W0
Vax^8 - b2b75}_A 关于光栅周期选择的考虑
OLj\-w^ <x),,a=X
NCf"tK'5n q(5+xSg"gK 偏振相关的衍射特性
lw(e3j l@hjP1o
M8b4NF_& Zf>^4_x3P
rBN)a" m3g2b _;
$.489x+'Z z>[tF5 通过参数优化进行光栅设计
/)rkiwp 2w$twW- 固定周期的2D参数优化
U`x bPQ S-nlr@w8
='E$-_ 2D参数优化–设计1
Sm2>'C Fequm+
^-M^gYBR \ M/6m^zS 2D参数优化–设计2
,s^<X85gp\ "XLe3n
sF+=KH =N|kn<h4 制造
公差分析–设计2
&wetzC) @lUlY2
Q^Bt1C k 2%S`/: 变化光栅周期的3D参数优化
v1.q$ f^( 0%;146.p
@)8]e
S7 efuK 制造公差分析
]^\8U2q} Q:|w%L*E
K$REZe pD@zmCU 走进VirtualLab Fusion
[&P`ak 3|Y!2b(:?
7=*VpX1 ]wuy_+$ VirtualLab Fusion中的工作流程
;S/7 h6 Jll-X\O`-
- &[z\"T }o9Aa0$*$ •构造光栅
结构 ZZ)G5ji −
通过使用界面来配置光栅结构 8Vt4HD 08 [用例]
" B@jfa% •分析光栅衍射效率
czBi Dk4 −
光栅级次分析器[用例]
aN^IP •使用参数运行搜索初始解决方案
hQgN9S5P −
参数运行文档的使用[用例]
H "+c)FGi •通过参数优化找到最终设计
0d\~"4 R QlW=_Ymv{ VirtualLab Fusion技术
f8:$G.}i I/UQ' xx
`!w^0kZ PtKTm\,JL0 文件信息
27#8dV? i|\{\d }&G]0hCT!
mT_GrIl[ iY.eJlfH 更多阅览
Ds5NAp:x -
Ultra-Sparse Dielectric Nano-Wire Grid Polarizers _q Tpy)+ -
Rigorous Analysis of Nanopillar Metasurface Building Block @PcCiGZ -
Parametric Optimization and Tolerance Analysis of Slanted Gratings ZcZ;$* mPmB6q%)] (来源:讯技光电)