摘要
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Dr^&rC 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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G.N3R
m$cM+ 建模任务
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cCeD3CuRA% 光栅特性与参数的严格分析
2Hd6 gGX/p6" 不同光栅周期下的衍射效率
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!6}Cs3. TRiB|b]8Q# 关于光栅周期选择的考虑
^:q(ksssY Q2 edS|
K~E]Fkw!; !bY{T#i)k 偏振相关的衍射特性
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L\B+j+~ Jv?e?U
`=>Bop) p$=3&qR 6
5N6%N1 msCAC*;, 通过参数优化进行光栅设计
%DN&K v{jl)?`~w 固定周期的2D参数优化
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N,O[pTwj 2D参数优化–设计1
r({(; Pf!K()<uJ
Ry(!<w, ~<eiWDf 2D参数优化–设计2
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B%t^QbU #\ v
;9s 制造
公差分析–设计2
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B;@yOm= "pH+YqJ$ 变化光栅周期的3D参数优化
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IFE C_F> =:2V4H(F 制造公差分析
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-8o8lz KW09qar 走进VirtualLab Fusion
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YF"D;. }C'z$i( y VirtualLab Fusion中的工作流程
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a@7we=! &3JbAJ|;X •构造光栅
结构 $nVTN.k −
通过使用界面来配置光栅结构 Wb|IWnH$ [用例]
p$ko=fo-*_ •分析光栅衍射效率
b+C>p2 % −
光栅级次分析器[用例]
D( _aXy •使用参数运行搜索初始解决方案
Q`oi=OYB −
参数运行文档的使用[用例]
EfyF]cYL •通过参数优化找到最终设计
2"mO"2d% =tP|sYR]^ VirtualLab Fusion技术
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