摘要
;U=RV& ;9r `P_r 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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lIg;>|'Z5& %/o8-N|_[ 建模任务
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J<<0U; 光栅特性与参数的严格分析
ESl-k2 h98_6Dw(] 不同光栅周期下的衍射效率
,3t('SE S(c ,Sinc
tf?u ;n El~x$X* 关于光栅周期选择的考虑
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#[^?f[9r ]}_@!F) 偏振相关的衍射特性
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9 0Dj<-n{9 通过参数优化进行光栅设计
W2VH? -Gw *<yKT$(+_ 固定周期的2D参数优化
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@aU%1h5W;l 2D参数优化–设计1
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w`(EW>i 36154*q 2D参数优化–设计2
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U/; 制造
公差分析–设计2
?u/Uov@rD VjbRjn5LI
c}a. >5{Z'UWxh 变化光栅周期的3D参数优化
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KLW#+vZ S3V3<4CB 制造公差分析
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yv;H 走进VirtualLab Fusion
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8=rD'* ^EGe%Fq*x] VirtualLab Fusion中的工作流程
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_&TA|Da o}&TFhT •构造光栅
结构 /; ;_l2 t −
通过使用界面来配置光栅结构 ?{W@TY@S [用例]
@^8tk3$Y •分析光栅衍射效率
lwEJ)Bv −
光栅级次分析器[用例]
eMk?#&a) •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
Fp>iwdjFg •通过参数优化找到最终设计
`mTpL^f Q}GsCmt=)O VirtualLab Fusion技术
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