摘要
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8fh'6 fL@[B{XMM 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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=EG[_i{r +Y\#'KrA 建模任务
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\;sUJr"$ 光栅特性与参数的严格分析
$DQMN y@(U6ZOyx 不同光栅周期下的衍射效率
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4A*'0!H [k.<x'# 关于光栅周期选择的考虑
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0h5T&U]${Y .qHgQ_% 偏振相关的衍射特性
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\oaO7w,:" 3vMfms 通过参数优化进行光栅设计
WyO10yvR p^^<BjkQ 固定周期的2D参数优化
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}PoB`H'K5 2D参数优化–设计1
4Sw)IU~K( 1YQ|KJ*K
?a(ApD\ 7=}`"7i~ 2D参数优化–设计2
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zsWYV n] C?X^h{Tp 制造
公差分析–设计2
(rvK@ %[5hTf
)]?sCNb V)C4 sG 变化光栅周期的3D参数优化
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3` 制造公差分析
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j0>Q:hn 1@egAo) 走进VirtualLab Fusion
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!"3 VirtualLab Fusion中的工作流程
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•构造光栅
结构 !{>'jvH −
通过使用界面来配置光栅结构 6j/g/!9c! [用例]
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Q* •分析光栅衍射效率
m:SG1m_6 −
光栅级次分析器[用例]
r~nD%H:}P •使用参数运行搜索初始解决方案
UuPXo66F] −
参数运行文档的使用[用例]
q!iSY •通过参数优化找到最终设计
`\ _>P@qz \MI2^JN VirtualLab Fusion技术
1cq"H/N t/%{R.1MN
+Np[m$Z* >8M=REn4 文件信息
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