摘要
f##/-NG m0h,! 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
EH M 59s|B LA2/<:
%3t;[$n# 8>x'. 8 建模任务
&)||~ ohe[rV>EX
NR8`nc1~ 光栅特性与参数的严格分析
6~W@$SP,F !plu;w 不同光栅周期下的衍射效率
9xzow,mi \.H9e/vU`
`\;Z&jlpT C%]qK(9vvd 关于光栅周期选择的考虑
f`/('}t hjFht+j1
X?< L<:. SVn@q|N 偏振相关的衍射特性
kb/BEJ HOPy&Fp
VX8CEO |Z2"pV
ceCO *m~ &Q}%b7
6\K\d_x :@-yK8q's 通过参数优化进行光栅设计
aD'Ax\- ]plp.f#av 固定周期的2D参数优化
|_8l9rB5ip H6jt[
R@tEC)Zn 2D参数优化–设计1
3Os0<1@H GtZ.'?-
/JC1o&z_T m&xVlS 2D参数优化–设计2
V!^0E.?a oxL<\4)WJ
,i<cst)$u iJ8Z^=> 制造
公差分析–设计2
4\v &8">LL vS0 ii
Gs3V]qbEP l*&N<Yu 变化光栅周期的3D参数优化
Mz2TwU_ .lP',hn
Q25VG5G Gbclu.4 制造公差分析
;l @lA)i ,3f>-mP
V|sV U |D/a}Av>B 走进VirtualLab Fusion
C:5d/9k R"P-+T=7M
C5TV}Bq\ YMK ![ q- VirtualLab Fusion中的工作流程
'=Lpch2J Ow4(1eE_
(y.N-I, {CBb^BP •构造光栅
结构 $S?gQN.e −
通过使用界面来配置光栅结构 P3|s}& [用例]
Z10}xqi!X •分析光栅衍射效率
ZM v\j|{8 −
光栅级次分析器[用例]
`m<O!I"A •使用参数运行搜索初始解决方案
jED.0,+K! −
参数运行文档的使用[用例]
T~Bj],k_ •通过参数优化找到最终设计
y<Xu65 C]5 kQ1Og VirtualLab Fusion技术
wDW%v@ oU\7%gQ
?-mOAHW0q lbIPtu 文件信息
SKnYeT pUqC88*j LAf#Rco4
6Nn+7z<*&z j+ -r(lZ 更多阅览
X`Q+,tx$ -
Ultra-Sparse Dielectric Nano-Wire Grid Polarizers `}=R
-
Rigorous Analysis of Nanopillar Metasurface Building Block r W[;3yMf
-
Parametric Optimization and Tolerance Analysis of Slanted Gratings D0 p*Sg 9ABU^ig (来源:讯技光电)