摘要
\4<|QE Sj/v: 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
;0?OBUDO Nq9M$Nt]
\x4:i\Fx@ fTK84v"7_ 建模任务
z`Nss
o= (=1zMZo
)xz_}6b] 光栅特性与参数的严格分析
DNqC*IvuzM DC BN89# 不同光栅周期下的衍射效率
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{;u+? uY
Pn@DHYP JwWxM3(%t 关于光栅周期选择的考虑
#D{Eq8dp s0x/2z
-lv(@7o~ ~mK+Q%G5 偏振相关的衍射特性
i tk/1 L=HnVgBs
;qWSfCt/^ bNm]h.
SwO$UqYU= BE~-0g$W
$[7/~I>m 9^Web~yi# 通过参数优化进行光栅设计
9pS:#hg bt.3#aj 固定周期的2D参数优化
Hmx.BBz TVSCjI
vMJ(Ll7/ 2D参数优化–设计1
4Xt`L"f /<k5"C%z
Y"s8j=1m 31e
O2|7 2D参数优化–设计2
7#9%,6Yi anfnqa8
E:A!tu$B vW? /: 制造
公差分析–设计2
R1%J6wZq \"Z\Af<
:!?Fq/! GY0OVAW6'c 变化光栅周期的3D参数优化
aXZi 2 uf (_<~
P7/Xh3 ORWi+H| 制造公差分析
-XwS?*O g:G5'pZf
g4 +Hq *
+`ov1h 走进VirtualLab Fusion
Bm%|WQK co^h2b
8?: 2< 87!m l VirtualLab Fusion中的工作流程
Z ZCm438 V*Xr}FE
Ss\?SEq )ZrB-(u~k •构造光栅
结构 h9iQn<lp4. −
通过使用界面来配置光栅结构 F8Mf,jnPs [用例]
m!P<#
|V •分析光栅衍射效率
X{ 6a −
光栅级次分析器[用例]
8.I3%u •使用参数运行搜索初始解决方案
}Ujgd2(U −
参数运行文档的使用[用例]
5dD8s-;^T •通过参数优化找到最终设计
.P?n<n# #)[.Xz:U VirtualLab Fusion技术
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5IFzbL#q#f }_^ vvu 文件信息
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