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    [原创]SYNOPSYS代码详解-消色差透镜设计及公差分析 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2020-02-20
    消色差透镜设计及公差分析
    参考Donald Dilworth《Lens Design Automatic and quasi-autonomous computational methods and techniques》书第十二、十三章
    C}qHvwFm  
    ^[6el_mj  
    首先,消色差透镜的初始结构设计代码如下: oA?EJ~%  
    RLE                                                     !读取镜头文件 s_}`TejK  
    ID F10 APO                                        !镜头标识 8.:WMH`  
    WAVL 0.65 0.55 0.45                         !定义三个波长,按照长波到短波顺序排列 Y@Ur}  
    APS 3           !光阑面为表面3,程序会执行一个光瞳来重新计算YP1和XP1,而忽略输入的YP1和XP1值。 .(99f#2M:  
    UNITS INCH                                      !透镜单位为英寸 1:!H`*DU&  
    OBB 0 0.5 2 -0.01194 0 0 2     !物体类型为OBB,0-入射边缘光线角度(针对无限远物),0.5-半视场角,2-半孔径,-0.01194-表面1上主光线高度,负号是指光线在图像下端;后面三个参数表示光线在X-Z平面的相应值
    0 AIR                                                                        !物面处于空气中 m/3,;P.6  
    1 RAD -300.4494760791975   TH      0.58187611  !表面1的半径,厚度 xqb*;TBh*  
    1 N1 1.60978880 N2 1.61494395 N3 1.62386887  !玻璃类型为N-SK4的三个波长折射率被精确指定 > f'aW  
    1 GTB S    'N-SK4 '                                                  !表面1玻璃类型为N-SK4 S,x';"  
    2 RAD     -7.4819193194388   TH      0.31629961 AIR   !表面2在空气中的半径,厚度 xp}M5|   
    2 AIR                                                                                 !表面2处于空气中 <$u\PJF7_^  
    3 RAD     -6.8555018049530   TH      0.26355283           !表面3的半径,厚度 _#qfe  
    3 N1 1.60953772 N2 1.61628830 N3 1.62823445         !玻璃类型为N-KZFS4的三个波长折射率被精确指出 p\R&vof*  
    3 GTB S    'N-KZFS4'                                                     !表面3玻璃类型为N-KZFS4 {y'4&vt<~  
    4 RAD      5.5272935517214   TH      0.04305983 AIR    !表面4在空气中的半径,厚度 yy Y\g  
    4 AIR                                                                                  !表面4处于空气中 @H8DGeM  
    5 RAD      5.6098999521052   TH      0.53300999   !表面5的半径,厚度 k [LV^oEg  
    5 N1 1.66610392 N2 1.67304720 N3 1.68543133   !玻璃类型为N-BAF10的三个波长折射率被精确指出 ~owodc  
    5 GTB S    'N-BAF10'                                               !表面5玻璃类型为N-BAF10 O-huC:zZh  
    6 RAD    -27.9819596092866  TH     39.24611007 AIR   !表面6在空气中的半径,厚度 )-X/"d  
    6 AIR                                                                                  !表面6处于空气中 [ eb k u_  
    6 CV      -0.03573731                                                         !表面6的曲率 msY6zJc`  
    6 UMC -0.05000000       !UMC求解表面6的曲率,并给出相对于光轴的近轴轴向边缘光线角U的规定值。U的正切值为1/(2*FNUM)=0.05,负号表示边缘光线在图像下端。
    6 TH     39.24611007      !表面6的厚度 5>lIrBf  
    6 YMT 0.0000000          !YMT求解在表面7上指定的轴向边缘光线高度为0时所对应的厚度 GVhy }0|  
    7 RAD    -11.2104527948015   TH      0.00000000 AIR  !表面7(像面)的半径,厚度 Cu!]-c{  
    END                                                                                  !以END结束 p-r[M5;-^Q  
    ;W]9DBAB  
    j^%N:BQ&  
    运行上述代码后,点击图标 打开PAD二维图,得到消色差透镜的初始结构,如图1所示:
    4fL`.n1^  
    BOWOH  
    图1 消色差透镜的初始设计
    bjo} 95  
    点击PAD图中的图标 ,打开玻璃表,已经选中玻璃库Schott,这是我们先前指定的玻璃库,点击OK,得到显示Nd和Vd的玻璃图,如下图: loC~wm%Ql  
    LmytO$?2(  
    绿色圆圈旁边的数字表示目前三片式透镜表面1、表面3、表面5,即被定义了玻璃类型的表面。 c8T| o=`k6  
    而我们关心的是色散特性。所以需单击‘Graph’按钮,然后单击‘Plot P(F,e)vs.Ve’,再点击‘OK’。 [r!f&R  
    <PiO %w{  
    得到玻璃的色散图如下: "8"aYD_  
    AvPPsN0  
    现在,我们查看表面1的玻璃材料的性能。具体操作:单击数字1的绿色圆圈,然后单击‘Properties’按钮。最后表面1的玻璃材料N-SK4的性能如下: .)SR3?   
    [N12X7O3  
    图中显示,N-SK4的酸度(Acid)等级为5,湿度等级(Humidity)为3;此玻璃暴露在空气中的性能不稳定。因此,需要更换一种玻璃材料。 `ZbFky{  
    如何选取更换材料?首先我们单击'Graph'按钮,选择‘Acid Sensitivity ’,点击‘OK’,得到下图,图中玻璃位置处的红色垂线表示酸敏感度,垂线越长,玻璃越不耐用。 Ch\__t*v!  
    QYi4A "$`  
    jwUX?`6jX  
    5 5m\, UG7  
    从图中,我们发现N-BAK2根本没有线,可以选取其作为更换材料。 2WTOu x*  
    Lx tgf2r  
    于是,单击N-BAK2符号,名称出现在右侧窗口时,在‘Surface’中填写‘1’,然后点击'Apply',这样就为表面1分配了玻璃类型N-BAK2。 NJ]3qH  
    UOk\fyD2[  
    R8_I ASs  
    另外,N-BAK2的特性如下,其酸碱度等级为1,湿度等级为2,而且价格也比N-SK4低: S8Y\@C?5  
    gq"d$Xh$x7  
    x H&hs$=  
    现在PAD图中的透镜像差非常差,这是因为表面1更换玻璃N-BAK2后,还未进行优化,如图2所示: YM};85K  
     * k<@  
    *AYq :n6  
    O=;jDWE  
    图2更换玻璃N-BAK2后的消色差透镜 tU5uL.( O  
    接下来,运行下面代码对透镜进行优化,代码如下: 6i2%EC9  
    PANT                                            !参数输入 U2l3E*O  
    VLIST RAD 1 2 3 4 5 7                !改变表面1、表面2、表面3、表面4、表面5以及表面7的半径 *yaS^k\  
    VLIST TH 2 4                               !改变表面2和表面4的厚度 1`YU9?  
    END                                              !以END结束 JXM]tV  
    yIrJaS-  
    AANT                                           !像差输入 xDGS`o_w_  
    AEC                                              !自动控制玻璃元件和空气间隙的边缘羽化,防止边缘厚度太薄 yu)^s!UY;  
    ACC                                              !自动控制玻璃元件的中心厚度,防止中心厚度太厚 GB35ouE  
    GSO 0 1 4 M 0 0  !校正0视场弧矢面中产生的光线网格OPD像差;0-孔径权重占比,1-权重,4-光线数,M-多色,0-Y视场,0-X视场; E5$]0#jB  
    GNO 0 .2 3 M .75 0  !校正0.75视场光线网格OPD像差 B6Eu."T  
    GNO 0 .1 3 M 1.0 0  !校正全视场光线网格OPD像差 jj1\oyQ8  
    END                          !以END结束 nYFrp)DLK  
    5nUJ9sqA  
    SNAP                        !设置PAD更新频率,每迭代一次PAD更新一次 -^546 7  
    SYNO 30                  !迭代次数30次 <S041KF.{6  
    优化后的消色差镜头结构,如图3所示。由图可知,此透镜的校正的光程差优于1/4波长。并保存镜头文件,命名为'C12L2.RLE'。 ]%)<9 ]}  
    o6d x\  
    图3 通光更换玻璃后重新优化的消色差透镜
    dH!z<~  
    接着,我们查看离焦在新设计中随波长的变化,如下图。运行以下代码: W*t] d  
    CHG                    !改变镜头 >WIc"y.  
    NOP                     !移除所有在透镜上的拾取和求解 Vv45w#w;  
    END                     !以END结束 mL=d E Q  
    PLOT DELF FOR WAVL = .45 TO .65  !绘制离焦在波长0.45um~0.65um范围内的变化 %VH,(}i  
    REU,"  
    XzHR^^;u"*  
    p,goYF??  
    离焦随波长变化的数据分析,分析表明在设计波长范围内的离焦大约为0.0026英寸。 MDU#V  
    B*,)@h  
    w?8SQI,~X  
    透镜具有完美的艾里斑,通过图像工具(MIT)计算,并且为透镜分配了十个波长,在中心产生良好的白色,并具体相干效果。如下图。 D]]wJQU2  
    I5_HaC>  
    nUOi~cs  
    现在,我们计算消色差透镜的公差。首先移除表面6上的曲率求解。代码如下: :-B+W9'5  
    CHG @M]_],  
    6 NCOP          !移除表面6的曲率求解 EUi 70h +  
    END [/CGV8+  
    I I+y  
    然后,在CW命令窗口输入MSB,进行BTOL设置,如图: W&IG,7tr  
    ujZ`T0  
    x}yl Rg`[  
    其中,数字2-设置统计可信水平为2个sigma,则在一大批透镜中应有99.53%透镜的像质等于或优于要求。 eF,F<IJT{  
    在CW中看到预期的结果如下图。图中表明轴上像质将会有0.05的变动。 s*ZE`/SM3  
    G aV&y  
    预测的公差如图所示。由图可知,透镜1和透镜2之间的空气间隔公差为0.00157英寸。透镜2和透镜3之间的空气间隔公差为0.000426英寸。 N2v/<  
    透镜2的V-number的公差为0.05359。同时该透镜保持0.00024的共轴性。 NO o?  
    z#^fS |  
    (?fU l$q\  
    现在呢,公差太小,没有办法按照预估公差来制造透镜。所以怎样将公差放大呢? Y%.o TB&  
    在CW中输入THIRD SENS: #wI}93E  
    Uj):}xgi'  
    @up,5`  
    L~Gr,i  
    SAT的值为8.363,即每个表面对球差SA3贡献的平方和为8.363。接下来,通光减小SAT值,来降低公差灵敏度,放大公差。 .eR1\IAm  
    > S>*JP  
    优化宏代码如下: "lI-/ G  
    PANT 1f`De`zXzr  
    VLIST RAD 1 2 3 4 5 7  Y~WdN<g  
    VLIST TH 2 4 HIXAA?_eh=  
    END ;=Ma+d#  
    AANT s-$ Wc) l  
    AEC H<(F$7Q!\  
    ACC /MGapmqV9  
    M 4 1 A SAT                      !SAT的目标值为4,权重为1; {^WK#$]  
    GSO 0 1 5 M 0 0   c ZYy+  
    GNO 0 .2 4 M .75 0   l88=  
    GNO 0 .1 4 M 1.0 0   y9r4]45  
    END %MeAa?G-#  
    SNAP N1a]y/  
    SYNO 30 f#0HiE!  
    Ghgn<YG  
    "do5@$p|  
    优化后的透镜结果,如图4所示: Ti%MOYNCv  
    E#$Jg|e  
    U.e!:f4{  
    图4 减小SAT值,优化后的消色差透镜
    YThVG0I =  
    x>yqEdR=o  
    现在的THIRD SENS为: (?jK|_  
    o,*m,Qc  
    接下来,我们通过编辑BTOL宏来计算公差。
    q Gk.7wf%  
    ZnEgU}g<2  
    新BTOL宏代码如下: uNN/o}Qx  
    CHG JQV%W +-@  
    NOP  g\q .  
    END |_;kQ(,  
    6g| ,]{  
    BTOL 2                      !设置置信区间 (a[BvJf  
    ]9oj,k  
    EXACT INDEX 1 3 5    !表面1,表面3和表面5的折射率是精确的 uf6egm5 ]  
    EXACT VNO 1 3 5        !表面1,表面3和表面5的V-number是精确的 7=P)`@  
    .]v>LsbhF  
    TPR ALL                  !  假定所有表面与光学样板匹配                                                             T lXS}5^  
    TOL WAVE 0.1        !最大波前变化值为0.1 %xkuW]xk  
    ADJUST 6 TH 100 100  !调整表面6的厚度,第一个数字100是指一组移动的表面数目;第二个 U% h.l  
                                                 数字100是指允许的最大调整值; 2(eO5.FYF  
    `<YMkp[  
    PREPARE MC         !自动准备一个调整文件,以便后续的MC运行需使用该文件来检查统计信息 !db=Iz5)  
    D!`[fjs6A  
    GO                          !BTOL输入文件的最后输入,并执行程序 |]&3*%b@  
    STORE 4                !透镜结果储存在透镜库的位置4 Z",0 $Gxu  
    运行BTOL宏之后,公差稍微宽松一点,如下图: REh"/d  
    ~c EN=(Z~r  
    接着,运行MC程序来检查透镜情况。在CW中输入:SYNOPSYS AI> MC 50 4 QUIET -1 ALL 5;此命令将会测试一批储存在透镜库4中的50片透镜,按照上述预计公差来制作透镜,然后监控比较这一批透镜的统计数据,将最坏的透镜情况保存在透镜库位置5。 Q9bnOvKe|  
    f(Xin3#'  
    在CW窗口输入:MC PLOT,得到MC直方图:
    v;(cJ,l  
    {sw|bLo|+  
    ygz2bHpD~  
    现在测试最坏的透镜。点击 ,在CW中输入GET 5,即将MC最坏的透镜放在ACON2中,如图5所示。
    ,RPb <3 B  
    x1@,k=qrd  
    b `P6Ox3  
    图5 MC最差透镜情况。必须制造调整。
    f7&ni#^Ztj  
    于是,对保存在透镜库4的透镜进行制造调整。使用FAMC指令(FAMC是制造调整MC)分析统计数据。代码如下: 4@{;z4*`  
    FAMC 50 4 QUIET -1 ALL 5  !测试透镜库4中的50片透镜,按照预计公差来制作透镜,然后监控对比所有透镜质量,将最坏透镜结果保存在透镜库5 {]IY; cL  
    PASSES 20           !对第一阶段(PHASE 1)优化的迭代次数 ]3v)3Wp  
    FAORDER 5 3 1  !透镜制造序列,按难度排序,最复杂的透镜放首位 H k}P  
    MV5$e  
    PHASE 1              !第一阶段,优化透镜参数 CEj_{uf|  
    PANT Id?-Og2i V  
    VLIST RAD 1 2 3 4 5 6 a!o%x  
    VLIST TH 2 4 6 }R* %q  
    END \;XJ$~>  
    >l0Qd1   
    AANT C^$E#|E9N  
    GSO 0 1 5 M 0 #'/rFT4{v  
    GNO 0 1 5 M 1   zTue(Kr  
    END Y~Uf2(7b5  
    SNAP tar/no  
    EVAL   !必须以EAVL结束,第一阶段已经将透镜公差应用于透镜本身,然后依次完成所有透镜制作 5YrzOqg=  
    PS~_a  
    PHASE 2              !第二阶段,只优化不包括在第一阶段中的透镜参数和评价函数 5%TSUU+<I  
    PANT N1Y uLG:  
    VY 3 YDC 2 100 -100   !改变表面3的Y方向偏心,上限为2,下限为100,增量为-100 V dJ  
    VY 3 XDC 2 100 -100   !改变表面3的X方向偏心 >:.c?{%g*  
    VY 5 YDC 2 100 -100 ZKI8x1>Iq  
    VY 5 XDC 2 100 -100 &DW !$b  
    VY 6 TH                        !改变表面6的厚度 zeGWM,!  
    END -']Idn6  
    AANT U/Cc!WXV]  
    GNO 0 1 4 M 0 0 0 F $bhI2%_`M  
    GNO 0 1 4 M 1 0 0 F   3=wcA/"!  
    END n{W(8K6d@[  
    SNAP c6b51)sQ"  
    SYNO 30 I!!cA?W  
    -medD G  
    PHASE 3 !第三阶段;当遇到第三阶段的输入,程序循环整个过程 /\,3AInLb  
    2?qT,pN  
    运行代码之后,得到带有制造调整的MC的最差透镜情况,如图6所示。 <mJ8~  
    SEnr"}  
    y:E$n!  
    图6 带有制造调整的MC最差透镜情况。
    gR/?MJ(v  
    再次在CW中输入MC PLOT,得到MC直方图: yFm88  
    |7 K>`  
    `j {q  
    y /vc\e  
    ShQ!'[J  
    相应的局部放大轴上视场直方图
    ?yG[VW  
    打开MPL对话框设置后,透镜元件2的ELD绘制出图: #bcZ:D@FC  
    (0@b4}Z  
    7Tp +]"bL  
    打开MPL对话框设置后,点击DWG得到透镜装配图,图中添加了空气间隙,倾斜角,还有偏心公差: 44 8%yP  
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    elsaqueen 光币 +1 优秀文章,支持! 2020-02-26
     
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    离线coollwl
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    只看该作者 3楼 发表于: 2023-05-04
    资料非常不错,必须点赞!
    离线zh_rj
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    只看该作者 2楼 发表于: 2022-01-26
    谢谢楼主分享!!
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    只看该作者 1楼 发表于: 2022-01-10
    很好的文章