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    [原创]SYNOPSYS代码详解-消色差透镜设计及公差分析 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2020-02-20
    消色差透镜设计及公差分析
    参考Donald Dilworth《Lens Design Automatic and quasi-autonomous computational methods and techniques》书第十二、十三章
    knBT(x'+  
    1 )j%]zd2  
    首先,消色差透镜的初始结构设计代码如下: "5jZS6A]  
    RLE                                                     !读取镜头文件 nw5#/5xw  
    ID F10 APO                                        !镜头标识 %NS]z;G  
    WAVL 0.65 0.55 0.45                         !定义三个波长,按照长波到短波顺序排列 ,?#-1uIGL>  
    APS 3           !光阑面为表面3,程序会执行一个光瞳来重新计算YP1和XP1,而忽略输入的YP1和XP1值。 m9xu$z| e  
    UNITS INCH                                      !透镜单位为英寸 9 au)K!hN  
    OBB 0 0.5 2 -0.01194 0 0 2     !物体类型为OBB,0-入射边缘光线角度(针对无限远物),0.5-半视场角,2-半孔径,-0.01194-表面1上主光线高度,负号是指光线在图像下端;后面三个参数表示光线在X-Z平面的相应值
    0 AIR                                                                        !物面处于空气中 "ej>1{3Y:=  
    1 RAD -300.4494760791975   TH      0.58187611  !表面1的半径,厚度 4'rk3nT8  
    1 N1 1.60978880 N2 1.61494395 N3 1.62386887  !玻璃类型为N-SK4的三个波长折射率被精确指定 $C)@GGY  
    1 GTB S    'N-SK4 '                                                  !表面1玻璃类型为N-SK4 y~S[0]y>  
    2 RAD     -7.4819193194388   TH      0.31629961 AIR   !表面2在空气中的半径,厚度 *} w.xt  
    2 AIR                                                                                 !表面2处于空气中 3^su%z_%  
    3 RAD     -6.8555018049530   TH      0.26355283           !表面3的半径,厚度 6y5arP*6e  
    3 N1 1.60953772 N2 1.61628830 N3 1.62823445         !玻璃类型为N-KZFS4的三个波长折射率被精确指出 9 [I ro  
    3 GTB S    'N-KZFS4'                                                     !表面3玻璃类型为N-KZFS4 -G Kelz?h>  
    4 RAD      5.5272935517214   TH      0.04305983 AIR    !表面4在空气中的半径,厚度 puqH%m+u  
    4 AIR                                                                                  !表面4处于空气中 ld@f:Zali  
    5 RAD      5.6098999521052   TH      0.53300999   !表面5的半径,厚度 kkOYC?zE?  
    5 N1 1.66610392 N2 1.67304720 N3 1.68543133   !玻璃类型为N-BAF10的三个波长折射率被精确指出 kh,M'XbTo  
    5 GTB S    'N-BAF10'                                               !表面5玻璃类型为N-BAF10 %""CacX  
    6 RAD    -27.9819596092866  TH     39.24611007 AIR   !表面6在空气中的半径,厚度 (I~,&aBr  
    6 AIR                                                                                  !表面6处于空气中 b]g.>$[nX  
    6 CV      -0.03573731                                                         !表面6的曲率 v}Aw!Dv/  
    6 UMC -0.05000000       !UMC求解表面6的曲率,并给出相对于光轴的近轴轴向边缘光线角U的规定值。U的正切值为1/(2*FNUM)=0.05,负号表示边缘光线在图像下端。
    6 TH     39.24611007      !表面6的厚度 &&<^wtznO  
    6 YMT 0.0000000          !YMT求解在表面7上指定的轴向边缘光线高度为0时所对应的厚度 ^3yjE/Wi"  
    7 RAD    -11.2104527948015   TH      0.00000000 AIR  !表面7(像面)的半径,厚度 y?unI~4tC  
    END                                                                                  !以END结束 -owfuS?i=  
    ;5%&q6&a  
    =0]Mc$Ih  
    运行上述代码后,点击图标 打开PAD二维图,得到消色差透镜的初始结构,如图1所示:
    -=sxbs.aA  
    Iw<c 9w8  
    图1 消色差透镜的初始设计
    gaCGU<L  
    点击PAD图中的图标 ,打开玻璃表,已经选中玻璃库Schott,这是我们先前指定的玻璃库,点击OK,得到显示Nd和Vd的玻璃图,如下图: 25 ~$qY_  
    u('OHPqq  
    绿色圆圈旁边的数字表示目前三片式透镜表面1、表面3、表面5,即被定义了玻璃类型的表面。 OVh/t# On  
    而我们关心的是色散特性。所以需单击‘Graph’按钮,然后单击‘Plot P(F,e)vs.Ve’,再点击‘OK’。 8\V-aow  
    (7wR*vO^  
    得到玻璃的色散图如下: 8 [."%rzN  
    \rN_CBM  
    现在,我们查看表面1的玻璃材料的性能。具体操作:单击数字1的绿色圆圈,然后单击‘Properties’按钮。最后表面1的玻璃材料N-SK4的性能如下: ?rK%;GTo  
    1aDDl-8,  
    图中显示,N-SK4的酸度(Acid)等级为5,湿度等级(Humidity)为3;此玻璃暴露在空气中的性能不稳定。因此,需要更换一种玻璃材料。 q7PRJX  
    如何选取更换材料?首先我们单击'Graph'按钮,选择‘Acid Sensitivity ’,点击‘OK’,得到下图,图中玻璃位置处的红色垂线表示酸敏感度,垂线越长,玻璃越不耐用。 aw4+1.xy  
    .>nd@oU  
    D8#q.OR]  
    ]`kvq0Gyb  
    从图中,我们发现N-BAK2根本没有线,可以选取其作为更换材料。 k2WO*xa*  
    \9?<E[  
    于是,单击N-BAK2符号,名称出现在右侧窗口时,在‘Surface’中填写‘1’,然后点击'Apply',这样就为表面1分配了玻璃类型N-BAK2。 GJuD :  
    /uc/x+(_  
    &B85;  
    另外,N-BAK2的特性如下,其酸碱度等级为1,湿度等级为2,而且价格也比N-SK4低: C/vLEpP{(/  
    ;' W5|.ZN  
    7fE V/j  
    现在PAD图中的透镜像差非常差,这是因为表面1更换玻璃N-BAK2后,还未进行优化,如图2所示: Zll^tF#  
    :y %~9=  
     0EB'!  
    stG&(M  
    图2更换玻璃N-BAK2后的消色差透镜 8WGM%n#q  
    接下来,运行下面代码对透镜进行优化,代码如下: 3d<HIG^W}  
    PANT                                            !参数输入 S- \lN|  
    VLIST RAD 1 2 3 4 5 7                !改变表面1、表面2、表面3、表面4、表面5以及表面7的半径 (KMobIP^  
    VLIST TH 2 4                               !改变表面2和表面4的厚度 Om"3Q/&  
    END                                              !以END结束 9C 05  
    wE \c?*k  
    AANT                                           !像差输入 \|t0~sRwh  
    AEC                                              !自动控制玻璃元件和空气间隙的边缘羽化,防止边缘厚度太薄 DmrfD28j~F  
    ACC                                              !自动控制玻璃元件的中心厚度,防止中心厚度太厚 -]A#G`'  
    GSO 0 1 4 M 0 0  !校正0视场弧矢面中产生的光线网格OPD像差;0-孔径权重占比,1-权重,4-光线数,M-多色,0-Y视场,0-X视场; #G=QL(f>/  
    GNO 0 .2 3 M .75 0  !校正0.75视场光线网格OPD像差 rQm  
    GNO 0 .1 3 M 1.0 0  !校正全视场光线网格OPD像差 O*v+<|0!l  
    END                          !以END结束 pdHb  
    &NQR*Tn  
    SNAP                        !设置PAD更新频率,每迭代一次PAD更新一次 gWo~o]f  
    SYNO 30                  !迭代次数30次 5mNXWg7#]  
    优化后的消色差镜头结构,如图3所示。由图可知,此透镜的校正的光程差优于1/4波长。并保存镜头文件,命名为'C12L2.RLE'。 ;wxt<   
    S: uEK  
    图3 通光更换玻璃后重新优化的消色差透镜
    7qz-RF#s8  
    接着,我们查看离焦在新设计中随波长的变化,如下图。运行以下代码: wg.fo:Q  
    CHG                    !改变镜头 n1>nnH]G  
    NOP                     !移除所有在透镜上的拾取和求解 ')-(N um  
    END                     !以END结束 ` W>B8  
    PLOT DELF FOR WAVL = .45 TO .65  !绘制离焦在波长0.45um~0.65um范围内的变化 sr+mY;   
    tQaCNS$=  
    ,b(S=r  
     BZc-  
    离焦随波长变化的数据分析,分析表明在设计波长范围内的离焦大约为0.0026英寸。 X4G55]D$>  
    J-<B*ot+lX  
    jGhg~-m  
    透镜具有完美的艾里斑,通过图像工具(MIT)计算,并且为透镜分配了十个波长,在中心产生良好的白色,并具体相干效果。如下图。 d)ZSzq  
    8m6nw0   
    h}>/Z3*  
    现在,我们计算消色差透镜的公差。首先移除表面6上的曲率求解。代码如下: Jwt I(>cI  
    CHG J\$l3i/I  
    6 NCOP          !移除表面6的曲率求解 mZVOf~9E  
    END *9ub.:EUwV  
    7B!Qq/E?g  
    然后,在CW命令窗口输入MSB,进行BTOL设置,如图: c\{}FGC  
    08?MS_  
    MxEAs}MDv  
    其中,数字2-设置统计可信水平为2个sigma,则在一大批透镜中应有99.53%透镜的像质等于或优于要求。 # pB:LPEsK  
    在CW中看到预期的结果如下图。图中表明轴上像质将会有0.05的变动。 f}Tr$r  
    }cej5/*  
    预测的公差如图所示。由图可知,透镜1和透镜2之间的空气间隔公差为0.00157英寸。透镜2和透镜3之间的空气间隔公差为0.000426英寸。 ^p zxwt  
    透镜2的V-number的公差为0.05359。同时该透镜保持0.00024的共轴性。 N pND/  
    67\Ojl~(1  
    -b0'Q  
    现在呢,公差太小,没有办法按照预估公差来制造透镜。所以怎样将公差放大呢? )$h9Y   
    在CW中输入THIRD SENS: AE4~M`6D  
    GR[>mkW!M  
    fP1OH&Ar  
    a`~eC)T  
    SAT的值为8.363,即每个表面对球差SA3贡献的平方和为8.363。接下来,通光减小SAT值,来降低公差灵敏度,放大公差。 ls7A5 <  
    tZ j,A%<  
    优化宏代码如下: 51 +M_ ~  
    PANT Qr%Jm{_o  
    VLIST RAD 1 2 3 4 5 7 u\6]^T6  
    VLIST TH 2 4 kF,\bM  
    END ou^nzm  
    AANT {Y:ZY+  
    AEC ,Zf!KQw  
    ACC N[<`6dpE  
    M 4 1 A SAT                      !SAT的目标值为4,权重为1; 7$'mC9  
    GSO 0 1 5 M 0 0   ^%%5  
    GNO 0 .2 4 M .75 0   5Vo}G %g  
    GNO 0 .1 4 M 1.0 0   ERRT_G?  
    END f THun?Vn  
    SNAP 7 Y>`-\  
    SYNO 30 a950M7  
    )Ct*G= N  
    IqCCfsf4  
    优化后的透镜结果,如图4所示: W _,;eyo  
    ]( =wlq)  
    1: xnD  
    图4 减小SAT值,优化后的消色差透镜
    <VaMUm<2  
    P b8Z))9j  
    现在的THIRD SENS为: yb4tJu$  
    LJ(n?/z%  
    接下来,我们通过编辑BTOL宏来计算公差。
    n1>,#|#  
    K>cz63}S  
    新BTOL宏代码如下: x:?a;muf  
    CHG pP0Vg'V  
    NOP $?)3&\)R  
    END sVZZp  
    H : T N  
    BTOL 2                      !设置置信区间 ~kYqGH  
    x 1BOW  
    EXACT INDEX 1 3 5    !表面1,表面3和表面5的折射率是精确的 ft/^4QcyAM  
    EXACT VNO 1 3 5        !表面1,表面3和表面5的V-number是精确的 5M Wvu,'%8  
    .FKJ yzL  
    TPR ALL                  !  假定所有表面与光学样板匹配                                                             3IK(f .  
    TOL WAVE 0.1        !最大波前变化值为0.1 ?ng14e  
    ADJUST 6 TH 100 100  !调整表面6的厚度,第一个数字100是指一组移动的表面数目;第二个 B8UZ9I$n  
                                                 数字100是指允许的最大调整值; wVp4c?s  
    -H4+ur JJ  
    PREPARE MC         !自动准备一个调整文件,以便后续的MC运行需使用该文件来检查统计信息 XW?ybH6  
    :G`L3E&1s  
    GO                          !BTOL输入文件的最后输入,并执行程序 ^'7C0ps+A  
    STORE 4                !透镜结果储存在透镜库的位置4 MxgLzt Y  
    运行BTOL宏之后,公差稍微宽松一点,如下图: o3F|#op  
    3@yTzaq6  
    接着,运行MC程序来检查透镜情况。在CW中输入:SYNOPSYS AI> MC 50 4 QUIET -1 ALL 5;此命令将会测试一批储存在透镜库4中的50片透镜,按照上述预计公差来制作透镜,然后监控比较这一批透镜的统计数据,将最坏的透镜情况保存在透镜库位置5。 Be{/2jU%  
    {M@@)27gW  
    在CW窗口输入:MC PLOT,得到MC直方图:
    g8,?S6\nMz  
    w<Yv`$-`  
    }. xrJ52Tz  
    现在测试最坏的透镜。点击 ,在CW中输入GET 5,即将MC最坏的透镜放在ACON2中,如图5所示。
    f]ue#O  
    {xv?wenE  
    9fNu?dE   
    图5 MC最差透镜情况。必须制造调整。
    9k\)tWe  
    于是,对保存在透镜库4的透镜进行制造调整。使用FAMC指令(FAMC是制造调整MC)分析统计数据。代码如下: d@4rD}_Z  
    FAMC 50 4 QUIET -1 ALL 5  !测试透镜库4中的50片透镜,按照预计公差来制作透镜,然后监控对比所有透镜质量,将最坏透镜结果保存在透镜库5 7$ =Y\ P  
    PASSES 20           !对第一阶段(PHASE 1)优化的迭代次数 Har~MO?A  
    FAORDER 5 3 1  !透镜制造序列,按难度排序,最复杂的透镜放首位 zj>aaY  
    ou'~{-_xd  
    PHASE 1              !第一阶段,优化透镜参数 %AG1oWWc>.  
    PANT '%SR.JL  
    VLIST RAD 1 2 3 4 5 6 R <;OEN  
    VLIST TH 2 4 6 W|25t)cJ8h  
    END <&5m N  
    dn ZzA  
    AANT `/O`OrZ1K  
    GSO 0 1 5 M 0 )N" Ew0U  
    GNO 0 1 5 M 1   (*6 m^  
    END 8K0X[-hs8  
    SNAP g@~!kh,TH  
    EVAL   !必须以EAVL结束,第一阶段已经将透镜公差应用于透镜本身,然后依次完成所有透镜制作 S \e& ?Y`  
    4M}|/?<Br  
    PHASE 2              !第二阶段,只优化不包括在第一阶段中的透镜参数和评价函数 7G5y)Qb  
    PANT HDmx@E.@  
    VY 3 YDC 2 100 -100   !改变表面3的Y方向偏心,上限为2,下限为100,增量为-100 J7BFk ?=  
    VY 3 XDC 2 100 -100   !改变表面3的X方向偏心 BXg!zW%+  
    VY 5 YDC 2 100 -100 #?{qlgv<p  
    VY 5 XDC 2 100 -100 sM9FE{,mx  
    VY 6 TH                        !改变表面6的厚度 ;gDMl57PQ.  
    END A8pj~I/*-  
    AANT 7%}ay  
    GNO 0 1 4 M 0 0 0 F }* QO]_U?  
    GNO 0 1 4 M 1 0 0 F   ]~-*hOcQ4  
    END  nbI= r+  
    SNAP 5@P%iBA4(3  
    SYNO 30 n /QfdAg  
    Y1{B c<tC  
    PHASE 3 !第三阶段;当遇到第三阶段的输入,程序循环整个过程 ]^=|Zd-  
    :{LAVMG&^  
    运行代码之后,得到带有制造调整的MC的最差透镜情况,如图6所示。 QsiJ%O Q  
    AR%hf  
    ^Q0&.hL@  
    图6 带有制造调整的MC最差透镜情况。
    M[, D  *  
    再次在CW中输入MC PLOT,得到MC直方图: 8|O=/m^]  
    pDu{e>S|:  
    <lMg\T?K  
    <i{K7}':  
    }e<'BIM E  
    相应的局部放大轴上视场直方图
    ddsUz1%l  
    打开MPL对话框设置后,透镜元件2的ELD绘制出图: b~7Jh:%@;  
    ,c>N}*6h=W  
    )QmGsU}?  
    打开MPL对话框设置后,点击DWG得到透镜装配图,图中添加了空气间隙,倾斜角,还有偏心公差: R A:jzht  
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    elsaqueen 光币 +1 优秀文章,支持! 2020-02-26
     
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    离线coollwl
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    只看该作者 3楼 发表于: 2023-05-04
    资料非常不错,必须点赞!
    离线zh_rj
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    只看该作者 2楼 发表于: 2022-01-26
    谢谢楼主分享!!
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    只看该作者 1楼 发表于: 2022-01-10
    很好的文章