摘要
:XPat93w 64`l?F 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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&{N| p~""1m01,D H{Lt,# HDKY7Yr 建模任务
&-JIXVd*R ,dw\y/dn Q~k|lTf 光栅特性与参数的严格分析
Ggsts bAuiMw7! 不同光栅周期下的衍射效率
bn5O2 pSIXv%1J pGy k61 bFlI:R&< 关于光栅周期选择的考虑
J^%E$s U5@B7v1 ]#rV]As !|]k2=+I 偏振相关的衍射特性
(njTS+? pv&iJ7RN Qz%q#4Zb rd$T6!I -U?%A:,a| |ITb1O`_P UX.rzYM&T &jQqlQ j 通过参数优化进行光栅设计
8x7TK2r LTH,a?lD 固定周期的2D参数优化
XFl&(I4tB !W0JT#0 ~i'!;'-_} 2D参数优化–设计1
1&7?f X.,R%>O}`P ;E5XH"L\ j
\d)#+; 2D参数优化–设计2
QR8]d1+GV :eB+t`M 6"}F
KRR 7Q~W}`Qv' 制造
公差分析–设计2
KM"?l<x0Y ui|6ih$+ KbK!4 {.o4U0+ 变化光栅周期的3D参数优化
C#1'kQO 6cbV[!BL 7M5HvG#w% Gi$\th, 制造公差分析
US-f<Wq 0JR)-* D;+Y0B ncOl}\Q9 走进VirtualLab Fusion
`zl,|}u) p-rQ'e ]iFW>N*a Ah5o>ZtcO VirtualLab Fusion中的工作流程
E piF$n Xa$%`
0R(['s:3` hjk]?MC •构造光栅
结构 s=E6HP@q −
通过使用界面来配置光栅结构 r~fnK%| [用例]
{BaPK&x, •分析光栅衍射效率
`w@z
Fc!" −
光栅级次分析器[用例]
N}{V*H^0QU •使用参数运行搜索初始解决方案
c*"P+ −
参数运行文档的使用[用例]
C$LRX7Z`o •通过参数优化找到最终设计
F*Yx1vj fLSDt(c', VirtualLab Fusion技术
0%IZ -]) J\'f5)k d0zp89BEn t0P_$+w.> 文件信息
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