摘要
n5z";:p WMXxP gik 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
/V"6Q'D e9p!Caf~I-
:={rPj-nU k"pN 建模任务
`#c36 DPM4v7 S
G]k+0&X 光栅特性与参数的严格分析
sD{d8s[( 3DX@ggE2 不同光栅周期下的衍射效率
HU47S 9lR-
Q*W$!ZUT "wj~KbT}& 关于光栅周期选择的考虑
3'xmq Y$<p_X,
4V7=VZ,@3 N${Wh|__^l 偏振相关的衍射特性
E(miQ $X ]t}=
k*e$_ _(J4
\}EJtux q m;oCi}fL
J_}Rsp ED ?atHZLF 通过参数优化进行光栅设计
qL2Sv(A Z! Sh;Z\nj 固定周期的2D参数优化
<gLq?~e|A 2"pFAQBw~i
{D`_q| 2D参数优化–设计1
X 3(CY`HH[ ^CfWLL&
c
-40s 9}<iS w[ 2D参数优化–设计2
c1}i|7/XSi rvG0aqO`
_M)J{ {?: 8umW> 制造
公差分析–设计2
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6.i.(L_S j%ux,0Y
Nc\jA= DP08$Iq 变化光栅周期的3D参数优化
:S=!]la0h V1
{'d[E*
D22jWm2 A(T= 制造公差分析
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J"?jaa2~ ~ea&1+Z[3 走进VirtualLab Fusion
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ix;pK o)sX?IiC
M|IgG:a;T <hB~|a<# VirtualLab Fusion中的工作流程
~4=XYYcka +1>\o|RF
$&KiN82, CW'<Nh •构造光栅
结构 6T-iBJT −
通过使用界面来配置光栅结构 TSKR~3D# [用例]
a8cX{6 •分析光栅衍射效率
6'\VPjt −
光栅级次分析器[用例]
,.TwM;w= •使用参数运行搜索初始解决方案
=g<Y[Fi2 −
参数运行文档的使用[用例]
^^kL.C Ym •通过参数优化找到最终设计
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@X]JMicJ VirtualLab Fusion技术
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