摘要
_ CzAv% )EN,Ry 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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rj<-sfs 4XeO^# 建模任务
E/E|*6R Wx8;+!2Q/
m# ^).+ 光栅特性与参数的严格分析
X0KUnxw a$LoQ<f_ 不同光栅周期下的衍射效率
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X)8Edw[?N3 A}1:fw\Fn3 关于光栅周期选择的考虑
&7c #i F+V[`w*k
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n^wX YJwffV}nd 偏振相关的衍射特性
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hllb\Y)XL zG&yu0;D6
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J!zL)u| <Oj'0NK- 通过参数优化进行光栅设计
jgw+c3^R_ H]Gj$P=k 固定周期的2D参数优化
V#+J4 C7Hgzc|U
D\sh
+}" 2D参数优化–设计1
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@Lm (bW 2D参数优化–设计2
?/KkN3Y_j[ JZD&u6tB
d,t'e? 8p~|i97W]! 制造
公差分析–设计2
'Ub\8<HfJU cHwN=mg]S
JRw)~Tg @ Ly6) ,[q~ 变化光栅周期的3D参数优化
QST-!`]v %#7^b=;=
f<@`{oP@ et6@);F 制造公差分析
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4[K6 ZDBU ;3sJ7%`v 走进VirtualLab Fusion
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[JVUa2Sm Pv3 e*I(( VirtualLab Fusion中的工作流程
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/909ED+)>9 ; <|m0>X •构造光栅
结构 K_BF=C.k −
通过使用界面来配置光栅结构 OlYCw.Zu [用例]
,wk %)^ •分析光栅衍射效率
h)yAge −
光栅级次分析器[用例]
1${Cwb/F •使用参数运行搜索初始解决方案
c(!{_+q" −
参数运行文档的使用[用例]
B,ZLX/c9
•通过参数优化找到最终设计
u_ym=N57` `z`"0;,7S VirtualLab Fusion技术
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